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v 通过更换夹具，可兼容4-12英寸晶圆
PLC系统，触摸屏控制，一键式自动完成刷洗清洗加工，其中连线式设备配有全自动上下片系统，cassette to cassette使用更加方便
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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