超高分辨双束扫描电镜

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  • 赛默飞世尔科技电子显微镜 金牌19年
    400-633-0963
    原FEI公司，2016年被赛默飞世尔科技收购，成为赛默飞材料与结构分析（MSD) 电镜事业部，是显微镜和微量分析解决方案的创新者和供应商。 我们提供扫描电子显微镜SEM，透射电子显微镜TEM和双束-扫描电子显微镜DualBeam?FIB-SEM，结合先进的软件套件，运用最广泛的样本类型，通过将高分辨率成像与物理、元素、化学和电学分析相结合，使客户的问题变成有效可用的数据。更多信息可在公司官网上找到：http://thermofisher.com/EM 或扫描二维码，关注我们的微信公众号
    主营产品： 透射电镜   扫描电镜   聚焦离子束   X光电子能谱  
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  • 奥达科学有限公司 银牌6年
    400-860-5168转4309
    奥达科学有限公司致力于电子显微学第四维度：时间尺度，专业提供时间分辨动态电子显微镜技术产品和系统解决方案。产品技术覆盖飞秒激光超快电镜技术产品及皮秒级射频超快电镜技术产品以及两者综合技术解决方案；是Euclid Techlabs在获得美国RD100大奖拥有先进的超高射频超快电镜产品在大中华区的总代理；奥达科学在微秒毫秒级时间分辨率以下尺度提供成熟的原位透射电镜及原位扫描电镜原位X射线及光学谱学等技术产品以及关联应用解决方案；是荷兰DENSsolutions在大中国地区总代理，负责原位样品控制平台(包含加热、电场、气氛、液体环境）的销售和服务并协助DENSsolutions在中国的品牌运营。奥达公司自成立之日起一直致力于先进的电子显微技术的应用推广并创建了电子显微学精英交流社区，定期组织研讨交流活动为国内科研中坚力量提供开拓合作的平台。我们期许通过为高知客户提供高附加值的服务以促进中国的科技发展。
    主营产品： 电镜附件  
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  • 北京欧波同光学技术有限公司 白金16年
    400-860-2797
    欧波同集团成立于2003年，是一家材料分析数字化解决方案服务商。旗下拥有科学仪器、智慧实验室、第三方检测、技术服务等业务板块。欧波同坚持“让实验更简单”的发展主线，充分掌握计算机视觉和图像识别技术，实现AI技术和工业分析技术的跨界融合，帮助中国企业在世界级竞争中取得成功。为世界材料分析贡献中国力量！SEM扫描电子显微镜、双束聚焦离子束显微镜、赛默飞扫描电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束电镜、赛默飞双束电镜、台式扫描电镜、FEI扫描电镜、FIB扫描电镜、FIB双束电镜、TEM透射电镜、球差电镜、工业三维扫描仪、氩离子抛光测试及制样设备中国区授权代理商，旗下拥有国际贸易、行业解决方案研发、第三方技术服务、融资租赁等业务板块。
    主营产品： 扫描电镜   电镜附件   磨抛机   透射电镜  
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超高分辨双束扫描电镜相关的仪器

  • 国仪量子超高分辨场发射扫描电镜SEM5000X 4008-166-717
    国仪量子超高分辨场发射扫描电镜SEM5000XSEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。产品优势超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求应用案例产品参数
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    厂商： 国仪量子技术（合肥）股份有限公司
    品牌： 国仪量子/CIQTEK
    型号： SEM5000X
    价格： 面议
  • Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜 400-860-2797
