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ES01-PV是针对光伏太阳能电池研发和质量控制领域推出的高性能光谱椭偏仪。
ES01-PV用于测量和分析光伏领域中多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参数(如,折射率n、消光系数k),典型样品包括:绒面单晶和多晶太阳电池上的单层减反膜(如SiNx,SiO2,TiO2,Al2O3等)和多层减反膜(如,SiNx/SiO2, SiNx2/SiNx1, SiNx /Al2O3 等),以及薄膜太阳电池中的多层纳米薄膜。
项目
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技术指标
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光谱范围
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240nm-930nm(绒面测量时为350-850nm)
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单次测量时间
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10s,取决于测量模式
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膜厚测量重复性(1)
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0.05nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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折射率精度(1)
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1x10-3 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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入射角度
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40°-90°自动调节
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光学结构
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PSCA(Δ在0°或180°附近时也具有极高的准确度)
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样品台尺寸
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一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品
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兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品
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样品方位调整
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Z轴高度调节:±6.5mm
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二维俯仰调节:±4°
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样品对准:光学自准直显微和望远对准系统
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软件
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•多语言界面切换
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•太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用
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•安全的权限管理模式(管理员、操作员)
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•方便的材料数据库以及多种色散模型库
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•丰富的模型数据库
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注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。
用户单位 | 采购时间 |
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四川大学 | 2012-05-08 |
EMPro 多入射角激光椭偏仪
型号:EMPro 面议ES01 快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪
型号:ES01 面议ESS03 波长扫描时式 多入射角光谱椭偏仪
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