超高分辨双束扫描电镜

一、项目基本情况1.项目编号：[350001]CCZB[GK]2023010项目名称：超高分辨冷场发射扫描电镜等仪器设备采购方式：公开招标预算金额：7,225,000.00元采购包1(超高分辨冷场发射扫描电镜):采购包预算金额：3,500,000.00元采购包最高限价： 3,500,000.00元投标保证金： 70,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业1-1A02109900-其他仪器仪表超高分辨冷场发射扫描电镜1(套)是详见招标文件3,500,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包2(旋转流变仪):采购包预算金额：900,000.00元采购包最高限价： 900,000.00元投标保证金： 18,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业2-1A02109900-其他仪器仪表旋转流变仪1(套)是详见招标文件900,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包3(扫描探针显微镜):采购包预算金额：1,205,000.00元采购包最高限价： 1,205,000.00元投标保证金： 24,100.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业3-1A02109900-其他仪器仪表扫描探针显微镜1(套)是详见招标文件1,205,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包4(凝胶渗透色谱):采购包预算金额：420,000.00元采购包最高限价： 420,000.00元投标保证金： 8,400.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业4-1A02109900-其他仪器仪表凝胶渗透色谱1(套)是详见招标文件420,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包5(广角动静态光散射系统):采购包预算金额：1,200,000.00元采购包最高限价： 1,200,000.00元投标保证金： 24,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业5-1A02109900-其他仪器仪表广角动静态光散射系统1(套)是详见招标文件1,200,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。2.项目编号：OITC-G230311159项目名称：中国科学院金属研究所多场原位测试用扫描电镜采购项目预算金额：550.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：550.0000000 万元（人民币）采购需求： 包号设备名称数量简要用途交货期预算交货地点是否允许采购进口产品1多场原位测试用扫描电镜1套高分辨率成像观察，快速获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，原位测试下进行高分辨观察样品。搭载X射线能谱仪附件，可同时对样品表面微观区域内的元素成分进行定性和定量分析；搭载高速高灵敏高分辨EBSD附件，能够对晶体材料进行空间分辨率亚微米级的电子背散射衍射，能够给出结晶学数据。合同生效后9个月550万元中国科学院金属研究所是 投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，评标、授标以包为单位。合同履行期限：合同生效后9个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件1.时间： 2023-06-27 至 2023-07-04 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外）地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。方式：在线获取售价：免费2.时间：2023年06月29日 至 2023年07月06日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：登录“东方招标”平台http://www.oitccas.com注册并购买。方式：1）登陆“东方招标”平台（http://http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成供应商注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的供应商无需重新注册。磋商文件售价：每包人民币600元。如决定购买磋商文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。（一）采购人信息名称：福建师范大学地址：福建省福州市闽侯县上街镇乌龙江大道18号福建师范大学旗山校区联系方式：郑老师136968399892.采购代理机构信息（如有）名称：福建省承诚招标代理有限公司地址：福州市鼓楼区梁厝路2号华雄大厦3号楼17层联系方式：李杰0591-87554016/87554653/邮箱：fjscczb@163.com3.项目联系方式项目联系人：李杰电话：0591-87554016网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn开户名：福建省承诚招标代理有限公司（二）1.采购人信息地址：沈阳市沈河区文化路72号　　　　　　　　联系方式：佟老师；024-23971066　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　联系方式：王军、郭宇涵、李雯；010-68290508；010-68290599；010-68290530 　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：佟老师电　话：　　024-23971066

随着纳米材料在各个工业领域的应用，推动了超高分辨率的扫描电镜的发展，但这些材料导电性不佳，因此，对低电压下仍具有高分辨率的扫描电镜提出迫切需求。 低电压扫描电镜的主要特点之一是能直接对不导电样品进行观察，同时保持高的分辨率。但是其面临的问题是束流电压降低，信号量会显著下降，同时低电压下扫描电镜像差导致分辨率降低。随着扫描电镜技术的蓬勃发展，这些问题目前都得已大大改善。 为了弥补低电压下信噪比低的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜配备了YAG材质背散射探测器（T1）（图1）。YAG（Y3Al5O12:Ce3+）是一种具有高发光效率的闪烁体材料，用掺铈的YAG材料制成的背散射探测器，发光效率更高，亮度更高，更耐离子和电子的轰击，因此几乎不存在随使用时间的累积而导致发光效率下降的问题。Apreo 2系列电镜的T1背散射探测器置于镜筒内靠近极靴下部，这样不仅可以获取大量的信号，而且不会有误操作导致的撞毁风险。同时T1接收的是背散射电子，因此，可以大大改善导电性不佳的样品带来的荷电问题。 图1 Apreo 2 扫描电镜的T1探测器位置示意图 为了减小低电压下像差增加的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜发展出了样品台减速模式（图2），以减小透镜色差和提高低电压图像分辨率。减速模式中引入的“着陆电压”的概念，即实际到达样品表面的电压，其计算非常简单，入射电压减去减速电压即为着陆电压。例如，电子束初始加速电压5kV，在样品台上加4kV的减速电压，在样品表面的着陆电压为1kV，采用减速模式后入射到样品上的电压是1kV，在样品内的电子束扩展范围和对样品荷电的减缓同初始加速电压为1kV的情形一致，但其电子束的亮度接近加速电压为5kV的状态。因此，采用减速模式，一方面保持了高加速电压下的亮度和足够的信噪比，以及高分辨率，同时又真正实现了样品表面荷电的有效缓解。减速模式下，还有一个优点，使电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子收集效率，增加了信噪比。图2 样品台减速模式工作原理示意图 在实际应用中，我们会将样品台减速模式和T1探测器联合使用，以获取高分辨图像。比如，锂电池隔膜是一种PP或者PE材质的高分子薄膜，其导电性极差，常规的电镜无法解决荷电问题，而使用T1探测器不仅可以解决荷电问题，而且搭配减速模式仪器使用还可以获取高信噪比图像（图3）。稀土氧化物Y2O3粉体是制造微波用磁性材料及军事通讯工程用的重要材料，综合导电性较差，高加速电压容易使表面积累荷电，而且会掩盖颗粒表面细节，因此，我们采用低加速电压搭配减速模式进行高分辨成像（图4）。 图3 锂电池隔膜（加速电压：500V，放大倍数：30000，探测器：T1，减速电压：1kV） 图4 Y2O3粉末颗粒（加速电压：500V，放大倍数：100000，探测器：T1）

10月26日，2023年全国电子显微学学术年会在东莞市召开。国仪量子在会议期间重磅发布自主研制的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500、超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X，开启了国产高端电镜发展的全新时代。发布会现场，国仪量子应用工程师详细介绍了两款全新电镜的研发历程与技术细节，并现场演示了双束电镜的测样过程，点燃了与会嘉宾对国产高端电镜的热情。与用户共创！开启国产电镜全新时代多年来，国仪量子的工程师持续深入现场，走到用户身边，挖掘其对性能、操作等多维度需求，并将这些反馈落实到产品规划中。张泽院士（右三）、陈江华教授（左四）、马德生老师（左二）与国仪量子副总裁张伟（右二）、副总裁曹峰（左三）等人合影此前，国产电镜技术一直局限在显微成像层面，难以满足更高层次的微纳表征、测量加工制造等综合性需求。国仪量子抓住用户痛点，基于深厚的技术积累与出色的产品工程化能力，研发了自主可控的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500。这标志着国产电镜正式迈入了微纳加工的全新时代。针对有着更小观测尺度、更高分辨率观测需求的科研用户，国仪量子推出了敢为人先、极具挑战意识的，超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。进一步夯实了国产高端电镜发展的基础。聚焦离子束电子束双束显微镜DB500优雅精“制”DB500DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒，是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术（SuperTunnel）、低像差无漏磁物镜设计，低电压高分辨率成像，保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源，拥有高稳定、高质量的离子束流，保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构，拥有24个扩展口，配置全面，自主可控，扩展性强，为您打造全能纳米分析和加工中心。离子镜筒"承影"分辨率：3 nm@30 kV探针电流：1 pA~50 nA加速电压范围：500 V~30 kV使用寿命：≥1000小时长时间稳定性：72小时不间断工作纳米机械手仓内安装方式三轴全压电驱动步进精度≤10nm最大移动速度2mm/s集成式控制方式离子束-电子束协同气体注入器单气体注入多种气源可选伸缩距离≥35 mm重复定位精度≤10 um加热温度控制精度≤0.1℃加热温度范围：室温~90℃集成式控制方式产品优势DB50001高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品02“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样03样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位04自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X超高分辨 挑战极限SEM5000XSEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电子显微镜，其分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物镜设计、高压隧道技术（SuperTunnel）以及镜筒工艺升级，实现了低电压分辨率的进一步提升。全新设计的样品仓，扩展接口增加至16个，快速换样仓最大支持8寸晶圆（最大直径208 mm），极大扩展应用范围。高级扫描模式和自动功能增强，带来了更强的性能和更好的体验。产品优势SEM5000X01超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景03高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响04最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求本届会议期间，来自全国的近2000位显微学人齐聚一堂，以振兴电子显微学事业发展为己任，瞄准国家重大需求和国际前沿科学问题，不断为我国卡脖子难题的攻克贡献中国电子显微学者不可或缺的重要力量。国仪量子秉承”为国造仪“的初心，基于市场与用户需求，坚持自主创新与科研攻关，为国产高端科学仪器发展和国家科技自立自强不懈努力。

