用于快速制备高质量二维/三维纳米器件的多功能光刻系统

2019-05-24 10:14

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资料摘要：

NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机替代传统纳米光刻及成像方法，具有高分辨的图形化工艺及成像功能（可达到<10nm的分辨率），兼容各类标准未加工制程和何种衬底材料。操作简单，成本低。该技术自问世以来已经多次刷新了上小3D立体结构的尺寸，创造了上小的马特洪峰模型，小立体地图，小刊物封面等记录。

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