集中控制真空送料系统

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集中控制真空送料系统相关的厂商

  • 广州三川控制系统工程设备有限公司
    广州三川控制系统工程设备有限公司创建于1993年，20年不懈努力，创造科技硕果累累，获得了2项国际发明**，13项国家发明**，13项实用新型**，5项外观设计**，8项计算机软件著作权，并且有6个系列水文仪器获得了国家质检总局颁发的全国工业产品生产许可证，7项技术（产品）被国家水利部列为全国水利先进实用技术重点推广项目，多项产品的精准度可达到国际领先的水平。我们产品有着成功应用的众多工程案例。主要产品有：超声波雨量计、高精度水位计、投入式水位计、水质监控仪、风速风向仪、大气压力、温度、湿度传感器、数字压力传送器、智能直流操作电源、数据监控e视通、智能电机控制器、智能无功补偿装置、智能zigbee无线通信模块、数据采集器、智能电表。软件系统有：物联网水利智能监控系统、电力系统自动化工程 泵站水闸自动化监控系统、物联网智能楼宇控制系统、水库大坝安全监测、起重设备智能控制系统、山洪灾害防治预警系统、气象智能监控系统、水质监控系统、视频图像监控系统等众多产品。
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  • 成都启华智设自动控制系统有限公司
    成都启华智设自动控制有限公司 对压力和流量控制系统有着十五年丰富的整体解决方案的经验，可为客户提供：低压、中压、高压、超高压（40MPa-1000MPa）四档产品、对于典型的压力控制装置采用机电一体化自动化控制，可以实现精度和响应速度俱佳的闭环控制，应用于各种需要压力精确控制的场所尤其适用于远程控制的危险场所。根据用户的不同需求，设计切实可行的解决方案，做到交钥匙工程；对于工程中常用的强氧化性、强腐蚀性、易燃易爆、高低温介质的控制有着丰富的经验。有相应完备的设计规范、完善的保密制度和生产工艺流程。
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  • 中核控制系统工程有限公司 金牌2年
    400-860-5168转3783
    中核控制系统工程有限公司（以下简称“中核控制”）是中国核工业集团有限公司所属在京成员单位，为中国核动力研究设计院下属控股国家级高新技术企业。先后成功上榜国家级专精特新“小巨人”企业，北京市“隐形冠军”企业，入选“北京市企业技术中心”。 中核控制注册资本3.98亿元，从业员工近千人，超70%为专业技术人员。公司通过质量、环境、职业健康安全管理体系认证，拥有民用核安全设备设计制造许可证、辐射安全许可证等多项专业资质，获得国家级奖项40项，部级奖项89项，取得登记软件著作权64项，授权专利207项，注册商标41项；多次主持、参与国家核行业标准编写；建有国家部委级重点实验室“工业和信息化部工业信息安全感知与评估技术重点实验室（核工业行业分中心）”、集团级重点实验室“中核工业控制系统网络安全重点实验室”以及中国合格评定国家认可委员会（CNAS）认可的“验证和确认实验室”。 中核控制集科研、生产于一体，业务范围涵盖数字化控制系统、专用仪控系统、核探测器、核仪器仪表四大产品体系。业绩涉足核电、核化工及环保等领域，先后承担了多个核电站、核化工项目全厂核仪控系统工程；为国内外50余座反应堆和核电站提供了专用仪控系统和辐射监测仪表等。 中核控制具备国际一流核仪控工程实施能力，始终秉承“融核创效、智领未来”的品牌理念，致力打造集团公司统一、先进、自主知识产权的全厂DCS业务平台和产业能力，成为迈向智能时代的核仪控技术和产业引领者，持续为用户提供优质的产品及服务。
    主营产品： 辐射仪   其它环境监测  