主题：Leveraging Advanced UHR-SEM Contrast Methods Using TESCAN CLARA' s In-column Detectors演讲人：Petr Klimek Petr Klímek 是TESCAN 公司SEM产品经理，有多年的扫描电镜操作和应用经验。他在布尔诺的孟德尔大学（Mendel University）获得了材料学博士学位，后在德国弗劳恩霍夫研究院（Fraunhofer WKI）和俄勒冈州立大学（Fulbright Scholar）实习。时间段1：4月21日, 下午3:00 –4:00（北京时间）时间段2：4月22日, 上午1:00– 2:00（北京时间）随着超高分辨扫描电镜（UHR-SEM）的不断普及，对超高分辨扫描电镜的评定标准已经逐渐形成规范，不再只关注电镜的高分辨率，开始更加强调能够获得不同衬度的图像的能力，通过这些不同衬度的图像来揭示仅凭高分辨无法辨别的样品信息。通常，当高能电子束打到样品上时，就会激发出能够反映样品形貌、结构和成分的各种信号，我们通过获取这些信号来对材料细节进行表征。背散射电子(BSE)是被激发出的主要信号之一，它会以不同的角度、不同的深度从样品表面下被激发出来。根据角度和能量的差异选择性地收集背散射电子信号，增强图像的形貌衬度或成分衬度。显然，有选择性地收集背散射信号可以增强背散射电子图像所能够揭示样品深层信息的能力。在本次网络研讨会上，我们将展示TESCAN CLARA超高分辨场发射扫描电镜如何使用不同的背散射电子探测器来解决差异化衬度的需求，这些背散射电子探测器包括安装在样品室内的四分割固态背散射电子探测器/闪烁体背散射电子探测器、镜筒内轴向探测器、和镜筒内Multidetector™ 探测器。如您对本场研讨会感兴趣，点击“我要报名”立即报名参会吧！说明：为了让更多的用户可以参与到本次研讨会中，每一场研讨会都有两个时间段可供选，内容相同，与会者可自行选择报名参加其中一个时间段的研讨会。TESCAN CLARA

JEOL近期全球发布了超高分辨热场发射扫描电镜JSM-7600F升级的消息，升级后的型号改为JSM-7610F。JSM-7610F保持了JEOL超长寿命，超高亮度电子枪的特点，外观更加美观时尚、操作更加简单，分析能力更加强大。

分辨率最高可达0.6 nm！国仪量子超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X#NEWS超高分辨场发射电镜发布近日，国仪量子在2023全国电镜年会期间发布了全新的超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X，分辨率达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV，进一步夯实了国产高端电镜发展的基础。深度挖掘用户需求 全新升级实现超强性能国仪量子在服务客户时发现，传统的场发射扫描电镜在拍摄一些特殊样品时会出现成像质量不佳的问题。例如，纳米材料的导电性较差，样品的粒径通常也非常小，观测难度较高。但随着科研水平不断进步，对材料的观测尺度也将不断缩小，观测难度愈发提高。为解决这一难题，国仪量子显微镜研发团队在调研用户需求后，基于深厚的技术储备与产品工程化能力，推出了“挑战极限”的超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。SEM5000X如何“挑战极限”？极限挑战一：挑战超高分辨率SEM5000X在15 kV下分辨率优于0.6 nm，1 kV下分辨率优于1 nm，成功挑战了热场发射扫描电镜的极限分辨率。国仪量子对SEM5000X电子光学系统中的物镜部分做了特殊的改进优化，电透镜和磁透镜的重合度进一步提高，使得色差减小了12%、球差减小了20%，整体上提升了电镜的分辨率。极限挑战二：不惧高难样品在SEM5000X产品设计中，增加了样品台减速模块，采用了高压隧道和样品台减速的组合，实现双减速技术，能够挑战极限样品拍摄场景。极限挑战三：适应复杂环境此外，我们自研了高精度的优中心样品台，采用了超稳定的机架，还额外设计了可屏蔽环境干扰的全包围式屏蔽系统，使SEM5000X能够轻松适应各种复杂环境。产品优势SEM5000X01超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景03高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响04最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求如果您需要一台更高性能，更高分辨率的电镜，那您一定不能错过超高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X。应用案例展示介孔二氧化硅/1 kV（Dul-Dec）/lnlens阳极氧化铝板/10 kV/Inlens芯片/5 kV/BSED-COM肾脏切片/5 kV/BSED-COMP泡沫镍/2 kV/ETD-SE蓝宝石衬底/5 kV/ETD-SE金颗粒/1 kV/Inlens光刻胶/2 kV/ETD-SE磁性粉末/10 kV/Inlens二氧化硅球/3 kV/ETD-SE催化剂/1 kV/ETD-SE波导/1 kV/ETD-SE

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，本报记者了解到最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extreme High Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens&trade 电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队： 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，根据了解到的最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extra-high Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens™电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队：• 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。• 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。• 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。 生物切片 锂电池正极片 锂电池正极粉末 高温合金4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

一、项目一（一）项目基本情况项目编号：2024-GFCG-126项目名称：哈尔滨工程大学超高分辨场发射扫描电镜及电子背散射衍射分析系统采购项目预算金额：829.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：829.000000 万元（人民币）采购需求：采购标的名称单位数量是否接受进口产品投标简要需求超高分辨场发射扫描电镜及电子背散射衍射分析系统套1是能够获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，同时对样品表面微观区域内元素成分进行定性、定量分析以及晶体学取向等分析。 合同履行期限：合同签订后240天内完成交货、安装、调试并具备验收条件本项目( 不接受 )联合体投标。（二）获取招标文件时间：2024年05月20日 至 2024年05月24日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：按本公告第三部分规定的方式方式：邮件获取售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和（三）对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：哈尔滨工程大学　　　　　地址：哈尔滨市南岗区南通大街145号　　　　　　　　联系方式：佟龙、王金丹、朱国凤、郑天琪 0451-55671212　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：宜国发项目管理有限公司　　　　　　　　　　　　地　址：哈尔滨市道里区群力第四大道399号汇智广场中楼401　　　　　　　　　　　　联系方式：佟龙、王金丹、朱国凤、郑天琪 0451-55671212　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：佟龙、王金丹、朱国凤、郑天琪电　话：　　0451-55671212二、项目二（一）项目基本情况项目编号：SJX—2024-186项目名称：新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）采购方式：公开招标预算金额（元）：4000000最高限价（元）：1800000,1150000,1050000采购需求：标项一 标项名称:新疆师范大学新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第一包：分子生化实验仪器和设备 数量:不限 预算金额（元）:1800000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第一包：分子生化实验仪器和设备采购，具体内容详见招标文件采购需求。 备注：标项二 标项名称:新疆师范大学新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第二包：细胞生物学仪器和设备 数量:不限 预算金额（元）:1150000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第二包：细胞生物学仪器和设备采购，具体内容详见招标文件采购需求。 备注：标项三 标项名称:新疆师范大学新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第三包：冰箱、培养箱、离心机和教学模具等设备 数量:不限 预算金额（元）:1050000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：新疆师范大学生物技术与工程创新实验室建设项目（二期）第三包：冰箱、培养箱、离心机和教学模具等设备采购，具体内容详见招标文件采购需求。 备注：合同履约期限：标项 1、2、3，合同签订之日起至质保期结束之日止。本项目（否）接受联合体投标。（二）获取招标文件时间：2024年05月18日至2024年05月24日，每天上午00:00至12:00，下午12:00至23:59（北京时间，法定节假日除外）地点：政采云平台线上方式：供应商登录政采云平台https://www.zcygov.cn/在线申请获取采购文件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文件），或者点击采购公告底部潜在供应商“获取采购文件”，页面跳转后登陆，直接获取采购文件。售价（元）：0（三）对本次采购提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：新疆师范大学地 址：新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市水磨沟区观园路100号新疆师范大学资产管理处联系方式：0991-41122882.采购代理机构信息名 称：新疆世纪星工程咨询有限公司地 址：乌鲁木齐经济技术开发区二期黄山街一品九点阳光德港大厦B座20楼联系方式：0991-36783033.项目联系方式项目联系人：李梦媛、李航、杜萍、范艳娥电 话：0991-3678303

2015年8月，台式电镜的领导者韩国COXEM（库赛姆）继2014年发布的EM-30 台式扫描电之后，今年再推出EM-30 Plus系列超高分辨率台式扫描电镜，将台式电镜的分辨率提高到了优于5nm分辨率的极限，可以与传统大型扫描电镜相媲美；同时设备配置了二次电子及背散射电子探测器，将台式电镜可对样品进行表面形貌分析、元素衬度分析以及二者相结合分析的技术发挥到了极致。COXEM（库赛姆）EM-30 Plus产品技术亮点： 超高分辨率（5.0nm @30kV SE）； 更大的放大倍数x 150,000； 更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式； 同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集； 更加先进的低真空模式； 全新升级的分析软件，舒适通用； 从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程；COXEM（库赛姆）EM-30 Plus三大显著优势:1、业界最高的分辨率 COXEM（库赛姆）EM-30 Plus系列高分辨率台式（桌面式）扫描电镜打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性，利用创新的双聚光镜成像技术，采用大型扫描电镜成像方式，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而可以获得更高的分辨率（5nm），图像表面信息更丰富细腻，是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。 p=""2、同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集 COXEM（库赛姆）EM-30 Plus系列台式电镜标配二次电电子（SE）+可伸缩式背散射电子（BSE）探测器，可以同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集，既能实现对样品形貌衬度分析、元素衬度进行分析，又能实现将二者相结合进行分析，打破了传统台式电镜只能得到样品单一衬度像的瓶颈 。COXEM（库赛姆）EM-30 Plus标配的可伸缩式背散射电子（BSE）可以非常有效的保护探测器不受损伤，更加体现了该款设备贴心的设计。同时该系列台式电镜也可选配EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析，是一款高信价比的微观分析设备。3、更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式 全新NanoStation? 3.0软件系统，具有更加简单易用的导航模式，您只需要3步，首先对样品进行导航，然后设置成像条件。接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。最后将结果可视化，而这些操作只需通过点击鼠标就可实现，为您高倍下快速寻找观测目标这个实际问题提供了完美的解决方案。关于COXEM（库赛姆）公司 COXEM（库赛姆）公司总部位于韩国硅谷大田市大德科技特区内，是世界桌面台式电镜的起源地，是专业电子显微镜制造商，COXEM（库赛姆）在扫描电子显微镜领域将提供卓越的桌面台式解决方案（SEM）。COXEM（库赛姆）公司的成立，源于韩国国家纳米科技战略的制定与实施，是政府性的基金组织负责筹建，以韩国标准与科学研究院为平台，研发其自主的电子显微镜技术。COXEM公司注重继续研发与产品质量保证。其产品能够快速适应市场变化，保持产品价格经济、性能更好。2011年成功推出的EM系列台式扫描电镜发展到第二代。配置更加丰富，操作使用维护更加方便。自成立以来，COXEM（库赛姆）公司发展规范迅速，获得多种权威认证，如韩国NET（New Excellent Technology)认证，ISO9001质量管理体系认证，ISO14001环境管理体系认证，欧盟CE安全认证等。 欲了解更多详情请登录http://coxemchina.com/ 您可以拨打全国免费咨询电话咨询：400-101-5477，售后：400-101-5466。

