产地类别: 国产
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EMPro是针对高端研发和质量控制领域推出的极致型多入射角激光椭偏仪。
EMPro可在单入射角度或多入射角度下进行高精度、高准确性测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k;也可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k;亦可用于实时测量快速变化的纳米薄膜动态生长中膜层的厚度、折射率n和消光系数k。多入射角度设计实现了纳米薄膜的绝对厚度测量。
EMPro采用了量拓科技多项专利技术。
特点:
原子层量级的极高灵敏度
百毫秒量级的快速测量
简单方便的仪器操作
技术指标:
项目 |
技术指标 |
仪器型号 |
EMPro31 |
激光波长 |
632.8nm (He-Ne Laser) |
(1)膜层厚度精度 |
0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
(1)折射率精度 |
1x10-4 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) |
单次测量时间 |
与测量设置相关,典型0.6s |
结构 |
PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度) |
激光光束直径 |
1mm |
入射角度 |
40°-90°可手动调节,步进5° |
样品方位调整 |
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样品台尺寸 |
平面样品直径可达Φ170mm |
最大的膜层范围 |
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最大外形尺寸 |
887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
仪器重量(净重) |
25Kg |
选配件 |
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软件 |
ETEM软件:
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注:(1)精度:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量25次所计算的标准差。
性能保证:
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
中南大学 | 2012-06-04 |
ES01-PV 快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪(光伏专用)
型号:ES01-PV 面议EM13 LD系列多入射角激光椭偏仪
型号:EM13 面议ES01 快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪
型号:ES01 面议ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪
型号:ESS03 面议特点: *标准配备有步进电机和标准RS232接口,配合7SC系列运动控制器可实现自动控制 *螺杆采用新型轴承安装结构,进口高品质滚珠螺杆驱动,重复定位精度好,寿命长 * *
本系统由大功率连续光源、消杂散光及多级光谱的精密分光系统、高灵敏度探测器和弱信号处理器系统组成。可测试材料的荧光发射器、激发谱和同步谱。可以广泛用于材料科学领域...........
本系统由大功率连续光源,消杂散光及多级光谱的精密分光系统,高灵敏度探测器和弱信号处理系统组成。可测试材料的荧光发射谱,激发谱和同步谱。可以广泛用于材料科学领域(各种发光材料、荧光粉、半导体材料、激光晶体、激光玻璃等)、生物学领域(量子点荧光标记、有机荧光染料分子)、生物医学领域(恶性病荧光判定)、食品科学和环境科学领域
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