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集中控制真空送料系统相关的仪器

  • 生产集中控制系统
    CCS型生产集中控制系统：系统设备配置集中控制设备配置PLC柜：进行数据采集、处理、控制及监测；配置上位监控工控机（工程师站、操作员站）：对设备运行集中管理、控制，并打印报表；配置集中控制操作台等。集中控制设备负责对生产系统设备实现集中监控，实现选煤厂日常生产管理的自动统计和报表生成。1.系统功能 A.系统控制方式包括程序起车、停车、集中联锁、事故闭锁、报警信号采集、单机启停，就地解锁等。对选煤厂工艺系统的所有受控机电设备全部纳入集控，对煤流线上所有受控设备进行程序起车、停车、集中联锁控制，并进行监视。 B.控制方式由集中调度室操作人员在操作台上进行选择。 C.系统选择功能。 D.试车功能 E.具有予告和设备禁启功能。参控设备逆煤流启，顺煤流停。备用设备可实现在线启、停，所有设备均具有现场紧急停车功能。集中运行时，岗位司机只能就地停车，不能启车。 F.事故处理功能，包括预告故障、启、停车故障，运行故障以及检测信号等故障的处理和声光报警。 G.集中控制系统对重介系统的精煤泥桶、尾煤泥桶分别进行液位闭环控制，防止跑冒或抽干。2.操作方式集中控制系统具有集中、就地两种控制方式，两种控制方式可实现无扰动转换；控制室集中操作方式是本系统的主要操作方式，现场就地操作方式主要用于设备的调试和维护。 1）.集中操作方式 集中操作方式可分为“集中-手动”及“集中-自动”两种。“集中-手动”方式即通过计算机键盘或鼠标，结合LCD显示器，实现对单台设备的起停控制。在这种方式下，设备之间的联锁关系可以方便地设定或取消。该方式主要用于设备的试运行和检修。也可以作为正常生产时的补充操作方式。“集中-自动”方式即通过计算机键盘或鼠标结合LCD显示器，选择适合的工艺流程实现选定的流程内工艺设备的自动启、停。在这种方式下，设备之间存在联锁关系。在生产过程中，当出现需要短时间停止某设备的运行而又不希望因联锁关系导致其他设备随之停止时，可在设备运行中方便地对该设备进行联锁的设定或取消。 2）.现场单机操作 现场设备附近均设置就地操作控制箱，实现单台设备的起停控制。该操作方式主要提供单机调试维护使用。
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    厂商： 唐山凯讯
    品牌： --
    型号： CCS
    价格： 面议
  • 达泰plc远程通信模块分散点I/O信号集中控制除尘
    DCS系统中无线通讯技术的应用 ★ 特别声明：文章及方案图片皆为达泰电子原创，转载请标明出处。一、产品介绍达泰1系无线模拟量传输装置-DTD110FY，可直接替代有线模拟量信号传输方式，实现4-20mA或0-5V电压信号的点对点、一点对多点、多点对一点的无线传输功能。无线模拟量传输装置无需编程，运用全数字无线加密传输方式保证数据安全可靠，传输距离在3-50公里，后期无运行费用，配置防雨机箱，防护等级IP45。DTD110FY及DTD112FY通过无线方式传输工业现场的模拟量信号，采集工业现场标准4~20mA电流信号并通过无线方式传送，可以接入二次仪表、PLC、DCS等设备。在使用时，外接220V电源并接入对应信号线即可实现模拟量信号的无线通讯。既可以实现点对点通信，也适合于点对多点而且分散不便于挖沟布线等应用场合，不需要编写程序，不需要布线，一般电工就可以调试使用。产品特点：◆ 可以直接代替有线变送器，实现无线模拟量信号的遥测遥控◆ 不需要编写程序，简单接线即可使用；◆ 广泛应用于大型钢厂，电厂，化工厂，污水处理厂等工业现场；◆ 低功耗，每年可为企业节省的电费和设备维护费用达到200万左右。