日本电子株式会社近日全球同步发布最新型的大束流超高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F。它的最大束流可达200nA，分辨率可达1.0nm，是一款具有超高分辨率且兼备强大分析功能的新型仪器。详情请咨询日本电子各事务所。

仪器信息网讯 2012年12月6日，由天美(中国)科学仪器有限公司与日立高新技术公司共同举办的“日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500(以下简称‘SU3500’)研讨会”在北京举办。来自国内各大高校和科研院所约30余位专家参加了此次新品研讨会。天美公司副总裁赵薇、日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori在研讨会上进行了致辞。日立高新电子显微镜全球应用工程师振木 昌成与日立高新技术公司电镜营业部马玉娥经理对SU3500新型扫描电镜最新功能和应用进行了详细讲解，并且进行了现场实际操作演示。　　左至右：天美公司副总裁赵薇，日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori，日立高新电子显微镜全球应用工程师振木昌成　　扫描电镜是利用电子束“照射”样品表面，通过产生的二次电子信号成像来观察样品的表面形态。根据电子枪产生电子束的机理不同，扫描电镜主要有场发射、钨灯丝 此次推出的新品SU3500属于应用最广泛、使用最经济的钨灯丝扫描电镜。扫描电镜在低加速电压下工作具有减少或消除样品的荷电效应、增强样品的表面衬度和成分衬度以及减少样品辐照损伤等优点 因此，提高电子显微镜在低加速电压和低真空下的分辨率是扫描电镜的研究热点。　　低加速电压下实现高分辨。通常加速电压降低，灯丝的发射电流会按比例减少，图像的亮度也会正常衰减。SU3500采用了最新开发的自动多级电子枪偏压设计，能够在特定的加速电压条件下，实现高的发射电流。与日立S-3400相比，SU3500的信噪比增强，成像质量更加优越。在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率可达7nm 在加速电压为5kV时，电子背散射图像的分辨率可达10nm。　　低真空下实现不导电样品的直接观察。新设计的SU3500真空程序使真空度可达到650Pa，实时真空反馈允许在用户设定的特定压力下，保持样品室快速的真空稳定性。SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察 电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷，因此不需要进行传统的样品前处理，如干燥和镀膜。　　SU3500的操作软件也有多项改进，使科研人员的工作效率大幅提高。例如：多模式多用途观察显示功能可以通过菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏图像显示 双幅图像及四幅图像显示模式可以同时显示由两种不同的探测器观察到的图像，或者为了多用途观察而合成图像。信号混合功能可以将富有样品表面细微结构信息的二次电子像和富有丰富成分信息的背散射电子像在一幅画里面叠加显示，更易于评价与分析。　　低电压、低真空下获得极高的分辨率是SU3500最大亮点。天美公司副总裁赵薇表示，SU3500扫描电镜在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率达7nm 先进的3D技术以及非常便利的可视化操作，使SU3500成为目前全球最高端的钨灯丝扫描电镜。专家现场体验SU3500新型扫描电镜功能　　SU3500新型扫描电镜　　相关新闻：　　天美(中国)北京总部乔迁庆典及答谢晚宴　　看清“不一样”的天美——访天美控股有限公司董事长劳逸强

项目编号：0682-2242022J0003项目名称：天津大学资产处极高分辨率场发射扫描电镜采购项目预算金额：400.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：400.0000000 万元（人民币）采购需求：序号产品名称数量简要技术规格备注1极高分辨率场发射扫描电镜1套电子显微镜由于其高分辨率和多功能性广泛应用于材料科学、化工、地质和其他固体科学以及生命科学在内的所有科学领域，是研究物质微观结构不可缺少的重要工具。本项目预采购的设备应综合考虑各学院已有的同类设备，取长补短，发挥校级分析测试平台的课题涉及面广，综合要求高等特点，有针对性的选择仪器的配置和功能，尽最大可能满足学校科研教学需求，为学校双一流建设做出应有的贡献。合同履行期限：签订合同180天内交货，同时签订合同270天内完成安装调试并具备验收条件等（受不可抗力影响除外）。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：TDZC2022J0017项目名称：天津大学资产处极高分辨率场发射扫描电镜采购项目预算金额：400.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：400.0000000 万元（人民币）采购需求：序号产品名称数量简要技术规格备注1极高分辨率场发射扫描电镜1套电子显微镜由于其高分辨率和多功能性广泛应用于材料科学、化工、地质和其他固体科学以及生命科学在内的所有科学领域，是研究物质微观结构不可缺少的重要工具。本项目预采购的设备应综合考虑各学院已有的同类设备，取长补短，发挥校级分析测试平台的课题涉及面广，综合要求高等特点，有针对性的选择仪器的配置和功能，尽最大可能满足学校科研教学需求，为学校双一流建设做出应有的贡献。合同履行期限：签订合同180天内交货，同时签订合同270天内完成安装调试并具备验收条件等（受不可抗力影响除外）。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：2022-JF223项目名称：高分辨场发射环境扫描电镜预算金额：250.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：250.0000000 万元（人民币）采购需求：高分辨场发射环境扫描电镜，数量：1套；简要技术要求：高分辨场发射环境扫描电镜用于微塑料样品中的表面形貌的二次电子像、反射电子成像观察及图像处理。高性能x射线能谱仪，能同时进行微塑料样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析；其他详见招标文件。合同履行期限：按招标文件要求。本项目( 不接受 )联合体投标。

东方国际招标有限责任公司3月30日发布公告，在“中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)”公开招标中，天美(中国)科学仪器有限公司以USD1,070,700.00中标3套高分辨率场发射扫描电镜。详情请见附件。附件：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)中标公告　　招标编号：OITC-G10032033　　采购人名称：中国科学院微电子研究所　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)　　定标日期：2010年3月30日　　招标公告日期：2010年2月11日　　公告信息如下：　　第1包 高分辨率场发射扫描电镜 3套　　成交供应商名称：天美(中国)科学仪器有限公司　　成交价格：USD1,070,700.00　　评标委员会成员名单：张德添、段玉生、熊少祥、李科杰、欧文　　本项目联系人：窦志超　　联系电话：010-68725599-8447　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请与即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。

1.项目编号：440001-2023-16757项目名称：惠州学院高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）科研仪器设备购置项目采购方式：公开招标预算金额：5,600,000.00元采购需求：合同包1(高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）):合同包预算金额：5,600,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他分析仪器高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）1(台)详见采购文件5,600,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：交货时间在合同签订后6个月内。2.项目编号：HW20230022/ HBT-15123011-230415项目名称：华中科技大学转盘共聚焦显微镜采购项目预算金额：400.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：400.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购转盘共聚焦显微镜一套，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1转盘式共聚焦显微镜是套1双相机光路，可以同步双色双相机成像合同履行期限：交货期：自合同签订之日起90天内。质保期：自验收合格之日起3年。本项目( 不接受 )联合体投标。3.项目编号：HW20230029/HBT-15123012-230416项目名称：华中科技大学近红外上转化共聚焦显微镜采购项目预算金额：430.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：430.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购近红外上转化共聚焦显微镜一套，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1近红外上转化共聚焦显微镜是套1不少于六个独立的荧光检测器，一个透射DIC检测通器，所有通道可实时扫描、同时叠加合同履行期限：交货期：自合同签订之日起6个月内。质保期：自验收合格之日起整机质保3年。本项目( 不接受 )联合体投标。4.项目编号：SDSHZB2023-243项目名称：山东大学超声波扫描显微镜采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：180.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：180.0000000 万元（人民币）采购需求：超声波扫描显微镜，亟需购置，具体内容详见磋商文件。合同履行期限：详见磋商文件本项目( 不接受 )联合体投标。技术要求.pdf惠州学院高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）科研仪器设备购置项目招标文件（2023050501） (1).zip

2021年3月24日下午，由蔡司显微镜主办，仪器信息网协办的“蔡司新一代场发射扫描电镜新品发布会”成功线上举办，蔡司新一代Gemini场发射扫描电镜系列——GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560在云端悉数亮相。会议吸引近500名电镜用户及“蔡粉儿”报名参会。【文末彩蛋：发布会完整暖场视频】经典传承，历久弥新。蔡司此次发布的Gemini扫描电镜新品再一次进化升级，GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560也正是Gemini电子光学系统也针对不同的应用场景衍生出的三款型号。Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560本次云端新品发布会由新品主题报告、特邀专家报告，及拓展应用报告组成。首先，蔡司显微镜高级应用专家蔡琳玲为大家分享了本次发布蔡司新一代Gemini场发射扫描电镜的详细产品信息及创新细节。据介绍，GeminiSEM 360搭载1型Gemini镜筒，是一款高通用性成像工具。其物镜为静电透镜+磁透镜复合透镜，在提高其电子光学性能的同时将它们对样品的影响降至更低。即使对极具挑战的样品（例如磁性材料）也能进行高品质成像。Beam booster技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比；Gemini镜筒内带有平行设计的镜筒内二次电子和背散射电子探测器，可实现信号的高效采集，同步获取形貌衬度和成分衬度像。GeminiSEM 460搭载2型Gemini镜筒，专为应对复杂的分析工作而设计。它除了复合透镜和镜筒内加减速设计以外，利用双聚光镜设计实现更加灵活的束流调节。您可以在小束流的高分辨成像模式与大束流的分析模式之间进行无缝切换，对称设计的EDS接口可让您获得无阴影的成分分布图，而物镜无漏磁设计可以让您获得无畸变的大面积EBSD花样。您还可以通过加装各种原位实验附件将Gemini 460升级为一个自动化原位实验平台。GeminiSEM 560搭载3型Gemini镜筒，带给您极致的高分辨成像体验。该款镜筒拥有两个可协同工作的电子光学系统：Nano-twin透镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot，可通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束会聚角，进一步提升分辨力；还可实现1倍到200万倍的无缝过渡，大视野导航和亚纳米成像一镜到底。此外，新一代Gemini扫描电镜还拥有一系列功能和附件，可进一步丰富您的应用场景、降低操作难度。接着，复旦大学信息科学与工程学院陈宜方教授结合课题组研究进展，为大家分享了蔡司扫描电镜在纳米科技和工程建设中的应用。报告讲解了其团队从2013年至今，利用纳米加工技术（电子束光刻、纳米压印光刻、光学光刻、STM光刻等）与蔡司电镜检测技术作为基础工具，在纳米科学方面开展的广泛应用工作，包括纳米仿生学研究、光子纳米喷射效应的超分辨聚焦透镜、超表面光场调控、新型光电器件、同步辐射X射线光学系统关键部件、微波/太赫兹波段MMIC通讯技术等。相关的丰富的研究成果也获得广泛的国内国际合作。最后，蔡司显微镜高级应用专家李洪进一步为大家分享了蔡司关联显微分析解决方案。蔡司多维度&多尺度&多手段显微镜技术包括：一站式关联显微解决方案（ZEN core+Altlas 5软件与LM-SEM-FIB-XRM硬件）；丰富的样品信息，让分析更全面（BF,DF,C-DIC,POL,FL等光镜和能谱EDS信息）；向导式操作流程，专门的关联样品夹具让分析更简单；图像自动测量，高级图像处理和自动测量，机器学习分割等，让分析更高效等。彩蛋1：暖场视频之蔡司显微镜彩蛋2：暖场视频之蔡司显微镜Seeing beyond

