离子溅射仪ETD-2000

       ETD-2000 型离子溅射仪外观沉稳大气，采用真空自动控制和真空保护电路，使操作和应用更加安全可靠。为扩大应用领域，可同时手动调整溅射仪的电离电流或手动调整其真空微调针阀，改变电离室的压强，获得最佳的喷镀效果。独特的真空橡胶压边密封结构，保证长期使用不会使钟罩边缘出现毛边而影响真空室中的真空度，陶瓷密封高压插头经久耐用。

      工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。

      ETD-2000型是一款最常用的离子溅射仪，是一切溅射仪的基础。是以金属靶材和样品台分别作为阴阳两极，在真空状态下产生辉光放电，使金原子与残存的气体不断碰撞而沉积成薄膜。可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

     具有成膜均匀，操作简单，所需时间短，过程可控等优点。

     配有高位定性真空泵

参数：

主机规格：305mm×365mm×325mm（W×D×H）

靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等

样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H）

靶材尺寸：Ф50mm    

真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2   mbar

离子电流表： 最大电流：50mA

定时器：     最长时间：3600s

微型真空气阀：可连接φ3mm软管

可通入气体： 多种

最高电压：  -1600  DCV

        输入电压：220V(可做110V),50HZ

机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8）

特点：

1、简单、经济、可靠。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过更换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到更细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到更纯净的涂层。

7、数字计时器定时自由方便。

8、计时器可随时停止，观察样品涂层，并可继续工作。

9、可调节样品台，适用于多种样品。

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品，塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

2、非导电的样品:

由于样品不导电，其表  面带有“电子陷阱”，  这种表面上的电子积累  被称为“充电”。为了  消除荷电效应，可在样  品表面镀一层金属导电  层，镀层作为一个导电  通道，将充电电子从材  料表面转移走，消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时，溅射材料增加信  噪比，从而获得更好的成像质量。

3、新材料:非导电材料和半导体材料