二、产品选型达泰1系工业级模拟量信号无线传输装置-DTD110FY点对点模拟信号无线采集，4-20ma无线数据传输，工业无线数据采集模块，plc远程通信模块，工业无线通讯模块，DCS系统模拟量无线采集，西安达泰电子,工厂无线技改三、行业应用1. 应用场景一：电力行业应用将发电厂多处分散分布的流量计信号数据汇总到厂区的DCS系统在电厂生产作业中，生产用水在火电厂中约占95%，主要包括循环冷却水、除灰(渣)用水、工业冷却水、锅炉补给水和化学自用水以及其他耗水。厂区用水流量监测，达到计量用水、合理用水和科学管水的目的。实时监测生产用水情况，不但能够充分利用水资源，且对于用水流量数据的整理分析有利于生产和节能。国电大同电厂无线解决方案 ▼国电大同电厂将厂区内4个区域共16路流量计信号传入约2公里以外的DCS系统中并在无纸记录仪上显示数据。由于厂区面积较大，厂房较多，若采用有线方式施工，成本高且周期长，故考虑采用无线通讯的方式完成四个分散区域模拟量数据的无线传输。根据现场情况决定采用达泰1系DTD110FEY无线模拟量传输装置共5台来完成该需求。区域一、区域二、区域三和区域四分别安装一台DTD110FEY-T无线模拟量发射装置；主控室内安装一台DTD110FEY-R无线模拟量接收装置。完成四个区域到主控室的模拟量信号四发一收无线采集传输工作。2. 应用场景二：石油化工行业应用循环经济下，将工业废气、废料、废水进行产业链资源整合，回收再利用化工行业是我国国民经济的支柱产业之一，同时也是一个高污染高投入的行业，随时可能面临能源及原材料危机。随着循环经济的推广与实施，结合化工行业本身特点，从循环经济的3R原则（减量化、再使用和再循环）入手，通过实施清洁生产和环境管理体系，积极利用生态工业技术和设备，设计和改造工艺流程，变成无废、少废的生态工艺，使上游产品所生产的废物成为下游产品的原料，在企业内部实现物质的闭路循环和快捷利用。龙蟒集团无线解决方案 ▼龙蟒大地农业肥料生产与龙佰钛业均为龙蟒集团下属公司，两个企业通过产业整合和集约经营，集中建设了热电联供、工业气体、工业水厂、污水处理厂、废物焚烧炉、气体管网等公用工程体系，实现生产配套、废物处理等资源共享。钛业将生产钛白粉等钛产品工艺流程中废气、废水等工业废副产品，转给大地农业供其生产复合肥料；而大地农业也将肥料生产过程中的工业酸类蒸汽供给钛业生产之用；两者还共享了气体等资源。这一过程中各类工业废气、废水的流量则需要实时监测，汇总到工厂的DCS系统中进行综合决策处理。因涉及两个大型工厂，流量计分布在厂区各处，所以用户采用无线的方式将流量计所采集到的工业废水/气数据传输到DCS系统监测。使用达泰1系DTD110FUY无线模拟量传输装置来完成该需求，可节省施工周期；功耗低，节能环保；后期无运行费用；自组网通讯，数据安全性得以保障。点对点模拟信号无线采集，4-20ma无线数据传输，工业无线数据采集模块，plc远程通信模块，工业无线通讯模块，DCS系统模拟量无线采集，西安达泰电子,工厂无线技改3. 应用场景三：钢铁行业应用利用无线通讯终端和自动化技术，实现钢厂低压蒸汽的全工况自动调节发电技术目前，在我国能源电力供应日益紧张的局势下，余热、余能发电是钢铁企业实现循环经济的必由之路，也是钢铁企业降耗增效和开展节能减排的有效措施。宁波钢铁无线解决方案 ▼宁波钢铁有限公司在设计之初由于其各生产厂部布置的分散，导致在蒸汽的生产和利用中，地域布置相对分散，形成了远距离、空间交错的低压蒸汽管网。为了解决宁钢低压蒸汽管网中控制迟缓、容易造成蒸汽放散的缺点，对OG蒸汽回收进行无线改造。由于电缆、光纤等有线传输方式的高成本，施工难度较大，人力物力投资等原因，采用达泰1系点对点无线模拟量信号传输装置DTD110FCY，达到钢厂低压管网无线全自动控制，实现全钢厂区域蒸汽的生产和消耗自动平衡，解决转炉区域蒸汽的放散，保证了钢厂其它余热蒸汽的回收，实现了良好的经济效益。