项目编号：OITC-G220390538项目名称：中国科学院电工研究所高分辨场发射扫描电镜采购项目预算金额：360.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：360.0000000 万元（人民币）采购需求：包号货物名称数量是否允许采购进口产品采购预算（人民币）最高限价（人民币） 1 高分辨场发射扫描电镜1套是360万元360万元 合同履行期限：详见项目需求本项目( 不接受 )联合体投标。

血管内支架取栓治疗是急性缺血性中风（AIS）护理标准的一大进步。机械血栓切除术（MTB）后血栓随支架回收器嵌入的方式尚未明确。瑞士研究人员利用扫描电子显微镜（SEM）分析了AIS患者机械血栓切除术后植入支架回收器后回收血栓的外观。研究人员观察到，组成不同的血栓，其组织和结构致密性也不同。支架的附着方式因血栓成分和组织而异。急性缺血性中风（AIS）是西方世界获得性缺陷的第一大原因，也是第二大死亡原因。临床实践中引入血管内治疗后，AIS的护理标准发生了革命性的变化。机械血栓切除术（MTB）策略允许通过提取阻塞大脑动脉的血栓来恢复脑血流。尤其是，带支架回收器的血栓切除术非常有效，它仅在血栓抽吸不能提供必要的再通时使用。血栓附着在支架回收器上的方式仍有待阐明。了解血栓主要成分、红细胞和纤维蛋白的变形性和摩擦特性，使科学家能够设计血管模型的参数研究，并预测各种血栓切除技术的有效性。然而，与体外人工生成的血栓相比，从患者身上提取的血栓在成分、形态和机械性能方面本质上更为复杂和多样。最近一项专注于血管内技术恢复的人类中风血栓力学特性的研究报告称，与富含红细胞的血栓相比，纤维蛋白/血小板含量增加的血栓硬度增加。后者也被认为更容易被MTB萃取。虽然血栓切除术后患者血栓如何嵌入支架回收器中的可视化可以提供有用的信息，但这仍然是一个未充分探讨的话题。在体外表征技术中，扫描电子显微镜（SEM）可以呈现血栓细胞含量和纤维蛋白组织的形态学信息，是唯一能够提供血栓结构与支架附着相关的高分辨相关细节的技术。在这方面，迄今为止进行的体外研究很少，仅限于血栓的外部观察，指出了机械性夹闭和粘附是血栓合并的主要手段。在这项研究中，研究人员用显微镜图像分析了从AIS患者身上取出的不同成分血栓被纳入支架的方式，并强调了它们的潜在结构特征、共同点以及锚定在支架上时的差异。富含红细胞的血栓合并到支架回收器上。（a） 光学显微照片。（b） SEM显微照片拼贴。（c） 血栓段的横截面，显示致密的核心、多孔的外围和纤维蛋白外层。血栓表面可见血管组织残余物（箭头）。（d） 由多面体组成的致密核心的高倍视图。（e） 血栓段之间存在纤维蛋白串。（f） 白细胞和血小板附着在纤维蛋白串上（放大图（e），区域用箭头标记）。富含红细胞的血栓附着在支架上的方式。（a） 支架支柱穿过血栓突出。（b） （a）的高倍视图（虚线矩形），显示血小板帽和双凹红细胞。（c） 血栓符合支架支柱。（d） c（箭头所示区域）的高倍视图，显示血栓与支架的接触面积。（e） 相邻支架支柱之间的纤维蛋白桥。（f） （e）的高倍视图（箭头所示区域）。中间血栓并入支架回收器。（a） 光学显微照片。（b，c）支架上血栓的SEM图。插入（c）视图中的血栓切片和锚定部位的支架支柱。（d） 润湿支架表面的纤维蛋白串（由a、d中的箭头指示）。（e） 血栓附着在支架支柱上。（f） 切开致密血栓，显示与支架支柱的接触区域（箭头所示）。（g） 与支架接触处血栓表面的高倍视图（箭头所示）。中间血栓的紧密结构。（a） 扫描电镜下血栓横截面图。（b） 血栓周围的致密结构，红细胞簇包裹在血小板和纤维蛋白的致密基质中。（c） 血栓的致密核心，显示多角体聚集在纤维蛋白和血小板的致密基质中。（d） （c）的高倍视图，显示纤维蛋白血小板基质。支架回收器中整合的富含纤维蛋白的血栓。（a） 光学显微照片。（b） 低倍SEM视图。（c） 血栓支架界面的近距离SEM视图（支架支柱被切割，以便更好地观察）。血栓和支架支柱之间没有粘连（箭头所示）。富含纤维蛋白的血栓分析。（a） 血栓的横截面。（b） 血栓较大部分（a中标记为“1”）上可见骨折的近景，以及虚线椭圆形标记区域的高倍放大图。（c） ，（d）在（a）中标记为“2”的区域的近距离视图。（c） 横切面进入细胞壁，空腔内散在红细胞和白细胞。（d） 空腔内的广阔视野。（e，f）包裹在支架支柱周围的血栓段的横截面（a中标记为“3”）。（e） 松散堆积的纤维蛋白区。（f） 致密区域有多面体红细胞，纤维蛋白之间有白细胞。瑞士研究人员对富含纤维蛋白的血栓的研究结果总结如下。富含纤维蛋白的血栓呈片状，有两种不同的结构组织。其中一个构成血栓体积的大部分，结构紧凑，由纤维蛋白束组成，纤维蛋白束相互连接，均匀排列，聚集在高纵横比（100–200µm厚，几百微米宽）的聚集体中。在纤维蛋白束方向，血栓片的弯曲角度较大，这表明其具有抗变形能力。在纤维蛋白束以外的其他方向，纤维蛋白片表现出更大的柔韧性，因为它会以较小的角度弯曲和扭转变形。另一种类型的结构组织由多孔和随机取向的纤维蛋白微区组成，大小为数十微米，有/无细胞成分。整体孔隙率、随机性和不均匀微区的大小允许多个方向的变形和血栓包裹支架支柱。由于孔隙率增加或成分充足，沿支架回收器合并的血栓与可变形的血栓区域结合。当血栓浸湿支架时，捕获物可以是粘着的，当血栓在支架支柱周围折叠而不紧密接触时，捕获物可以是非粘着的。在富含红细胞的血栓中，支架支柱可以通过非致密体积区域突出。颅内血栓中致密和非致密区域的范围、血栓的组成以及对支架表面的粘附亲和力是血栓被捕获到支架中的重要特征。

3月24-28日，由山东省、福建省、浙江省、江苏省、安徽省及上海市显微学学会共同主办，常州工学院、江苏省分析测试协会等单位协办的“2022年度华东地区（电子）显微学学术交流会”在江苏省常州市常州工学院举办。纳克微束受邀参加，携国内首款高分辨扫描电镜产品及应用解决方案与现场专家、学者共同交流分享。会议重点交流透射电镜、扫描电镜、扫描探针显微镜等在材料、化学化工、生物、医学、农林、环境、刑侦、商检等领域中的应用及基础研究，以及电子显微技术在前沿物理科学、结构生物学、先进结构材料等领域中的研究成果。会上，纳克微束携最新自主研发成果FE-1050系列场发射扫描电镜亮相。【FE-1050系列高分辨（场发射）扫描电镜，其拥有卓越的成像性能，稳定可靠的运行记录，以及智能的操作体验。】是目前国内分辨能力最高、分析能力最强、平台扩展性最好的旗舰型扫描电镜产品，不仅具备优秀的低压分辨力（1.5nm@1kV），同时可以保证兼容聚焦离子束、多通道能谱仪、电子背散射衍射仪、阴极荧光探测器等任意第三方厂商探测器及附件系统，是国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的大型场发射电镜平台，智能化和自动化程度更高，系统设计更加人性化，更符合国内用户使用习惯。纳克微束应用工程师卢毓华博士现场介绍了纳克微束FE-1050系列扫描电镜在航空航天、新能源、生命科学、地质地矿等领域的相关应用解决方案。纳克微束专注于以(场发射)扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索,打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。作为拥有70年历史沿革的央企上市公司,中国“电镜第一股”——钢研纳克控股子公司,纳克微束团队研发人员通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力,在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局,保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队,纳克微束传承了“聚合科技动能”精神,突破扫描电镜领域“卡脖子”难题,践行“助力我国科学与硬实力提升”的行业使命。 长期以来,国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验,核心技术“受制于人”。卢毓华博士指出——纳克微束未来将始终坚持“守正创新”，锚定“中国电镜技术引领者”目标，加紧技术攻关、勇攀科技高峰，为我国“加快实现高水平科技自立自强”做出更大贡献。