    Apero 2-超高分辨场发射扫描电镜【产品描述】Thermo Scientific Apreo 2 SEM高性能场发射扫描电镜搭载独特的实时元素成像功能和先进的自动光学系统，实现灰色区域解析，让您不再忧心显微镜性能，更加专注于研究本身。 Thermo Scientific Apreo 2 SEM具有多功能性和高质量成像性能，即使是磁性样品或是传统意义上成像非常困难的样品也可以实现极佳成像性能。全新Apreo 2 SEM在原有性能基础之上，进一步优化了超高分辨成像能力，并且增设许多新功能提升其高级功能的易用性。Apreo 2 SEM在耐用的SEM平台上引入了SmartAlign（智能对中）技术，不再需要用户手动进行调整操作，而且，FLASH（闪调）自动执行精细调节工作，只需移动鼠标几次，就可以完成必要的透镜居中、消像散和聚焦校正。此外，Apreo 2 SEM是唯一在10 mm分析工作距离下具有1 nm分辨率的SEM，长工作距离不再意味着低分辨成像，有了Apreo 2 SEM，任何用户都可以自信地得到很好的成像效果。 【特点与应用】 全面解析全面的纳米和亚纳米分辨率性能，适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、大块磁性样品等材料； 极佳的灵活性非常灵活的处理范围，样品类型广泛，包括绝缘体、敏感材料和磁性样品，收集最重要的数据； SmartAlign技术使用SmartAlign（智能对中）技术，实现光学系统自动调整，减少维护时间； 先进的自动化先进的自动化用于自动图像微调、撤销、用户向导、Maps成像拼接的FLASH（闪调）技术； 实时定量EDS元素信息触手可及，利用ColorSEM技术，提供实时元素面分布成像定量分析，结果获取更加快速、简便； 长工作距离唯一在长工作距离（10 mm）具有高分辨率的性能(1 nm)和优秀的图像质量的SEM产品参数发射源：高稳定型肖特基场发射电子枪分辨率： 型号Apero 2 CApero 2 S末级透镜静电复合高真空15kV0.9nm 0.5nm1kV1.0nm0.8nm500V 1.2nm0.8nm加速电压范围：200 V ~ 30 kV 着陆电压范围：200 eV ~ 30 keV探针电流范围：1 pA ~ 50 nA，连续可调（可选配400 nA）最大水平视场宽度：10 mm WD时为3 mm（相当于最低放大倍率29倍）X-Ray工作距离：10 mm，EDS检出角35°样品室：从左至右为 340 mm 宽的大存储空间，样品室可拓展接口数量12个，含能谱仪接口3 个（其中2个处于180° 对角位置）样品台：五轴优中心全自动马达驱动X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o （连续旋转）多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12 mm）最大样品尺寸，直径122 mm，可沿X、Y轴完全旋转时最大样品高度，到优中心点间隔为85 mm最大样品承重 5 kg探测器系统：样品室二次电子探测器ETD镜筒内背散射电子探测器T1镜筒内二次电子探测器T2镜筒内二次电子探测器T3（选配）样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）图像导航彩色光学相机Nav-Cam+&trade 样品室低真空二次电子探测器（选配）可伸缩透镜下背散射探测器（选配）控制系统： 操作系统：Windows 10图像显示：24寸LCD显示器，最高显示分辨率1920×1200支持用户自定义的GUI，可同时实时显示四幅图像软件支持Undo和Redo功能
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    厂商： 北京欧波同光学技术有限公司
    品牌： 赛默飞/Thermo Fisher
    型号： Apreo 2
    价格： 300万 - 400万元
  • 高分辨率扫描电镜冷冻传输装置Alto 2500 400-860-2797
    品牌： GATAN 名称型号：GATAN冷冻传输系统Alto2500制造商： GATAN公司经销商：欧波同有限公司 产品综合介绍： 产品功能介绍 扫描电镜工作者都面临着一个不能回避的事实，就是所有生命科学、石油地质学以及许多材料科学的样品都含有液体成分。很多动植物组织含水量达到98%，这是扫描电镜工作者最难对付的样品问题。冷冻传输设备是一种将经过冷冻制样后的样品置入 SEM 样品室内，并维持样品低温状态的一种设备。它综合了制样、维持样品低温真空环境、在不破坏 SEM 真空前提下安全传送样品至SEM。是冷冻扫描电镜不可或缺的利器！品牌介绍美国GATAN公司成立于1964年并于70年代末进入中国市场。GATAN公司以其产品的高性能及技术的先进性在全球电镜界享有极高声誉。 