Osiris 8寸晶圆显影机 UNIXX D20
Osiris 8寸晶圆显影机 UNIXX D20

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Osiris

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UNIXX D20

--

欧洲

  • 银牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品简介

UNIXX DB20 型晶圆显影机是一款针对8寸及以下尺寸晶圆的半自动系统,系统可集成显影,清洗,干燥等模块,同时可用于方片显影,尺寸150mm*150mm。

 

产品特色

1. 圆形晶圆可达 Ø200 

2. 方形衬底可达 150 x 150 

3. 防溅环自动升降

4. 具有 BSR 背部清洗功能

5. 配置低接触离心力卡盘

6. 可提供全自动系统

7. 手动装/卸

8. 适用所有半导体材料,如硅衬底、玻璃衬底、陶瓷衬底

9. 1x 输送臂,至多 6 条管路

10. 不同类型的喷嘴

11. 通过压力罐或泵系统供应化学液

12. 具有摆动效果的旋转电机

13. 不同化学液分离排放(1、2 或 3 向分离)

 

技术数据

1. 衬底尺寸: 可达 Ø200 mm  或 150 x 150 mm 

2. 电机转速: 10.000 rpm,步长 1 rpm

3. 电机加速: 40.000 rpm/sec,步长 1 rpm/sec 

4. 步进时间: 1 到 999.9 秒,步长 0.1 秒


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 不限人次免费安装培训

免费仪器保养: 可根据客户使用程度制定仪器保养计划。

保内维修承诺: 非人为损坏,免费保修。

报修承诺: 24小时内进行响应,48小时内出解决方案。

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Osiris涂胶显影设备UNIXX D20的工作原理介绍

涂胶显影设备UNIXX D20的使用方法?

OsirisUNIXX D20多少钱一台?

涂胶显影设备UNIXX D20可以检测什么?

涂胶显影设备UNIXX D20使用的注意事项?

OsirisUNIXX D20的说明书有吗?

Osiris涂胶显影设备UNIXX D20的操作规程有吗?

Osiris涂胶显影设备UNIXX D20报价含票含运吗?

OsirisUNIXX D20有现货吗?

Osiris 8寸晶圆显影机 UNIXX D20信息由上海品测精密仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于Osiris 8寸晶圆显影机 UNIXX D20报价、型号、参数等信息,上海品测精密仪器客服电话:400-860-5168转4705,欢迎来电或留言咨询。
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