11月26- 28日以“‘动’析显微新世界”为主题2022 年全国电子显微学学术年会在东莞举办，会议瞄准国家重大需求和国际前沿科学问题，邀请专家学者、业界同行共同探讨电镜行业最新发展方向。全国电子显微学学术年会是我国相关领域最权威的会议之一，是瞄准国家重大需求、聚焦国际前沿科学、展示最新技术成果的行业盛会，纳克微束受邀出席，并展示了公司自主研发的最新国产扫描电镜FE-1050系列，展现了国产电镜品牌的科研实力与技术创新水平。会议重点交流高分辨扫描电子显微学、微束分析、扫描探针显微学等前沿技术以及这些技术在前沿物理科学、生命科学、结构生物学和信息科学等学科及新能源技术、热电材料、信息技术、环境科学与技术、先进结构材料等领域中的基础研究和应用基础研究成果。会上，纳克微束携最新自主研发成果FE-1050系列场发射扫描电镜亮相，【FE-1050系列高分辨（场发射）扫描电镜，其拥有卓越的成像性能，稳定可靠的运行记录，以及智能的操作体验。】该设备是目前国内分辨能力最高、分析能力最强、平台扩展性最好的旗舰型扫描电镜产品，不仅具备优秀的低压分辨力（1.5nm@1kV），同时可以保证兼容聚焦离子束、多通道能谱仪、电子背散射衍射仪、阴极荧光探测器等任意第三方厂商探测器及附件系统，是国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的大型场发射电镜平台，且智能化和自动化程度更高，系统设计更加人性化，更符合国内用户使用习惯，是国产扫描电镜行业关键技术的一次里程碑式突破。作为上市央企钢研纳克（股票代码300797）控股子公司，纳克微束传承了钢研纳克70年技术沉淀与研发精神，自成立起就聚焦全球顶尖的电子显微类相关产品研发与制造，对标世界顶尖电镜仪器厂商和产品，不断推动国产高端仪器的发展。不断为我国“卡脖子”难题的攻克贡献中国电子显微行业不可或缺的重要力量。当今世界，百年未有之大变局正加速演化，各领域国际竞争进入到新的阶段，围绕科技制高点的竞争空前激烈。想要打赢关于这场核心技术攻坚战，我国需要更多、更强、更具有创新意识的研发力量。未来，纳克微束将继续坚守“守正创新”的行业担当，坚持走自主创新之路，致力于成为中国电镜技术引领者，推动国内高端科学仪器健康快速发展。

庆祝飞纳台式扫描电镜再创新高度，分辨率突破 10 纳米，将台式扫描电镜的分辨率从真正意义上提高到个位数。飞纳电镜现已成为台式扫描电镜市场领导者，是主流扫描电镜厂家中，唯一只专注台式扫描电镜研发的厂商。研发的投入取得了显著的成果，飞纳电镜成为首个采用高亮度，1500 小时寿命 CeB6 灯丝的厂家，一举成为主流台式扫描电镜中分辨率最高的；同时，将扫描电镜抽真空的时间缩短为 15s，速度惊人；首次在扫描电镜中集成光学显微镜，方便用户获得样品台的全貌，有了它，就像有了谷歌地图，用户对样品的位置可以有清晰准确的定位，结合全自动马达样品台，查找样品某个位置快速简单。 回顾飞纳台式扫描电镜的历史：1997 年，FEI 和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务，强强联手，代表了全世界最先进的电镜技术；2006 年，FEI 成立 Phenom World 公司，发布全球第一台台式扫描电子显微镜飞纳（Phenom）,放大倍数 10,000 倍；2012 年 3 月，Karel.Mast 教授带领原飞利浦电镜部门精英研发出世界首台电镜能谱一体机，能谱探头从此可以安全地待在电镜外壳内部；同时推出 3D 粗糙度测量等软件；2013 年 4 月，Phenom World 优化 CeB6 灯丝和内部防震设计，将分辨率优化到 17 nm, 正式推出第三代产品，放大倍数 100,000 倍，与大型钨灯丝电镜分辨率接近，同年 11 月推出颗粒测量统计系统；其后不久，Phenom World 推出了新产品 Phenom XL, 样品尺寸 100*100 mm,可选配二次电子，拓展功能媲美大型钨灯丝电镜；同时推出了孔径测量统计系统；2015 年，PW 推出第 4 代产品，分辨率达到 14 纳米，放大倍数 13 万倍；同年，PW 推出了世界首台荧光电镜一体机 Delphi,首将关联电镜技术发展成为台式设计；飞纳，不仅仅代表着扫描电镜，更代表着一种创新精神，一种追求卓越的精神，飞纳电镜用实际成果带给人们不断的惊喜。2016 年，飞纳电镜第 5 代产品，分辨率突破 10 nm。第 4 代 Phenom Pro 飞纳电镜专业版是 14 nm 的高分辨率台式扫描电镜，放大倍数 13 万倍；第五代的 Phenom Pro 检测结果，分辨率优于 10 nm.飞纳电镜性能稳定可靠，经得起客户的实地考察，经得起市场的检验，飞纳，会成为您工作最佳的搭档！2015年，第四代高分辨率专业版 Phenom Pro 分辨率 14 nm2016年，第五代高分辨率专业版 Phenom Pro 分辨率优于 10 nm