作为世界领先的设计和制造用于增强和拓展电子显微镜功能的附件厂商，其产品涵盖了从样品制备到成像、分析等所有步骤的需求。产品应用范围包括材料科学、生命科学、地球物理学、电子学，能源科学等领域， 客户范围涵盖全球的科研院所，高校，各类检测机构及大型工业企业实验室，并且在国际科学研究领域得到了广泛认同。经销商介绍欧波同有限公司是中国领先的微纳米技术服务供应商，是一家以外资企业作为投资背景的高新技术企业，总部位于香港，分别在北京、上海、辽宁、山东等地设有分公司和办事处。作为蔡司电子显微镜、GATAN扫描电子显微镜制样设备及附属分析设备在中国地区最重要的战略合作伙伴，公司秉承“打造国内最具影响力的仪器销售品牌”的经营理念，与蔡司，GATAN品牌强强联合，正在为数以万计的中国用户提供高品质的产品与国际尖端技术服务。产品主要技术特点： Alto 2500 是一款高分辨率的新一代冷冻传输系统，专为场发射扫描电镜（FE SEM）设计，是冷冻扫描电镜中的性能冠军。Alto 2500系统提供的制样技术包括快速冷冻（为了保持含水状态），真空传输（防止样品污染），冷冻断裂（展示内部微观结构），升华（净化非含水成分）和镀膜（允许高分辨表面成像和X-RAY分析）。Alto 2500冷冻前处理室 Alto 2500配备了专用的直接连在SEM上的前处理室。该高真空前处理室配有一个独立的且在工作中无振动产生的涡轮分子泵。前处理室高程度可视化有利于观察样品，同时室内装有灯管，配合双筒显微观察镜可以在处理样品过程中更好的观察样品。大容量一体式液氮冷肼设计，不仅保证看充足的低温供应和优异的低温环境，而且提供了无污染操作环境。冷肼上部装有一个冷台和防污染板，温度可分别达到-180℃和-190℃。利用样品台加热器可以使其升温，从而达到可控温度升华的目的。珀热电阻温度传感器能够灵敏的显示冷台和防污染板的温度。前处理室还配置了标准双功能冷冻断裂刀具，还可选配可控断裂深度的冷冻旋转断裂刀具。喷镀专为冷冻环境设计的磁控高性能喷镀单元，5nm的分辨率精度是获取高分辨率FEG-SEM图像的保证。该单元可选配互换式多点喷碳装置。真空传递装置 真空传递装置是一个紧凑而轻巧的装置，将经过快速冷冻工作台冷冻后的样品继续保持真空状态，并转移到前处理室和SEM样品室中。大面积玻璃窗保证了良好的可视性，可以让操作者顺利的将样品推送到冷台。 快速冷冻工作台冷冻工作台含有两个可制“液氮泥”的处理罐，不仅可以快速冷冻样品，而且还能装载预冷冻样品。可选配‘撞击式冻装置’。SEM冷台模块低温氮气高效冷却的冷台模块很易于SEM样品台楔合。利用内置可控温加热器和精确的温度感应器能轻易的控制温度在-185℃到+50℃之间。冷台模块冷气管具有一定的弯曲度，即使在通有冷却氮气的情况下冷台也可旋转一定的角度。在FIB+SEM中，可以设置最大倾斜角度。为了保证获得无污染的图像，在SEM样品室内配置了一个独立的根据不同SEM而定制的可显温度的防污染板。系统控制面板键盘控制器显示系统参数，只有手掌大小，操作简单。在使用过程中，控制器可以方便的放在任意方便的位置。安全特性整个系统提供了电子机械互锁，保证了操作者和显微镜的安全性。产品主要技术参数： 样品预处理装置液氮泥快速冷冻（-210℃）；多功能液氮泥工作站，有装载样品座的铰链式装置，可将冷冻预处理后的样品很方便的对接至真空传输装置上。前处理室的冷台由直接嵌入的液氮杜瓦直接冷却，确保最佳制冷效率和最低制冷速度；通过减震装置将分子泵直接耦合到前处理室上，确保最佳的抽气效率和样品室真空；冷源4-2-1 冷冻前处理室采用一体式液氮冷阱制冷，扫描电镜冷台采用过冷氮气气冷，分体式液氮杜瓦只需6 L液氮，可连续提供扫描电镜冷台3 h连续工作时间；高真空冷冻制备腔室，包括：前级机械泵，涡轮分子泵（70 L/S），工作时前处理室真空度优于10-6 mbar量级；多角度样品观察窗，×10倍和 ×20倍双目显微观察镜，气锁阀门控制真空传递装置连接，； 球阀与扫描电镜样品室连接，具有电动开关和电动机械安全锁；一体式液氮冷阱及防污染装置，防污染装置可设温度为 -190℃；样品制备腔室内部液氮冷冻台（-180℃ ～ +100℃）及防污染装置；样品处理包括断裂、升华、喷镀功能。标配冷冻断裂刀；可设定升华时间及温度，自动升华；标配Pt靶材磁控喷镀，可选其他靶材（Au/Pd, W , Ir 和 Cr），自动喷镀，提供高纯氩气供给连接组件；真空传输装置设计紧凑小巧，使用方便，密封效果好。扫描电镜冷台和防污染装置低温氮气气冷扫描电镜冷台（-185℃ ~ + 50℃），温度稳定度为1℃；根据扫描电镜类型定制防污染装置，可设温度为 -190℃或更低；扫描电镜样品室内配置LED照明灯。高集成按键式控制板，体积小，可方便的放置在触手可及的位置。 产品主要应用领域： ● 植物学、动物学和医学（如植物叶、根毛、花粉、冬虫夏草、动物器官组织等） ● 食品原料（如牛奶、酵母等）● 脂类、聚合体、油漆和化妆品（如面霜、雪花膏、牙膏等）● 光束或电子束灵敏的材料(如：照相感光乳剂)● 石油地质学(泥、泥浆、油母岩等)● 液体、半液体和泡沫（啤酒花、冰淇淋、酸奶等）● 热敏半导体材料(如：低K材料)喷镀前 喷镀后 真菌感染后的叶片表面 硅藻绿霉菌 冰淇淋 酸奶
