电子枪种类: 钨灯丝
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 4nm@30KV
放大倍数: 10-300,000x
加速电压: 0.2-30KV
背散射电子图像分辨率: 5nm@30KV
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Genesis-II型(510)属于EMCRAFTS第二代钨丝枪扫描电镜产品系列。
Genesis-II型扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器。
Genesis-II型采用立方结构样品室,拓展为中型样品仓,具有更大有效分析空间,全内置五轴优中心自动样品台,具有更大的自由行程,更好满足电子显微拓展分析需要。
硬件特征:
全数字控制,专业级电子显微成像及分析能力 ;
主机电器一体化设计,占地小,便于移动 ;
中型样品仓,接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等,探测器更协调工作 ;
优中心样品,五轴马达驱动,计算机导航;
高效涡轮分子泵真空系统,高真空成像时间小于3min;
标配高真空模式SE成像。
*精密五轴自动样品台
*优中心样品台
*多工位,更大,更多样品装载,更高效率工作
原位分析样品台
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging);
大图拼接:连续视野照片缝合;
信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
鼠标键盘操作,简易快捷。
安装示意图
性能指标:
型号 | Genesis-510 全自动扫描电镜 |
样品台 | 五轴优中心,全自动 X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV (发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率:5.7W) |
探测器 | ET-SED |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SEI) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
样品尺寸 | Φ150mm X 60mm |
工作距离 | 0-60mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 | 高真空,优于9x10-3Pa |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟) -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相,自动大图拼接缝合 |
软件系统 | 基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具 |
可选配置 | 四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
Genesis-I 分析型扫描电镜(EmCrafts)
型号:Genesis-I 60万Veritas-300大样品仓扫描电镜【EMCRAFTS】
型号:Veritas-300 80万Veritas-300plus扫描电子显微镜【emcrafts】
型号:Veritas-300plus 50万 - 100万Genesis-II型+扫描电子显微镜EMCRAFTS)
型号:Genesis-II型+ 80万钨丝枪扫描电镜结构较为简单,价格较为经济,满足绝大多数材料研发基本需求。 我司专业供应系列钨丝枪扫描电镜,请按照如下应用指南选型。
当前,最先进的钨灯丝扫描电镜极限分辨率为4nm左右,有效放大10万倍,结合实际使用中信噪比要求和操作效率,对于自然反差良好的一维或二维纳米材料,可有效表征50nm左右尺度结构,Genesis扫描电镜可以轻松获得良好的观测结果。
超疏水膜层构造粗糙微观结构工艺设置,离不开扫描电镜表征。本文扫描电镜观察磁控溅射法制备的膜层。驰奔扫描电镜是快速观测手段
驰奔-E系列扫描电镜,可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。 采用Cube台式或Genesis小型立式扫描电镜,需要切割芯片。使用Veritas 大样品仓扫描电镜可观察整块芯片,无损检测。
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