p style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "【作者按】/span/strong看得更远、观察得更微小是人类探索宇宙的两个面向。人眼的理论分辨极限是50微米（教科书的观点是明视距离25cm处，可分辨100微米），要想观察得更微小就需要借助显微镜。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "显微镜的组成：光源、透镜系统以及信号接收及处理系统。光源提供一个激发样品信号的激发源（可见光、电子束），透镜系统是对该激发源以及激发样品信息的过程进行操控，信号接收、处理系统主要是对样品被激发的信息进行接收、处理形成样品放大图像。电子显微镜还可进行区域的元素及晶体结构、取向分析。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "显微镜依据光源和透镜的类型分为：光学显微镜和电子显微镜：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "光学显微镜是以可见光为光源，采用光学玻璃透镜系统，接收及信号处理系统为人眼或一些光学探头及配套的专用软件。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "电子显微镜基本组成：三极电子枪产生的高能电子束形成光源，采用电磁透镜系统对电子束进行操控（会聚、发散、放大、缩小），信号接收、处理系统采用的是荧光屏或各类探头及配套的专用软件。/spanspan style="text-indent: 2em " /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "显微镜的成像方式主要有两类：span style="text-indent: 2em "散射束（电子显微镜是平行束）成像和会聚束成像。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "散射束（平行束）成像：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "散射束（平行束）成像是最早期的一种成像方式。绝大部分光学显微镜以及早期透射电镜都采用这种成像模式。上世纪70年代透射电镜增加了会聚束成像模式（STEM），使分辨率达到原子级。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "散射束成像模式是将一束散射光（电子显微镜采用平行光）打在样品上产生含有样品特征的透射光或反射光（体视镜），由透镜系统对其进行会聚、放大、成像。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "透射电镜的成像模式类似于幻灯机。span style="text-indent: 2em " /span/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/2895ab28-cb3f-4a06-8b2a-522216f19fd6.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱.jpg" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱.jpg"/strongspan style="text-align: justify text-indent: 2em "透射电镜的成像模式，节选自章效峰《显微传》/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "散射束成像模式的成像速度快（一次同步成像），有利于显微系统的原位动态观察，但分辨能力不如会聚束成像模式。因此目前在透射电镜超高分辨观察中，获取高分辨原子像常采用聚光镜球差校正的会聚束成像模式（STEM），高分辨原位操控及动态观察常采用物镜球差校正的散射束（平行光）成像方式。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "会聚束成像：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "该模式主要在电子显微镜中应用，因此以电子显微镜为例。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "会聚束成像是将电子束会聚成极细的电子探针。该探针由交变磁场（扫描线圈）拖动，在样品上来回扫描，激发样品各点信息，被专用探头接收、处理形成样品放大的图像。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "扫描电镜采用的正是会聚束成像模式。该模式具有较高的分辨能力，但是成像时间较长，容易形成热损伤。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "下面就扫描电镜结构组成及工作原理、放大倍数、分辨率这三部分内容进行较为详细的探讨。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "一、扫描电镜的结构及工作原理/span/strong/pp style="text-align: left text-indent: 2em "strong 1.1扫描电镜的结构组成如下图：/strong/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/64f532a3-5eb6-49c0-9d5b-c786929a5006.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱2.png" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱2.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong1.2结构及功能简介/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "整机分为：镜筒部分以及电气部分/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1.2.1镜筒部分：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（1）光源：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "三极电子枪：产生高能电子束。热发射的束斑直径小于50um，场发射束斑直径小于10nm。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（2）透镜系统：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "聚光镜：会聚电子枪产生的电子束。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "物镜：会聚电子束并将其会聚在样品表面。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "扫描线圈：产生交变磁场拖动电子束在样品表面扫描/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "消像散线圈：消除因镜筒精度原因造成磁场不均匀而产生电子束强度的各向差异。将椭圆斑校成圆斑。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "极靴：引导、改善磁流体。形成高强度、均匀、封闭的磁场。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（3）真空系统：各类机械泵。给电镜提供工作所需的真空环境。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1.2.2电气部分：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（1）工作电源：对应镜筒各部件（电子枪、各类透镜及真空泵）/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（2）信号接收及处理：探头、信号放大、信号处理、显示器/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（3）功能：span style="text-indent: 2em "给镜筒各个部件提供工作电源，接收、处理样品产生的特征信息。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "1.3工作原理/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "三极电子枪产生高能电子束，经聚光镜系统会聚后，由物镜将其会聚于样品表面，形成电子探针。该电子探针将激发样品表面的各类信息。其中背散射电子、二次电子以及特征X射线是扫描电镜成像以及进行各种分析（元素分布及含量、晶体取向、应力等）的主要信号源。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "这些样品信息由各类探头接收，经各种专门软件分析形成样品的形貌像、成分像并进行区域元素定性、半定量、特殊样品的区域定量分析，也可对晶体样品进行区域的结构、取向、应力等分析。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子束固定不动，只可获得某点的信息，想获取样品整个表面信息就必须利用扫描线圈产生的交变磁场拖动电子束在样品表面来回扫描，将样品各点信息激发出来，形成样品的整体信息进行分析处理，完成扫描电镜分析的整个工作过程。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong二、扫描电镜的放大倍数/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "放大倍数是扫描电镜的重要指标之一。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "各种显微系统由于工作原理不同，计算放大倍数的方式也不同。但是相同点都是“原始图像的大小”除以“物体的大小”。/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/22a9d01d-2c48-4410-8afe-cd274e4b21a2.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱3.png" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱3.png"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "扫描电镜放大倍数的调整方式是：图像尺寸保持不变，通过改变加载在镜筒扫描线圈上的锯齿波信号幅度来调整电子束在样品上的扫描范围，从而改变扫描电镜的放大倍数。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "早期的扫描电镜图像尺寸约定俗成为5英寸相片的长： 即2.54x5=12.7cm。但是冷场电子枪（日本人专利）的出现，欧美电镜厂商开始将计算放大倍数的图像尺寸加大，出现了几种不同的放大倍数计算方式：图像放大、屏幕放大。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "图像放大倍数（欧美厂家又称为“宝丽来放大”）：采用12.7cm边长的图像尺寸来计算放大倍数。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "屏幕放大倍数：采用成像的屏幕尺寸来计算放大倍数，这个值非常混乱，早期是30cm近来出现27cm等几种不同尺寸。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "这使得同一个样品、同一个位置、同样的放大倍数出现不同大小的图像。想获得统一的结果必须进行转换，要转换就必须先确定图像属于那种放大模式。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "确定图像放大模式的方式如下：/pp style="text-align:center"span style="text-indent: 2em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/5855aa20-79f5-4adc-a7be-61a35a224364.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱4.png" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱4.png"//span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "屏幕放大和图像放大的转换方式如下：/span/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 664px height: 199px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/15c9ff05-ea62-44af-bb4b-f0c2ed83a43e.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱5.png" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱5.png" width="664" height="199" border="0" vspace="0"/span style="text-align: justify text-indent: 2em " /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "左图图像放大，右图屏幕放大。从图像上看，同样的样品，左图7万倍的图像比右图15万倍的图像都大。两者的等效结果如何？首先要明确这是由那种模式等效到那种模式。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "如果图像放大等效屏幕放大（300mm），则做如下计算：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "屏幕尺寸 ÷ 图像尺寸放大倍数，即300÷ 127× 7=16.5万倍。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "结果就是图像放大7万倍等效于屏幕放大（300mm）的16.5万倍。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em " 欧美厂家的特朗普式退群做法给我们正确分析扫描电镜的测试结果制造了麻烦。统一放大倍数的性质将方便我们将各不同厂家扫描电镜形貌图像对应起来。掌握正确的转换方式，才能正确读取扫描电镜的图像信息，避免由于放大倍数特性不一致引起的图像假象。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "三、分辨率/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电镜分辨率定义为：仪器所能分辨的两点间最小距离。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "一直以来，分辨率被认为是显微系统最关键的性能指标，没有之一。但是扫描电镜分辨率指标由于缺乏令人信服的标样来验证，所以它又是一个最不可靠的指标。各厂家可以在这个指标上随意的发挥（现在都写到0.6nm），因为我们没有标样来验证它的正确或不正确。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "金颗粒标样一直都被认为是验证扫描电镜分辨率的不二选择，但是它符合标样的要求吗？/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "标样必须满足的三要素：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（1）明确的细节标示。样品中要有被明确标示尺寸的细节，或者样品有极为规律的结构且标明尺寸（例如：光栅等）。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（2）稳定的性能。样品必须稳定，不能今天这样，明天那样。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "（3）可溯源。标样都有可以被追溯的源头，并被权威机构所验证。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "金颗粒标样是一条都不满足，如何成为标样呢？/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "目前流传着一个计算分辨率的软件，被某些厂家所推崇。但我认为即便它的计算方法极其科学且被大家所认可（其实被质疑点很多），那也是针对图像灰度差来计算，这个灰度差是否表示该处存在样品的细节信息？这是无法给出。就如空中楼阁般，虽然构造很完美，但没有根基，所以问题多多。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "接下来我们看看那些小于1nm的扫描电镜分辨率指标是否可靠。我们知道扫描电镜分辨率指的是：仪器所能分辨的样品最小细节，因此分辨率的影响因素应当归结到样品信号溢出范围及溢出量、样品仓环境和接收系统的能力。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "即便只考虑样品信号溢出范围及溢出量。影响因素也由两部分组成：激发源、样品本身的性质。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "激发源考量的是电子束面积、强度、能量、会聚角，这些归结为电子束的发射亮度【β' =电子束流强度（I）/（电子束面积*会聚角）】和加速电压。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "样品本身性质考量的是：形态（晶态、非晶态）、平均原子序数、密度等等。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "如果按传统观点只考虑电子束面积，分辨率又是多少呢？/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 413px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/b305b9a4-fb2c-4bb5-a396-e37c91d49dc9.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱6.jpg" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱6.jpg" width="500" height="413" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "上图是一张经典的束流和束斑对照图。我们可以看到扫描电镜的电子束最小束斑直径是：冷场电子枪（产生最小电子束斑），在加速电压30KV、束流1pA时电子束直径为1.2nm左右。按照传统观念，扫描电镜的分辨率不可能优于1.2nm，考虑二次电子信号溢出呈高斯分布，那么分辨率最多能到1nm左右。低于1nm基本无法想象。 /pp style="text-align: justify text-indent: 2em "现实测试中我所观察到的最好分辨率是十二面体ZIF-8的微孔，1.5nm左右。该细节被BET（氮气吸附脱附等温曲线）法证明存在。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 664px height: 254px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/bac223a1-e6f5-4850-984c-916f4769e899.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱7.png" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱7.png" width="664" height="254" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "图中可以看到在十二面体上有许多小孔按照红箭头所示方向排列，用仪器自带测量软件测量孔的直径大致在1.5nm以下。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "上面分析了，扫描电镜分辨率指标是一个无法被验证的不可靠指标，那么那个指标能充分反映扫描电镜分辨力？/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong电子枪的本征亮度，量纲为：A/cm2.sr.kv/strong/pp style="text-align:center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/12e0db81-8f74-4a12-a6d3-3775e64fc858.jpg" title="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱8.jpg" alt="扫描电镜放大倍数和分辨率背后的陷阱8.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "(注：图片截自国外资料，图中" 工作真空" 后的单位精确地说应为mbar,10sup-10/supmbar=10sup-8/supPa)/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子枪本征亮度反映的是电子源品质，它随电子枪的构成而固定。各类电子枪都有其明确的被检测值，因此其量化也是十分明确的。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "本征亮度大有利于我们充分选择测试条件获得更多的样品信息。图像细节更丰富，分辨能力也更强大。当然任何因素的改变都将符合辩证法的规律，其影响是正、负两个方面。本征亮度的负面影响主要来自样品热损伤，但也有一个度。冷场电子枪的热损伤是次要因素，它带来的高分辨结果却是主要因素。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我对扫描电镜的认识及所形成的理论，是以我对实际操作中的经验总结为基础。与很多传统的理念有背离，不足之处希望大家能指出探讨。百花齐放、百家争鸣将帮助我们更全面的认识事物。span style="text-indent: 2em " /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong参考书籍：/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "《扫描电镜与能谱仪分析技术》张大同2009年2月1日./spanspan style="text-indent: 2em "华南理工出版社/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《微分析物理及其应用》 丁泽军等 2009年1月.span style="text-indent: 2em "中科大出版社/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《自然辩证法》 恩格斯 于光远等译 1984年10月.span style="text-indent: 2em "人民出版社 /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《显微传》 章效峰 2015年10月span style="text-indent: 2em ".清华大学出版社/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="text-indent: 2em color: rgb(0, 176, 240) "作者简介：/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em color: rgb(0, 0, 0) "img style="max-width: 100% max-height: 100% float: left width: 85px height: 130px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/9735aac7-cc11-41a0-b012-437faf5b20b5.jpg" title="林中清.jpg" alt="林中清.jpg" width="85" height="130" border="0" vspace="0"/林中清，87年入职安徽大学现代实验技术中心从事扫描电镜管理及测试工作。32年的电镜知识及操作经验的积累，渐渐凝结成其对扫描电镜全新的认识和理论，使其获得与众不同的完美测试结果和疑难样品应对方案，在同行中拥有很高的声望。2011年在利用PHOTOSHIOP 对扫描电镜图片进行伪彩处理方面的突破，其电镜显微摄影作品分别被《中国卫生影像》、《科学画报》、《中国国家地理》等杂志所收录、在全国性的显微摄影大赛中多次获奖。 /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong点击【/strong/spana href="https://www.instrument.com.cn/ykt/video/294_0.html" target="_self" style="text-decoration: underline color: rgb(255, 0, 0) "span style="color: rgb(255, 0, 0) "strong仪课通讲堂/strong/span/aspan style="color: rgb(0, 176, 240) "strong】学习更多扫描电镜系列课程/strong/span/p

项目编号：1297-2343020081B3/01（Z20230229）项目名称：同济大学材料科学与工程学院高分辨场发射环境扫描电镜采购项目预算金额：460.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：460.0000000 万元（人民币）采购需求：序号产品名称数量简要技术规格备注1高分辨场发射环境扫描电镜1套详见招标文件第八章预算：人民币460万元整，投标报价超预算作废标处理合同履行期限：合同签订之日起270个工作日内完成并验收合格交付使用。本项目( 不接受 )联合体投标。获取招标文件时间：2023年02月18日 至 2023年02月24日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海市普陀区中山北路2130号1705室1706室方式：报名资料：法人授权委托书原件（或法人授权委托书原件的扫描件）、营业执照副本原件（或加盖公章的复印件）及汇款凭据。 报名电话：025-83609978（南京）/021-52181959（上海） 报名邮箱：jshc9999@163.com 邮箱获取本公司对公支付宝报名付款码：（转账时请务必备注公司名称+81B3/01）售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：同济大学地址：上海市杨浦区四平路1239号联系方式：陈老师137641843802.采购代理机构信息名称：江苏省华采招标有限公司地址：上海市普陀区中山北路2130号1705室1706室联系方式：章月华、胡晓秀 025-83603368（南京），021-52181959（上海）3.项目联系方式项目联系人：章月华、胡晓秀电话：025-83603368（南京），021-52181959（上海）

项目编号：CTIETC-HWZB-2204044项目名称：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院超高分辨场发射扫描电子显微镜预算金额：459.9000000 万元（人民币）最高限价（如有）：459.9000000 万元（人民币）采购需求：包号招标（采购）内容数量交货期交货地点招标（采购）需求1超高分辨场发射扫描电子显微镜1套合同生效后7个月内完成供货、安装、调试、培训工作。北京航空航天大学学院路校区采购超高分辨场发射扫描电镜1套，主要用于各种半导体样品、MEMS器件、各种材料、化学、物理等样品表面微观结构分析、记录和元素成分定性和定量分析，能够实现对上述类型的不导电样品无需喷镀直接高分辨成像。具体参数见第四章技术需求书。合同履行期限：本项目合同履行期限为自合同生效之日起至供货及相关配套服务全部履约完成本项目( 不接受 )联合体投标。