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    厂商： 北京欧波同光学技术有限公司
    品牌： GATAN
    型号： Alto 2500
    价格： 面议
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  • 1272万！超高分辨冷场发射扫描电镜、多场原位测试用扫描电镜等仪器设备
    一、项目基本情况1.项目编号：[350001]CCZB[GK]2023010项目名称：超高分辨冷场发射扫描电镜等仪器设备采购方式：公开招标预算金额：7,225,000.00元采购包1(超高分辨冷场发射扫描电镜):采购包预算金额：3,500,000.00元采购包最高限价： 3,500,000.00元投标保证金： 70,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业1-1A02109900-其他仪器仪表超高分辨冷场发射扫描电镜1(套)是详见招标文件3,500,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包2(旋转流变仪):采购包预算金额：900,000.00元采购包最高限价： 900,000.00元投标保证金： 18,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业2-1A02109900-其他仪器仪表旋转流变仪1(套)是详见招标文件900,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包3(扫描探针显微镜):采购包预算金额：1,205,000.00元采购包最高限价： 1,205,000.00元投标保证金： 24,100.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业3-1A02109900-其他仪器仪表扫描探针显微镜1(套)是详见招标文件1,205,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包4(凝胶渗透色谱):采购包预算金额：420,000.00元采购包最高限价： 420,000.00元投标保证金： 8,400.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业4-1A02109900-其他仪器仪表凝胶渗透色谱1(套)是详见招标文件420,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包5(广角动静态光散射系统):采购包预算金额：1,200,000.00元采购包最高限价： 1,200,000.00元投标保证金： 24,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业5-1A02109900-其他仪器仪表广角动静态光散射系统1(套)是详见招标文件1,200,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。2.项目编号：OITC-G230311159项目名称：中国科学院金属研究所多场原位测试用扫描电镜采购项目预算金额：550.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：550.0000000 万元（人民币）采购需求： 包号设备名称数量简要用途交货期预算交货地点是否允许采购进口产品1多场原位测试用扫描电镜1套高分辨率成像观察，快速获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，原位测试下进行高分辨观察样品。搭载X射线能谱仪附件，可同时对样品表面微观区域内的元素成分进行定性和定量分析；搭载高速高灵敏高分辨EBSD附件，能够对晶体材料进行空间分辨率亚微米级的电子背散射衍射，能够给出结晶学数据。