曝光模式: 投影式
产地类别: 进口
分辨率: 5nm
光源: Diode laser with 405 nm or 375 nm
光强均匀性: 60nm
曝光面积: 200 x 200 mm2
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DWL66+ 激光光刻系统是具经济效益、具有高分辨率的图形发生器。适用于小批量掩膜版制作和直写需求。
DWL66+拥有多种选配模块,例如:正面和背面对准系统;405nm和375nm波长的激光发生器;进阶选配:精度校准和自动上下板加载系统。
DWL66+的高度灵活和可定制的解决方案,专门为您的应用量身定做,已成为生命科学、先进封装、MEMS、微光学、半导体和所有其他需要微结构的应用中必不可缺少的光刻研究工具。
关于我们
Stella International
Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司,共同为客户带来综合应用效能,同时建立紧密的合作伙伴关系。
为了服务客户更广泛多元的应用领域,Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心,以海德堡原厂伙伴技术支援,提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究,这些年来已服务许多的国内知名大学,研究院所与企业前期研发单位。
总代理 品牌介绍
德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡设备(Heidelberg Instruments),创始于1984年,在激光直写设备的发展和设计上持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括:微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等超过700个以上销售据点,用于研发、快速原型制作和工业生产系统,是企业研究和发展的伙伴。
保修期: 面议
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 面议
免费仪器保养: 面议
保内维修承诺: 面议
报修承诺: 面议
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德国海德堡DWL66+多少钱一台?
激光直写光刻机DWL66+可以检测什么?
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德国海德堡激光直写光刻机DWL66+报价含票含运吗?
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