11月24日，国仪量子召开电子显微镜新品发布会，基于我国制造业转型升级的长期发展战略，推出了世界上首台分辨率达到2.5纳米的商用钨灯丝扫描电子显微镜，突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。国仪量子董事长贺羽致辞国仪量子副总裁曹峰介绍新产品电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质，如形貌、成份、结构等信息，是材料研究、质量控制与失效分析等领域应用的强大工具。作为一种应用广泛的高端科学仪器，我国扫描电镜长期以来被进口品牌垄断，国产扫描电镜在技术与产品性能上与国外品牌存在差距。但随着我国科技创新能力不断提升，制造业的转型升级，催生了以国仪量子为代表的一批研发实力强劲的科技创新企业。国仪量子钨灯丝扫描电子显微镜SEM3300钨灯丝扫描电镜具有性价比高、易于维护、操作相对简单以及对场地要求较小等特点，便于大众使用。但长期以来，钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前，难以实现用户对更高分辨率的追求。国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关，通过分析限制钨灯丝扫描电镜分辨率的主要因素，开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10 kV高压管（高压隧道技术）的解决方案，并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。SEM3300在20 kV分辨率达到2.5 nm，比普通钨灯丝电镜提高了16%，成为了目前世界上分辨率最高的商用钨灯丝扫描电镜；同时，作为钨灯丝电镜“王者”，SEM3300在任意电压下都表现出卓尔不群的分辨力——在3 kV分辨率达到4 nm，相比普通钨灯丝电镜提高了2倍；在1 kV分辨率达到5 nm，相比普通钨灯丝电镜提高了3倍——满足更多材料的分析测试需求。同时，国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。钨灯丝扫描电镜SEM2000是一款操作不挑人，简约不简单的产品，以“人人都敢用，人人都能用”为目标打造。场发射扫描电镜SEM4000是一款针对分析型用户需求的全新产品，具有电子束流大、分析速度快的特点、最大超过200 nA的电子束流，且束流大小连续可调，有利于选择最合适的成像和能谱条件。当下，全球都在强调制造业的重要性，我国更是将制造业转型升级作为长期的发展战略。在这个进程中，扫描电镜作为一种强大的分析仪器，在提升制造业产品创新能力与产品质量上将大有作为。自2019年推出首台扫描电子显微镜以来，国仪量子务实笃行，不断精研行业痛点，深耕核心技术，以优质的产品与服务，帮助客户更高效地探索未知的边界。