点对点模拟信号无线采集，4-20ma无线数据传输，工业无线数据采集模块，plc远程通信模块，工业无线通讯模块，DCS系统模拟量无线采集，西安达泰电子,工厂无线技改四、公司介绍西安达泰电子有限责任公司创立于2002年，是一家集工业无线产品研发、生产、销售于一体的高新技术“智”造企业，产品具有“可靠、简单、快捷”的特点，能够直接取代传统线缆，实现工业数据信号的无线传输，近20年间，达泰先后获得多项发明专利，被评为高新技术企业，常年与国内top50高校进行产学研合作、水泥行业供应商，参与一带一路沿线建设项目，同时也逐步组建起了一支具有丰富现场经验的PLC无线通讯团队，为客户提技术保障。现已为国内外超30000家工厂企业成功实现近15万个无线采集测控方案设计和改造项目，投入使用的设备超100万套。DTD1系、4系无线产品广泛应用于水泥，冶炼，发电，煤炭，化工等复杂恶劣的工业场合，平均连续使用寿命超过5年以上。五、服务介绍1. 关于产品我们是厂家；我们没有代理及经销商，请联系西安达泰电子有限责任公司。2.关于快递我们合作的快递是：顺丰、京东快递，仓库会根据具体情况安排快递。如顺丰、京东不到或者需要其他快递，请提前主动联系我们沟通解决。3.关于发货生产部根据货期安排生产，会在付款后及时安排发货。产品货期以销售合同为准。 4. 售后服务我公司提供的产品，如因产品质量问题（人为因素损坏除外），自客户收到产品之日起六个月内包换，两年内免费维修，两年后只收取维修成本费用；无论什么问题，均可致电我公司售后技术支持，我们将全力为您解决问题，“以客户为重”是我们达泰一贯秉承的服务理念。原文出处：，西安达泰
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    厂商： 西安达泰电子有限责任公司
    品牌： 未知
    型号： DTD110FY
    价格： 1.3万元
  • 煤矿厂流量计使用无线液位控制器 分散点信号集中控制
    煤矿生产厂区山上水源地供给山下生产用水无线监控（山西大同四老沟煤矿项目）★ 特别声明：文章及方案图片皆为原创，如有雷同，纯属抄袭。■ 产品介绍 ◆ 达泰1系模拟量无线传输装置-DTD110FY■ 产品介绍达泰1系DTD110FY模拟量信号无线传输装置由一个无线信号发射终端和一个无线信号接收终端组成。发射终端采集标准4-20mA电流信号，并通过全数字无线加密方式传送，远端的接收终端收到发射端的信号后立即处理输出多路4-20mA电流信号， 可以接入显示仪表、PLC或DCS等设备。无线可靠传输距离可达20公里左右超远距离。既可以实现点对点通信，也适合于点对多点而且分散不便于挖沟布线等应用场合，不需要编写程序，不需要布线，一般电工就可以调试使用。■ DTD110FY产品选型■ 项目背景大同煤矿集团有限责任公司（简称同煤集团）总部位于历史文化名城山西大同，前身为大同矿务局，成立于1949年8月30日，2000年7月改制为大同煤矿集团有限责任公司，是全国亿吨级动力煤生产企业之一。公司总资产750亿元，地跨山西、内蒙古、新疆等7省18个市（区），拥有20余万员工、矿井54对、80余万员工和家属，170个基层单位，包括漳泽电力（SZ：000767）、大同煤业（SH：601001）两家上市公司和一家财务公司，产业以煤炭、电力为主，兼有金融、煤化工、冶金、机械制造、物流贸易、建筑建材、房地产、文化旅游等多元产业并举的综合能源大集团。模拟量采集模块,无线数据传输模块,无线通信模块,西安达泰电子,智能化改造,工业无线通讯,无线plc■ 客户需求及无线改造方案● 需求：山上有两个水池，供给山下煤矿的生产用水。需要在山下的集控室内实时监测水池液位的数据并且在某一指定低液位处报警。 在低液位报警的时候，控制室要能够及时上水。如果供水不及时，会滞待煤矿正常的生产作业。● 需求分析：根据与用户的进一步沟通，PLC无线通讯总结出以下几点对于无线通讯的功能需求：1. 山上水池与山下的集控室直线距离相距800米左右，中间有山包遮挡2. 