合同生效后9个月550万元中国科学院金属研究所是 投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，评标、授标以包为单位。合同履行期限：合同生效后9个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件1.时间： 2023-06-27 至 2023-07-04 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外）地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。方式：在线获取售价：免费2.时间：2023年06月29日 至 2023年07月06日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：登录“东方招标”平台http://www.oitccas.com注册并购买。方式：1）登陆“东方招标”平台（http://http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成供应商注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的供应商无需重新注册。磋商文件售价：每包人民币600元。如决定购买磋商文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。（一）采购人信息名称：福建师范大学地址：福建省福州市闽侯县上街镇乌龙江大道18号福建师范大学旗山校区联系方式：郑老师136968399892.采购代理机构信息（如有）名称：福建省承诚招标代理有限公司地址：福州市鼓楼区梁厝路2号华雄大厦3号楼17层联系方式：李杰0591-87554016/87554653/邮箱：fjscczb@163.com3.项目联系方式项目联系人：李杰电话：0591-87554016网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn开户名：福建省承诚招标代理有限公司（二）1.采购人信息地址：沈阳市沈河区文化路72号　　　　　　　　联系方式：佟老师；024-23971066　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　联系方式：王军、郭宇涵、李雯；010-68290508；010-68290599；010-68290530 　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：佟老师电　话：　　024-23971066
    时间： 2023-07-02
    作者： dahua1981
  • 1300万！浙江工业大学多功能角分辨X射线光电子能谱仪和超高分辨扫描电镜采购项目
    一、项目基本情况1.项目编号：QSZB-Z(H)-H24262(GK)项目名称：浙江工业大学多功能角分辨X射线光电子能谱仪预算金额（元）：7000000最高限价（元）：/采购需求： 标项名称：多功能角分辨X射线光电子能谱仪数量：1预算金额（元）：7000000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：分析测试中心科研配套备注：/合同履约期限：标项 1，国产设备自合同签订生效之日起300天内交付/进口设备自办理出免税证明或提交税款担保后300天内交付本项目（是）接受联合体投标。2.项目编号：ZJ-2442873项目名称：浙江工业大学超高分辨扫描电镜预算金额（元）：6000000最高限价（元）：/采购需求： 标项名称：浙江工业大学超高分辨扫描电镜数量：1预算金额（元）：6000000简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：超高分辨扫描电镜采购。具体以招标文件第三部分采购需求为准，供应商可点击本公告下方“浏览采购文件”查看采购需求。备注：无。合同履约期限：标项 1，按照招标文件要求。本项目（是）接受联合体投标。二、获取招标文件时间：/至2024年11月05日 ，每天上午00:00至12:00 ，下午12:00至23:59（北京时间，线上获取法定节假日均可，线下获取文件法定节假日除外）地点（网址）：政采云平台线上获取方式：供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文件）售价（元）：0三、对本次采购提出询问、质疑、投诉，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：浙江工业大学地 址：杭州市潮王路18号传 真：/项目联系人（询问）：周老师项目联系方式（询问）：0571-88871096质疑联系人：马老师质疑联系方式：0571-883206262.