曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 12.5nm
光源: High power DPSS laser with 355 nm
光源波长: N/A
光强均匀性: 65nm
曝光面积: 800 x 800 mm2 / 1100 x 1100 mm2 / 1400 x 1400 mm2
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光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统
VPG +大尺寸曝光系统适合用于先进封装,半导体,显示器,彩色滤光片,LED和触摸屏等相关掩膜版制作的应用。
VPG +系统支持所有工业等级数据化格式,并提供Mura优化功能,呈现完美的CD均匀性和分辨率。
VPG + 1400是我们大的系统,特别针对显示器领域和FPD的应用,例如TFT数组和彩色滤光片以及ITO。
VPG + 1400具有高精度的设备架构,分辨率低至1.2 nm的差分干涉仪及先进的Mura校正功能。
关于我们
Stella International
Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司,共同为客户带来综合应用效能,同时建立紧密的合作伙伴关系。
为了服务客户更广泛多元的应用领域,Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心,以海德堡原厂伙伴技术支援,提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究,这些年来已服务许多的国内知名大学,研究院所与企业前期研发单位。
总代理 品牌介绍
德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备 / 光刻机
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡设备(Heidelberg Instruments),创始于1984年,在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括:微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过700个以上销售据点,用于研发、快速原型制作和工业生产系统,是企业研究和发展的伙伴。
保修期: 面议
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
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