山上的两个水池，相邻大约10米左右3. 水池深度不超过5米4. 低液位报警5. 可自主调节低液位的数值山上水池实景图▼山下集控室实景图▼西安达泰电子PLC无线通讯团队给出了如下的解决方案根据以上信息，PLC无线通讯团队针对这些刚性需求订制出了一套完整的无线通讯解决方案。特别说明的是，该项目中所用到的无线通讯设备以及相关的显示和报警设备都被集合在了一套无线通讯装置中。用户在现场使用的时候，不需要对无线通讯设备做任何程序上的调整。只需要在数显表上设置需要报警的水位值就可以。实施方案实景示意图 ▼■ 无线方案的好处1. 节省改造周期，无需大型施工：免除布线维护困扰，24小时之内就可以轻松的完成改造并达到通讯稳定性要求。2. 安装简单，无需编程：无线通讯终端只需要接入信号并供给电源即可开始使用。普通电工就可以完成安装。3. 数据传输可靠，全数字无线加密传输：通讯协议进行了再次加密处理，确保数据的安全和可靠性。生产的产品通过ISO9001质量产品体系认证4. 无运行费用，无需插卡：后期在使用过程中，不需要支付任何无线设备运营费用。5. 售后服务：具有20年工业现场调试经验的无线通讯团队，为产品提供可靠的技术支持与售后服务。■ 成功案例● 象州县污水处理厂，污水池流量监控，5公里● 宁波心正环保，污水池排水控制太阳能供电，1公里● 厦门古龙食品有限公司，生产用水监控，500米● 石家庄制药集团，深水井水位监测2发1收，3公里● 陕西渭南热电厂，蓄水池水位监控及遥控水泵启停，3公里● 上海人民水泵厂，山上水池水位遥控山下水泵启停，2公里● 北京首钢集团，15口深水井4路模拟量监测● 伊春鹿鸣矿业有限公司，太阳能供电水位无人控制系统，3公里● 石横特钢集团，水池水位监测2发1收，3公里● 大连山特矿山设备有限公司，山上液位监测，2公里● 华能临沂发电有限公司，蓄水池无线控制水泵启停，3公里● 兴义黄泥河发电有限责任公司，水池液位模拟量信号无线传输，200米● 河北元信环保科技开发有限公司,污水池排污无线控制，100米● 丹江口自来水公司，蓄水池水位无人值守控制水泵启停，3公里● 泸州纳溪百吉水务有限公司，山上水池水位无线监测系统，4.1公里● 太原市润民环保节能有限公司,水池高低液位和值班室无线控制,200米■ 相关案例1. 工厂的工业废水循环排污系统全自动化无线控制（陕汽重工项目简报）：喷涂车间工业废水净化后水源用作动力车间冷凝塔循环使用，净化过程以及动力车间水池液位无线监控。2. 永登工厂无线供水项目简报：永登新建工厂基地生产用水无线监控。3. 农村饮用水安全工程无线上水方案：农村自来水饮水库水泵无线控制。4. 远距离水位无线传输测控系统典型案例：水池水泵无线控制以及水池液位无线监测。■ 公司简介西安达泰电子有限责任公司创立于2002年，是一家集工业无线产品研发、生产、销售于一体的新技术“智”造企业，产品具有“可靠、简单、快捷”的特点，能够直接取代传统线缆，实现工业数据信号的无线传输，近20年间，达泰先后获得多项荣誉，被评为技术企业，常年与国内top50高校进行产学研合作、水泥行业供应商，参与沿线建设项目，同时也逐步组建起了一支具有丰富现场经验的PLC无线通讯团队，为客户提供全方位的技术保障。现已为30000家工厂企业成功实现近15万个无线采集测控方案设计和改造项目，投入使用的设备超100万套。DTD1系、4系无线产品广泛应用于水泥，冶炼，发电，煤炭，化工等复杂恶劣的工业场合，平均连续使用寿命超过5年以上。原文出处：，西安达泰
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    厂商： 西安达泰电子有限责任公司
    品牌： 未知
    型号： DTD110F
    价格： 1750元
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  • 山东中医药大学附属医院1300.00万元采购真空泵,空气压缩机