采购代理机构信息名 称：浙江求是招标代理有限公司地 址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦21楼传 真：/项目联系人（询问）：杨立凯、元俊仁项目联系方式（询问）：0571-87679349质疑联系人：周安琪质疑联系方式：0571-811103563.同级政府采购监督管理部门 名 称：浙江省政府采购行政裁决服务中心（杭州市上城区清泰街549号城建综合大楼11楼） 地 址：杭州市上城区清泰街549号城建综合大楼11楼 传 真：/ 联 系 人：朱女士、王女士 监督投诉电话：0571-87227671、87800218政策咨询：何一平、冯华，0571-87058424、87055741预算金额未达100万元的采购项目，由采购人处理采购争议。若对项目采购电子交易系统操作有疑问，可登录政采云（https://www.zcygov.cn/），点击右侧咨询小采，获取采小蜜智能服务管家帮助，或拨打政采云服务热线95763获取热线服务帮助。CA问题联系电话（人工）：汇信CA 400-888-4636；天谷CA400-087-8198。
    时间： 2024-10-14
    作者： dahua1981
  • 扫描电镜 | 低电压下如何获取高分辨图像
    随着纳米材料在各个工业领域的应用，推动了超高分辨率的扫描电镜的发展，但这些材料导电性不佳，因此，对低电压下仍具有高分辨率的扫描电镜提出迫切需求。 低电压扫描电镜的主要特点之一是能直接对不导电样品进行观察，同时保持高的分辨率。但是其面临的问题是束流电压降低，信号量会显著下降，同时低电压下扫描电镜像差导致分辨率降低。随着扫描电镜技术的蓬勃发展，这些问题目前都得已大大改善。 为了弥补低电压下信噪比低的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜配备了YAG材质背散射探测器（T1）（图1）。YAG（Y3Al5O12:Ce3+）是一种具有高发光效率的闪烁体材料，用掺铈的YAG材料制成的背散射探测器，发光效率更高，亮度更高，更耐离子和电子的轰击，因此几乎不存在随使用时间的累积而导致发光效率下降的问题。Apreo 2系列电镜的T1背散射探测器置于镜筒内靠近极靴下部，这样不仅可以获取大量的信号，而且不会有误操作导致的撞毁风险。同时T1接收的是背散射电子，因此，可以大大改善导电性不佳的样品带来的荷电问题。 图1 Apreo 2 扫描电镜的T1探测器位置示意图 为了减小低电压下像差增加的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜发展出了样品台减速模式（图2），以减小透镜色差和提高低电压图像分辨率。减速模式中引入的“着陆电压”的概念，即实际到达样品表面的电压，其计算非常简单，入射电压减去减速电压即为着陆电压。例如，电子束初始加速电压5kV，在样品台上加4kV的减速电压，在样品表面的着陆电压为1kV，采用减速模式后入射到样品上的电压是1kV，在样品内的电子束扩展范围和对样品荷电的减缓同初始加速电压为1kV的情形一致，但其电子束的亮度接近加速电压为5kV的状态。因此，采用减速模式，一方面保持了高加速电压下的亮度和足够的信噪比，以及高分辨率，同时又真正实现了样品表面荷电的有效缓解。减速模式下，还有一个优点，使电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子收集效率，增加了信噪比。图2 样品台减速模式工作原理示意图 在实际应用中，我们会将样品台减速模式和T1探测器联合使用，以获取高分辨图像。比如，锂电池隔膜是一种PP或者PE材质的高分子薄膜，其导电性极差，常规的电镜无法解决荷电问题，而使用T1探测器不仅可以解决荷电问题，而且搭配减速模式仪器使用还可以获取高信噪比图像（图3）。稀土氧化物Y2O3粉体是制造微波用磁性材料及军事通讯工程用的重要材料，综合导电性较差，高加速电压容易使表面积累荷电，而且会掩盖颗粒表面细节，因此，我们采用低加速电压搭配减速模式进行高分辨成像（图4）。 图3 锂电池隔膜（加速电压：500V，放大倍数：30000，探测器：T1，减速电压：1kV） 图4 Y2O3粉末颗粒（加速电压：500V，放大倍数：100000，探测器：T1）
