产地类别： 进口
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可单独使用
紧凑型设计
经济型解决方案
多源共蒸
一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)
最多可实现8源共蒸
UNIvap 4S支持100x100 mm方片或 6"晶圆
UNIvap 5S支持150x150 mm方片或 8"晶圆
应用：
金属镀膜
光学镀膜
半导体器件
光伏电池
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 提供一次操作，日常维护和校准技术培训
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 在保修期内，我方承担（手套、填充材料、前窗面板等，耗材、易损件除外）设备维修
报修承诺: 4个小时内做出回应；两个工作日内到达用户现场
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