    html, body { -webkit-user-select: text } * { padding: 0 margin: 0 } .web-box { width: 100% text-align: center } .wenshang { margin: 0 auto width: 80% text-align: center padding: 20px 10px 0 10px } .wenshang h2 { display: block color: #900 text-align: center padding-bottom: 10px border-bottom: 1px dashed #ccc font-size: 16px } .site a { text-decoration: none } .content-box { text-align: left margin: 0 auto width: 80% margin-top: 25px text-indent: 2em font-size: 14px line-height: 25px } .biaoge { margin: 0 auto /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 25px } .table_content { border-top: 1px solid #e0e0e0 border-left: 1px solid #e0e0e0 font-family: Arial /* width: 643px */ width: 100% margin-top: 10px margin-left: 15px } .table_content tr td { line-height: 29px } .table_content .bg { background-color: #f6f6f6 } .table_content tr td { border-right: 1px solid #e0e0e0 border-bottom: 1px solid #e0e0e0 } .table-left { text-align: left padding-left: 20px } 基本信息 关键内容： 真空泵,空气压缩机 开标时间： null 采购金额： 1300.00万元 采购单位： 山东中医药大学附属医院 采购联系人： 姚瑶 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 山东英大招投标有限公司 代理联系人： 刘孔明 代理联系方式： 立即查看 详细信息 山东中医药大学附属医院西院区综合楼建设项目医用气体系统采购与安装采购需求公示 山东省-济南市-历下区 状态：预告 更新时间：2021-09-12 山东中医药大学附属医院西院区综合楼建设项目医用气体系统采购与安装采购需求公示 中标信息(http://): 山东中医药大学附属医院西院区综合楼建设项目医用气体系统采购与安装采购需求公示 一、项目概况及预算情况：本项目共分1个包，采购预算1300万元。二、采购标的具体情况：详见附件三、论证意见：详见附件四、公示时间：本项目采购需求公示期限为3天：自2020年9月4日起，至2020年9月7日止五、意见反馈方式：本项目采购需求方案公示期间接受社会公众及潜在供应商的监督。请遵循客观、公正的原则，对本项目需求方案提出意见或者建议，并请于2020-09-08前将书面意见反馈至采购人或者采购代理机构，采购人或者采购代理机构应当于公示期满5个工作日内予以处理。采购人或者采购代理机构未在规定时间内处理或者对处理意见不满意的，异议供应商可就有关问题通过采购文件向采购人或者采购代理机构提出质疑；质疑未在规定时间内得到答复或者对答复不满意的，异议供应商可以向采购人同级财政部门提出投诉。