    时间： 2022-08-04
    作者： 欧波同
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  • 【原创大赛】束斑面积和扫描电镜分辨率关系辨析

    最近坛子里面有人将电子束束斑面积和扫描电镜的分辨率形成因果关系，这也是一个片面的观点。照他的论断场发射也没有意义，把钨灯丝的电子束斑搞小不就可以了？ 其实影响扫描电镜分辨能力的因素有很多。而这些因素有许多还相互影响着。要是分开来看就电子枪这个因素来说也不是束斑面积，最关键的是束流密度，最后归结为电子枪的约化亮度（有厂家称为归一化亮度）。束斑面积越小束流强度也会相应的减少，要保证小束斑的束流强度满足有较好的信噪比，就必须有较高的束流密度。这就是各种不同的电子枪获得的分辨能力不同的根本原因。根据蔡司提供的数据，冷场枪的归一化亮度最大是热场枪的两倍，而场发射枪和热发射枪亮度的差别在数量级这个级别上。所以从电子枪亮度来看冷场枪的分辨能力最强。电子枪对扫描电镜分辨能力产生影响的另外一个因素就是电子枪的能量发散度，也就是我们所说的色散。这个指标也是冷场枪最好。能量发散度越小色差也会越小，电镜的分辨能力也会越强。目前FEI发展的所谓超高分辨能力热场扫描电镜麦泽伦就是通过能量过滤来改变电子束的能量发散同时也将电子束束流减少95%左右，基本上将热场变成冷场来做高分辨。不过我们要说的是后天的改善是很难达到先天优势水准的，它和冷场分辨能力上的差别是无法弥补的。我至今还没有看到它拍出让人信服的高分辨照片（8MM工作距离，把80万倍的图像做出来看看）。再一个与电子束有关的因素就是真空度，高分辨图像需要高的真空度以减少电子束的裙散现象。一般的热场真空度偏低，环扫就更低了,这些都会对高分辨图像产生影响的。因此麦泽伦和蔡司的MERLIN真空度都被大幅提高了。热场所谓的低真空要求对高分辨图像合适吗？电子束束斑面积和扫描电镜分辨能力不是一点关系也没有。在能保证足够的束流密度以维持较好的图像信噪比以及相同的加速电压情况下，小束斑会带来较高的分辨能力。

  • 韩国COXEM公司全新推出 EM-30 Plus系列超高分辨率台式（桌面式）扫描电镜

    2015年8月，台式电镜的领导者韩国COXEM（库赛姆）继2014年发布的EM-30 台式扫描电之后，今年再推出EM-30 Plus系列超高分辨率台式扫描电镜，将台式电镜的分辨率提高到了优于5nm分辨率的极限，可以与传统大型扫描电镜相媲美；同时设备配置了二次电子及背散射电子探测器，将台式电镜可对样品进行表面形貌分析、元素衬度分析以及二者相结合分析的技术发挥到了极致。COXEM（库赛姆）EM-30 Plus产品技术亮点：l 超高分辨率（5.0nm@30kV SE）；l 更大的放大倍数x 150,000；l 更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式；l 同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集；l 更加先进的低真空模式；l 全新升级的分析软件，舒适通用；l 从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程；1、业界最高的分辨率COXEM（库赛姆）EM-30 Plus系列高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得更高的分辨率（5nm），图像表面信息更丰富细腻，是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。2、同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集 COXEM（库赛姆）EM-30 Plus系列台式电镜标配二次电电子（SE）+可伸缩式背散射电子（BSE）探测器，可以同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集，既能实现对样品形貌衬度分析、元素衬度进行分析，又能实现将二者相结合进行分析，打破了传统台式电镜只能得到样品单一衬度像的瓶颈。COXEM（库赛姆）EM-30 Plus标配的可伸缩式背散射电子（BSE）可以非常有效的保护探测器不受损伤，更加体现了该款设备贴心的设计。同时该系列台式电镜也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析，是一款高信价比的微观分析设备。3、更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式 全新NanoStation™ 3.0软件系统，具有更加简单易用的导航模式，您只需要3步，首先对样品进行导航，然后设置成像条件。接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。最后将结果可视化，而这些操作只需通过点击鼠标就可实现，为您高倍下快速寻找观测目标这个实际问题提供了完美的解决方案。