仪器信息网讯 5月28日，株式会社日立高新技术(以下简称“日立高新技术”)发布“SU3900SE”、“SU3800SE”系列高分辨率肖特基场发射扫描电子显微镜，可在纳米水平上对大型重型样品进行高精度和高效的观察。高分辨率肖特基场发射扫描电镜 SU3900SE(左) ，SU3800SE(右)该系列最大可观察样品重量达到5 kg。此外，通过搭载日立高新技术SEM系列中最大级别的样品台，可以对直径300mm、高度130mm的大型样品进行观察，从而减少切割样品等加工工序，有助于提高整个过程的效率。并且，新产品在可以进行大型重型样品观察的同时，还兼具样品台5轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转)移动。此外，还具有相机导航功能，可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起，从而观察样品全貌，支持观察大型样品时的视野搜索（在测量开始时确定当前测量位置），有助于提高操作性。产品开发背景SEM是用于观察材料表面微观结构的仪器，广泛用于纳米技术和生物技术等多个领域的研发、制造和质量控制。特别是，高分辨率肖特基场发射扫描电镜 (FE-SEM) 可在更高倍率进行观察，在微粒观察、微小异物观察以及元素分析方面的需求不断增加。当观察大型和重型样品时，如钢铁等工业材料及汽车相关零部件，可观察的试样尺寸和重量有限制。在观察前需要进行切割等样品处理，从而增加了观察工作的负担。另外，近年来，SEM更多的应用在控制微观结构，以提高各种材料的功能和性能，以及分析异物和缺陷以提高产品质量。因此，还需要通过进一步提高可操作性来减轻用户的负担，例如提高获取大量数据的效率，以及简化大范围观察时的视野搜索等。主要特点（1）大型重型样品的广域观测由于样品台可以观察到大型重型样品，日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外，产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。（2）使用光学相机图像进行简单的大范围移动使用光学相机导航系统可覆盖整个样品台的移动范围，轻松确定样品位置。此外，光学相机图像也可以随样品台而旋转，从而轻松移动样品位置，并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。（3）获取大量数据时减轻用户负担配备可选功能“EM Flow Creator”，可视需要组合倍率和样品台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能，创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单，可进行自动观察，有助于减轻用户的操作负担，并在连续图像采集过程中节省人力。关于SU3900SE/SU3800SESU3900SESU3800SE最大样品尺寸Φ300mmΦ200mm最大可观察范围Φ229mmΦ130mm最大可搭载重量5kg2kg最大可搭载高度130mm80mm今后，日立高新技术将继续完善其“解析、分析”的核心技术，致力于打造解决客户问题的解决方案平台和专用设备，为解决环境问题、强韧、安全和安心等社会问题和客户课题做出贡献。公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助客户实现其目标，共创美好未来。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="text-indent: 2em "作者按：/span/strongspan style="text-indent: 2em "加速电压对扫描电镜分辨力的影响目前很难有定论。各电镜厂家所给出分辨率指标的指向是加速电压越高分辨率越好。实际检测过程中常常发现，加速电压越高我们所能获得的样品表面细节却越少。本文将尝试用自然辩证法的观点来分析产生这种现象的原因。/spanspan style="text-indent: 2em " /span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "对于扫描电镜加速电压与分辨力关系的认识，存在着两种相互矛盾的观点。即“加速电压越低分辨力越好“、“加速电压越高分辨力越好”。形成这种相互矛盾表述的原因在于我们那种机械、单调的思维模式。在一次偶尔观看的综艺节目中，有嘉宾提到“两面性看问题”这种辩证法的观点对我触动很大，由此开始尝试将辩证法的观点引入到对扫描电镜的认识中来，从而获得许多有意思的结果。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "由于篇幅原因，本文将只探讨加速电压对扫描电镜分辨力的影响。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong一、 自然辩证法及其三大规律/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《自然辩证法》是德国哲学家弗里德里希· 恩格斯一部未完成的著作。在著作中对当时的自然科学成就用辩证唯物主义的方法进行了概括，提出了对事物认识中存在的“对立统一”、“否定之否定”、“量变到质变”三大规律。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "这三大规律告诉我们：任何事物都存在着相互矛盾、相互否定的几个方面，而这些方面各自间的量变会导致事物整体发生质的变化。比如，我们人类一出生，每个个体就包含了“生、死”这两种相互矛盾、相互否定的因素。起先 “生”是主因，因此我们人类就处在一个成长的过程中。但是随着年岁的增长这个主因会做减速变化，而另一个主因“死”会做增速的变化。达到一定时候，也就是“人到中年”，我们将进入生命最旺盛的时期，同时我们也达到了“生、死”这两个主因的主导地位发生变化的关口。接下来 “死”这个因素将占据主导地位，生命个体也开始走入死亡阶段，由此发生质的变化。这就是 “量变到质变”，一切取决于“度”。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "扫描电镜测试条件的改变对结果影响也遵循这样的规律。任何一个条件的改变必然带来正、反两个方面效果。当正面效果是主导因素时，这个条件增加带来的结果就越好。但随着条件进一步增加反面效果必然占据主导地位，此时该条件继续增加，所带来的结果就会变差。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "下面以扫描电镜加速电压这个因素的改变，来讨论其对图像细节分辨力这个结果的最终影响。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong二、扫描电镜加速电压与分辨力的基本认识/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong2.1几个相关名词：/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "分辨力、加速电压、电子束发射亮度、span style="text-indent: 2em "电子枪本征亮度、样品的信号扩散/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2.1.1分辨力：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "“分辨力”指的是扫描电镜分辨细节的能力。分辨力越强我们获取的样品细节也就越多。许多时候我们喜欢用“分辨率”这个概念来描述，但是分辨率这个概念往往和某一确定的数值有关。扫描电镜分辨率的值到底是多少？其影响因素非常多，我们目前还无法找到合适的标样或公式来进行令人信服的科学验证。因此本人倾向用“分辨力”这个模糊的概念来代替。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2.1.2 加速电压：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电镜的电子枪都设计为三级结构：钨灯丝为阴、栅，阳；场发射是阴、第一阳极、第二阳极。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子束是由阴极、栅极（钨灯丝）或阴极、第一阳极（场发射）形成。该电子束由加载在阴极、阳极或阴极、第二阳极上高压形成的电场加速，给电子束提供能量以形成高能电子束。该电压称为“加速电压”。加速电压越高，形成的电子束能量越大。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em " 2.1.3电子束的发射亮度：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子光学中的亮度定义基本延续光学中关于亮度的定义，只是将功率改成了电流强度。其定义为：单位立体角内的束流密度，量纲是A/cm2.sr。该值受加速电压影响，基本与加速电压成正比关系。但加速电压对其的调整必须在一个水平线上进行，这个水平线就是电子枪的本征亮度（或称为约化亮度）。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "从电子束发射亮度的定义可以看到，发射亮度越大束流密度也越大、固体角越小。固体角小可以保证形成的信号范围小，高束流密度保证小范围产生大信号量。因此发射亮度大就保证样品在很小范围内产生更多的样品信息，有利于形成样品的高分辨像。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2.1.4电子枪的本征亮度：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子枪是电子显微镜的光源。对于显微镜来说光源系统是基础，决定着显微镜品质的高低。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "描述电子枪品质的参数就是其“本征亮度”或称为 “约化亮度”。量纲是A/cm2.sr.KV。这个值扣除了加速电压影响，反映的是电子枪品质高低。本征亮度越大电子枪品质越好，越有利于形成高分辨像。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "不同类型电子枪的本征亮度是不同的。电子枪本征亮度是一个常数，一旦电子枪制作完成其本征亮度也就确定了。钨灯丝、六硼化镧、热场、冷场这些不同类型的电子枪，本征亮度依次增大，由其为基础所制造的扫描电镜分辨能力也依次增强。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2.1.5样品信号的扩散：/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子束与样品相互作用产生样品的各种信息。其中二次电子、背散射电子是扫描电镜表面形貌像的主要信息源。这些信息在样品中会有一定的扩散范围。扩散范围越大对图像的清晰度影响也越大，严重到一定程度就会影响到图像的细节分辨，从而降低图像的分辨力。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "信号的扩散范围与加速电压、样品特性以及所选的信号能量大小有关。加速电压越大、样品密度越低以及所选的信号能量越强，信号的扩散范围也就越大。图像分辨力也就越差。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "加速电压对样品信号扩散的影响如下图：span style="text-indent: 2em " /span/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 286px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/d9345286-9fa2-4321-a8a5-b7778aeeba5a.jpg" title="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (2).jpg" alt="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (2).jpg" width="500" height="286" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong电子束与样品相互作用产生的二次电子信号及溢出范围示意图/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "上图所示，电子束轰击到样品后所形成的每一种类样品信息都包含两部分（以二次电子为例）：一部分是电子束直接激发并溢出样品表面，称为SE1；另一部分是由样品内部的背散射电子所激发并溢出样品表面，称为SE2。SE1主要集结在电子束周围，因此其扩散范围小，对样品表面细节信息影响也小。SE2由内部背散射电子产生，因此它们离散在电子束周边较宽的范围，且加速电压越大离散范围就越大对图像细节影响也越大。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong2.2电子枪本征亮度、电子束发射亮度、加速电压之间的关系/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子枪本征亮度、电子束发射亮度、加速电压之间遵循着以下关系：/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 526px height: 76px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/1472813d-72df-437f-b19c-02bf1315466a.jpg" title="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈.png" alt="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈.png" width="526" height="76" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "由于电子枪本征亮度是一个定值，由此公式可见：加速电压和电子束发射亮度成正比，加速电压越高发射亮度也就越大。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "三、 加速电压对扫描电镜分辨力的影响/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "任何仪器设备在测试过程中只做两件事：产生样品信息，接收及处理样品信息。因此对最终结果的影响，也必然是这两方面的综合效果。各种因素的叠加，起决定性的因素称为“最短板”，也就是影响最大的因素。最短板会随着测试条件的选择、样品的特性以及所需要的样品信息不同而发生改变。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "扫描电镜测试中需进行四大测试条件的选择：加速电压、束流、工作距离以及探头。其中加速电压和束流的选择主要影响的是信号产生，工作距离和探头的选择主要影响的是信号接收。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "自然辩证法的观点：任何一个条件的选择都会对最终结果形成正、反两个方面的影响。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "加速电压的选择也是一样，任何一次加速电压的改变都会带来电子束发射亮度以及信号扩散的变化。以加速电压的提升为例：升高加速电压会带来电子束发射亮度的提升，有利于我们获取样品高分辨像；同时会带来样品信息溢出区域的扩大，不利于我们获取样品高分辨像。加速电压的提升对最终结果影响是有利还是不利，取决于那个因素是“最短板”。信号扩散是最短板，加速电压越高则图像分辨能力越差。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 500px height: 422px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/18861c0d-0bc8-4dce-b058-1a3670030c7f.jpg" title="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (2).png" alt="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (2).png" width="500" height="422" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong上图为介孔材料在四个不同加速电压下的结果/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "从上图可见，加速电压小于2KV时，SE1为信号主体，电子束发射亮度是“最短板”，此时，如上面两张图片所示，加速电压越高分辨力越好。当加速电压超过2KV时，SE2将变成信号主体，信号扩散将转变为“最短板”，我们看到下面两张图片的结果，加速电压越高细节分辨越差。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "因此我们可以看到，任何条件的改变都会带来正、反两方面的结果，而最终结果取决于 “最短板”。 “最短板”也会随着测试条件的改变而发生变化。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "加速电压改变对分辨力的影响从电子束发射亮度的角度出发来分析，同样也是充满着自然辩证法的规律。想要获得高质量、高分辨的扫描电镜图像，电子束的发射亮度必须达到一定值，可以将这个值定义为：基本亮度。这个值就如同扫描电镜灯丝饱和点一样，在没有达到 “基本亮度”时，加速电压的改变对高分辨像影响的 “最短板”出现在电子束发射亮度上，此时加速电压越高分辨率越好。而电子束发射亮度超过这个值以后，电子束发射亮度提升对最终结果的影响将大大减少，加速电压提升形成的信号扩散将成为影响最终结果的“最短板”，此时加速电压越高仪器的分辨力将大大的减弱。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "通过2.2中给出的关系式，我们可以清晰的解释为啥钨灯丝必须选择较高的加速电压，而低加速电压测试是场发射电镜的优势所在，也是场发射电镜高分辨测试的基本保证。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "钨灯丝电子枪的本征亮度要大大低于场发射电子枪，因此要想获得高分辨所需的“基本亮度”，就必须提高加速电压来满足需求，提高加速电压带来的结果就是信号扩散的增加。钨灯丝扫描电镜需要加速电压高于10KV才能获得高分辨像所需的“基本亮度”值，而这个值往往会使得样品信号扩散成为影响最终结果的主要因素，这就是钨灯丝电镜分辨率低的主要原因。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "扫描电镜高分辨像对加速电压选择的要求：信号扩散尽可能的小，电子束发射亮度尽可能的大。只有提升电子枪的本征亮度才能满足这个要求，这也是电子枪本征亮度越大分辨力也越强的缘由。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "过高的电子枪本征亮度也会对样品形成热损伤，当热损伤成为对最终结果影响的主体时，分辨力也就无从谈起。He离子镜就是实例。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong四、 结 束 语/strong/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "自然辨证法的精要在于：认识中的唯实践论，方法上的唯矛盾论。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "它以自然科学、人文科学、社会学等学科为基础，总结出了以“对立统一”、“否定之否定”、“量变到质变”三大规律为基础的世界观、认识论以及方法论。和我国传统哲学思想中的“中庸之道”、“过犹不及”等思维模式有着异曲同工之处。对我们认识事物，从事各种实践活动（科学、社会、人文等）都有着现实的指导意义。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "做任何事情、解决任何问题时都要正确认识到其所存在的两面性、矛盾性，避免单调的思维模式，正确把握适度性原则，将会使我们获得最佳的结果。 /pp style="text-align: right text-indent: 2em " strong安徽大学现代实验技术中心/strong/pp style="text-align: right text-indent: 2em "strong 林中清/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong参考书籍：/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《扫描电镜与能谱仪分析技术》张大同2009年2月1日 span style="text-indent: 2em "华南理工出版社/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《微分析物理及其应用》 丁泽军等 2009年1月 中科大出版社/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "《自然辩证法》 恩格斯 于光远等译 1984年10月 人民出版社 /pp style="text-align: justify text-indent: 2em "br//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong作者简介：/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% float: left width: 85px height: 132px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201910/uepic/6eed12e9-0e76-4aae-86bf-2d07a9410b00.jpg" title="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (3).jpg" alt="扫描电镜加速电压与分辨力的辩证关系——安徽大学林中清32载经验谈 (3).jpg" width="85" height="132" border="0" vspace="0"//strong林中清，87年入职安徽大学现代实验技术中心从事扫描电镜管理及测试工作。32年的电镜知识及操作经验的积累，渐渐凝结成其对扫描电镜全新的认识和理论，使其获得与众不同的完美测试结果和疑难样品应对方案，在同行中拥有很高的声望。2011年在利用PHOTOSHIOP 对扫描电镜图片进行伪彩处理方面的突破，其电镜显微摄影作品分别被《中国卫生影像》、《科学画报》、《中国国家地理》等杂志所收录、在全国性的显微摄影大赛中多次获奖。 /p

随着科学技术的日新月异，扫描电镜在多个领域的应用日益广泛。作为一种重要的分析设备，扫描电镜以其高效、准确的特性受到了广大科研工作者和实验室技术人员的青睐。为了满足市场需求，市场上涌现出了众多品牌和型号的扫描电镜，而如何从中挑选出性能优越、稳定可靠的设备成为了用户关注的焦点。在此背景下，我们特别推出了扫描电镜排行榜，旨在为用户提供一个权威、公正的参考依据。排行榜的评选不仅综合了仪器的技术性能、可靠性、售后服务等多个维度，还结合了市场上的用户反馈和行业专家的评价。我们相信，通过这份排行榜，用户能够更加清晰地了解各个品牌和型号扫描电镜的优劣势，从而作出更加明智的购买决策。我们期待着这份排行榜能够为广大用户带来实质性的帮助，并推动扫描电镜行业的持续发展和创新。同时，我们也欢迎广大用户提出宝贵的意见和建议，共同促进扫描电镜技术的进步和应用范围的拓展。钨灯丝扫描电子显微镜品牌型号：日本电子 | JSM-IT210价格：17万日本电子株式会社(JEOL)电话咨询留言咨询国仪量子场发射扫描电镜SEM5000品牌型号：国仪量子 | SEM5000价格：250万 - 300万国仪量子技术（合肥）股份有限公司电话咨询留言咨询Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：赛默飞 | Apreo 2价格：300万 - 400万北京欧波同光学技术有限公司电话咨询留言咨询FusionScope多功能显微镜品牌型号：Quantum Design | FusionScope价格：面议QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司电话咨询留言咨询纳克微束高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050系列品牌型号：纳克微束 | FE-1050系列价格：200万 - 500万纳克微束(北京)有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MIRA 场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MIRA价格：200万 - 250万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询库赛姆（COXEM）EM-30+ 台式扫描电镜品牌型号：库赛姆 | EM-30 +价格：面议北京天耀科技有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MAGNA 新一代超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MAGNA价格：300万 - 400万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801品牌型号：屹东光学 | YF-1801价格：面议屹东光学技术(苏州)有限公司电话咨询留言咨询惠然科技高分辨广适配热场发射扫描电镜F6000—整机“风”系列品牌型号：惠然科技 | F6000价格：面议惠然科技有限公司电话咨询留言咨询