六、项目联系方式1、采购单位：山东中医药大学附属医院(省中医院)地址：济南市经十路16369号联系人：姚瑶联系方式：686167572、采购代理机构：山东英大招投标有限公司地址：山东济南历下区马鞍山路2-1山东大厦8406联系人：刘孔明联系方式：85198189一、项目概述本工程总用气点1008个，其中ICU30个，普通病房917个、其他用气点61个；设备带：安装设备带的用气点有966个，其中普通病房917个，其他用气点49个。医用气体系统机组设备：按医院用气点1008个选型。二、招标范围1、医用中心负压吸引系统2、医用中心压缩空气系统3、医用气体管道系统4、病房设备带及配套设施5、医用气体集中监测报警系统6、医用呼叫护理信息系统（真彩液晶）7、上述系统的安装与施工8、上述系统施工后的检验与验收9、投标人应按上述招标要求提供施工医用气体施工图纸及施工所用设备机械及材料。三、技术参数(一)医用中心负压吸引系统医用中心负压吸引系统由油润滑旋片式真空泵、真空过滤器、负压真空罐、活塞式真空电磁阀、负压传感器、负压吸引管道组件、阀门及集气缸、电气控制系统、一体化撬装平台组成。1.技术要求（1）▲整机一体式撬装设计，模块拼接，以两台泵为单位模块化无限拼装，便于安装及移位（需提供实物照片证明）。（2）真空泵选用油润旋片式式真空泵，双机组配置，单机组抽气量≥300 m/h。（3）单机功率：≤7.5KW。可以单台工作，也可以同时启动，也可以交替跟踪启动，当一套不工作时、机组互为备用。每个真空泵连续工作≥50000小时。（4）具有断电恢复自动启动功能及集中监测自动报警功能。2.主要配置及参数要求：（1）油润旋片式真空泵1)知名品牌，进口产品，确保排气纯净无油污染。2)双机组配置，单机组抽气量≥300 m/h，单机功率≤7.5kW，电机能效等级为IE2及以上。（需提供产品彩页证明）3)额定压力：-0.04～-0.078MPa（可调）。4)噪音：≤74dB(A)。5)旋片采用碳纤维复合材料。（需提供产品彩页证明）6)具有油过滤器，使泵体内的油保持洁净。7)配备气镇阀，提高真空泵的排水能力，可处理更大容量的蒸汽。（需提供产品彩页证明）8)需具有高效的抽气系统，集成式回油管路结合先进的排气过滤器，确保排气洁净无油污染。9)保养可由操作人员轻松完成。除了定期更换机油和滤芯之外，无需实施其他保养工作。（2）真空过滤器1)处理气量≥30m/min2)医用级活性碳除菌过滤器，确保排出的气体符合环保标准，避免院内感染，真空罐自带集污功能，配备排污口定期排除污物。（3）负压真空罐1)单个容积≥1.5m。2)材质：优质碳钢。工作最大负压：-0.078Mpa3)符合国家劳动安全监察标准。（4）活塞式真空电磁阀1)适用范围：105~6.710-4Pa；2)适用温度：-30~ 50℃；3)线圈温升：≤65℃；4)开闭时间：≤3s；5)电源电压：标准出厂：220V/50Hz。（5）负压传感器1)精度：0.5％FS；2)供电电源：11V～28VDC；3)输出信号：4mA～20mADC（两线制）；4)工作温度：-30℃～80℃。（6）负压吸引管道组件1)管材、阀门：脱脂紫铜管，国家标准。2)质量和安全性能按国家标准。（7）集气缸1)材质：碳钢，四进一出。（8）电气控制系统1)▲电气控制系统，由三个控制箱组成，包含两个真空泵专用控制箱及一个中央控制箱，强弱电分离。当压力达到报警压力值时，能声光报警，并能随压力变化控制真空泵的启停，增加机组的寿命和保证节能。（需提供实物图片证明）。2)▲三个控制箱需分别自带真彩液晶触摸屏（需提供实物图片证明）。3)中央控制箱负责弱电控制，采用PLC可编程控制器集成控制，可让机组实现追随运转、轮流运转双重控制（提供产品彩页证明），按需求以压差和时间差控制真空泵先后启动或轮流启动，保证稳定的压力值及各真空泵均衡的运行时间。