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  • 扫描电镜磁性样品台
    磁性样品扫描电镜（SEM）观察不可或缺的工具！通过密封磁性物质，避免电镜部件被污染，实现磁性原始状态下的高分辨成像和成分分析。磁性样品SEM效果图产品原理 超薄窗采用半导体工艺制造，表面经处理后，可具亲水性、疏水性或双性兼具，以满足不同的应用需求；分析时，所观察的样品自动紧贴超薄窗，从而能获得最佳的图像分辨率。液体样品池集成了微流体、高精密探针、防泄漏设计，液体样品池可控制、监控微环境状态。通过计算流体动力学模拟优化，获得最佳微流体传输模型。采用特殊的机械设计，提高使用效率，1分钟内即可完成样品安装。产品性能适用性好。适用于FEI、JEOL、Hitachi、ZEISS、TESCAN、Phenom等品牌各种型号的扫描电镜，亦可用于光镜/荧光显微镜的原位观察。 使用简便采用特殊的机械设计，样品安装1分钟内完成。可灵活定制可将样品置于晶圆或生物芯片上进行原位观察。分辨率高最高放大倍率可达20万倍，可清晰观察小至10nm的颗粒。
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  • 扫描电镜探测器配件
    扫描电镜探测器配件是全球领先的BSE探测器或背散射电子探测器，为扫描电子显微镜提供最佳的信噪比和超高的分辨率，是SEM探测器中的最新产品。 扫描电镜探测器配件特点适合全球所有的商用扫描电镜，采用独立设计理念，具有标准的安装法兰接口，非常方便用户的安装和使用 采用YAG:Ce单晶闪烁体 采用闪烁晶体和光电倍增管，提供极佳的图像质量 全球最佳的超低能量镀膜技术，灵敏度可到0.5Kev 优异的信噪比 无限的探测器寿命 HV+LV+ESEM工作模式 电动可回缩高精密导臂 波纹管密封高真空系统 完全用户订制化的SEM连接系统扫描电镜探测器配件性能 YAG:Ce闪烁体探测器提供最佳效率和最小余光afterglow, decay time 衰减时间为75ns @30光子/Kev YAG:Ce闪烁探测器外径15mm ,内孔6mm, 4mm, 2mm 或1.2mm任选，它限制视场大小。 独特的技术确保0.5keV的超高灵敏度,高达1pA电子束 外部尺寸406x100x72mm 适合真空环境使用 0.01mm的重复精度 适合所有SEM的法兰接口 部分测量结果案例
    供应商： 孚光精仪（中国）有限公司
    品牌： 孚光精仪
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  • 高分辨率扫描探针显微镜配件
    高分辨率扫描探针显微镜配件是欧盟革命性的高分辨率扫描探针显微镜，SPM显微镜， 它具有目前世界上最为紧凑的机构构成，同时可作为扫描探针显微镜和原子力显微镜使用。高分辨率扫描探针显微镜配件有不同类型的纳米定位平台，包括各种扫描位移台，以确保用户大面积扫描样品，扫描探针显微镜具有最佳的多功能性，可提供EFM, MFM, STM, Phase Imaging, CAFM, KPM 等诸多模式供用户使用。 高分辨率扫描探针显微镜配件特色双光学样品观察（正置和倒置）扫描尺度高达 250 μm全自动样品拾取X-Y 扫描尺寸100 x 100μm (高压模式) 10 x 10 μm (低压模式)高电压模式闭环分辨率: 2 nm高电压模式开环分辨率: 0.2 nm闭环线性： 0.1%.Z 方向扫描尺寸:10 μm (高压模式)1 μm (l低压模式)分辨率: 0.16 nm (高压模式), 0.02 nm (低压模式)高分辨率扫描探针显微镜配件特色 适合样品大小: 可容纳不同结构的直径最高达到30mm的样品。扫描探针显微镜控制系统： 数字控制器和模拟反馈系统，具有高分辨率和低噪音的特点。扫描探针显微镜,SPM显微镜采集软多窗口应用的基于Windows 系统开发的软件，控制所有的硬件工作。
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