2019/02/22 13:22
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产品配置单:
3D纳米结构高速直写机
型号: NanoFrazor Explore
产地: 瑞士
品牌: Swisslitho
¥400万 - 500万
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方案详情:
制造高品质的固态硅基量子器件要求高分辨率的图形书写技术,同时要避免对基底材料的损害。来自IBM实验室的Rawlings等人利用SwissLitho公司生产的3D纳米结构高速直写机NanoFrazor,结合其高分辨热探针扫描技术和高效率的激光直写功能,制备出一种室温下基于点接触隧道结的单电子晶体管(SET)。
利用扫描探针可以确定最佳焦距下的Z向位置,同时确定扫描探针和激光直写的位置补偿,研究人员在兼顾高分辨和高效率书写条件下得到小于100nm的精确度。利用CMOS工艺兼容几何图形氧化流程,研究人员在N型简并掺杂(>1020/cm3)的绝缘硅基底上制备出该SET器件。所研究的三种器件的特性主要由Si纳米晶和嵌入SiO2中的P原子所控制,进而形成量子点(QDs)。量子点上电子尺寸微小且局域性强,保证了SET在室温情况下的稳定运行。温度测量结果显示在100 – 300 K的范围内,电流主要由热激发产生,但在<100K时,主要以隧道电流为主。
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利用FusionScope多功能显微镜表征3D等离子体纳米结构
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