曝光模式： 投影式
产地类别： 进口
分辨率： 12.5nm
光源： High power DPSS laser with 355 nm
光强均匀性： 65nm
曝光面积： 205 mm x 205 mm / 410 mm x 410 mm
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光学系统上的创新与突破-平行化曝光制程技术制版系统
VPG+系列分为中小尺寸和大尺寸曝光系统，专业服务中小型和大型版面的光刻制程。
VPG+200和VPG+400为先进的中小型快速光刻机，采用VPG+800以上的大型平台的运作原理，拥有光刻领域的先进技术。
应用包括如MEMS、先进封装、3D集成、LED生产及化合物半导体等的领域。
关于我们
Stella International
Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。
为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，这些年来已服务许多的国内知名大学，研究院所与企业前期研发单位。
总代理 品牌介绍
德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过50几个国家、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的伙伴。
保修期: 面议
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
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