核心参数
产地类别: 国产
靶材材质: 金靶
靶材尺寸: 50mm
控制方式: 自动
样品仓尺寸: 180mm*130mm
样品台尺寸: 70mm
溅射气体: 多种
其它参数
SD-981M离子溅射仪喷金镀膜SEM样品制备是北京博远微纳科技有限公司(博远微朗)自主研发的一款高性能离子溅射仪。上市已来深受各大高校和科研院所的喜爱。
SD-981M离子溅射仪喷金镀膜SEM样品制备于传统溅射仪相比,除兼备其他溅射仪功能外,还有有以优点:
1、SD-891M是一款磁控溅射仪,可对温度敏感的样品进行镀膜,比如:薄膜、橡胶等。并且磁控溅射靶头部分的结构更加科学,稳定。
2、操作模式方面:有自动和手动两种模式(满足更多人的镀膜需求)
3、溅射方面:分为正常启动和柔和启动,可适应一些特殊样品
4、真空方面:真空可调节,真空实现自动通气并稳压力的功能,即避免了手动调节真空的不便,同时避免了固定真空度颗粒度大等方面的缺点。
5、操作界面方面:分为简易界面和多样化界面。可满足大多数人使用。
6、样品台方面:可旋转(选配)
SD-981M离子溅射仪喷金镀膜SEM样品制备具体参数如下:
参数:
主机规格:长510mm×宽310mm×高290mm(含腔体)
靶材:Au(标配)50mm×0.1mm(D×H)
样品室:玻璃腔体直径180mm×高120mm(D×H)
样品台直径:φ70mm
靶材尺寸:Ф50mm
最高真空度:1Pa
工作真空:2-15Pa
定时器:数码计时 0-600S
镀膜面积:50mm
溅射电流:0-50mA(可调)
真空测量:皮拉尼真空计
触摸屏:4寸
程序:VPI人机界面
可通入气体:多种
机械泵:VRD-8
速率:0--60nm/min
主机功率:100W
工作电压:220V,50HZ
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企业名称
北京博远微纳科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110115003759627
成立日期
2015-02-02
注册资本
50
经营范围
技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务;经济贸易咨询;计算机维修;软件开发;基础软件服务;应用软件服务;销售计算机、软件及辅助设备、电子产品、机械设备、日用品、文化用品;货物进出口。企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。
北京博远微纳科技有限公司
公司地址
北京市昌平区百沙路新飞达电子科技工业发展中心主楼408
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