4)中央控制箱有自动和手动两种控制方式，并具备超限声光报警提示及断电恢复后自动启动。5)▲每台真空泵的专用控制箱负责强电控制，并与中央监控箱连接，即使中央控制箱故障，真空泵也可通过其专用控制箱独立控制运行（需提供实物图片证明）。6)▲真空泵专用控制箱的箱门设置双重保护开关，打开箱门需先关闭负荷断路开关，起断电保护作用（需提供实物图片证明）。7)配置远程监测报警功能，为医用气体集中监测报警系统及远程维护提供实时数据信息传输。（9）一体化撬装平台1)整机撬装式设计，便于安装及移位。3、医用中心负压吸引系统提供二类医疗器械注册证。(二)医用中心压缩空气系统医用空气压缩设备由高效螺杆式空压机、空气储罐、气体过滤系统、吸附式干燥机、精密调压模块、压力传感器、露点传感器、一氧化碳检测仪、压缩空气管道阀门组件、分气缸、电气控制系统、设备机座平台等组成。1.技术要求（1）双机组配置，单机额定产气量≥1.5 m/min。（2）单机组功率≤11KW。（3）医用压缩空气输出压力：0.4～0.78MPa（可调）。（4）露点温度：≤-30℃。（5）露点和一氧化碳在线实时监测。（6）医用空气质量：符合GB50751-2012医用气体工程技术规范及欧洲EN 737-3标准。（7）工作压缩机故障时，备用压缩机能自动启动，以保证系统正常工作，不间断供气。（8）当压缩空气站输出压力≤0.4 Mpa、≥0.85Mpa报警。（9）▲具有质量监督检验机构出具的医用空气压缩机检测报告。（需提供检测报告）2.主要配置及参数要求：（1）高效螺杆式空气压缩机1)知名品牌。吸气双层空气过滤，出气量大，低噪音。2)单机额定产气量≥1.5 m/min，输出压力：≥0.40～0.78MPa（可调），功率≤11KW。3)▲机组采用整体化设计，将主机、连接管路及油气分离系统集成压缩模块，降低泄漏及压力损失（提供彩页或实物图片说明）。4)24小时工作设计，自动工作方式5)智能化电脑控制系统，可以实现中/英文界面显示。（2）吸附式干燥机1)处理气量≥3.4m/min，与空压机相匹配。2)空气露点温度≤-40℃3)配套电控箱，包括UL/ULG面板，数字电子控制器。4)配置先进的微处理器控制器将干燥机的性能维持在最佳水平，控制器持续不断监控干燥机的性能，有异常时发出警报，从而将停机时间减少到最低；5)配置不锈钢吸附剂滤网防止下游空气系统污染，易取出方便清洁，减少停机时间；6)低底架弯角管路设计，便于维修减少停机时间，同时较低的底架便于立式运输和安装；7)集成键盘设计，能为用户提供所有内部功能和可选功能显示。（3）气体过滤系统1)主路过滤器：除去其中≥99%的颗粒、水、油和其他杂质。无滤芯耗材，降低维护成本；2)前级精密过滤器：处理气量≥1.8m/min，特种高效过滤材料，过滤精度≤1m，去除油雾，使空气含油量≤0.5ppm。配压差指示器，分别显示压降与运行效率，及时提醒更换失效滤芯；3)中级精密过滤器：处理气量≥3.12m/min，特种高效过滤材料，过滤精度≤0.01m，去除油雾，使空气含油量≤0.01ppm，配压差指示器，分别显示压降与运行效率，及时提醒更换失效滤芯。4)后级精密过滤器：处理气量≥3.12m/min，除去空气气中细菌、微尘、微生物、异味。使空气含油量≤0.003ppm。5)除菌过滤器：处理气量≥3.12m/min，特种高效过滤材料，过滤精度≤0.01m。使空气含油量≤0.01ppm。（4）空气储罐1)材质：优质碳钢，外表漆喷。2)最大工作压力：1.0Mpa。3)有效容积≥1m。4)设置安全阀，底部设有电子排污阀及手动排污阀。5)符合国家劳动安全监察标准。（5）精密调压模块1)双路模块化设计，确保一路故障，另一路仍能稳定供气。2)输出压力0.4～0.78Mpa可调。（6）压力传感器1)高精度数字智能化芯片，全温度线性数字补偿。2)不锈钢材质，激光焊接，介质隔离。（7）露点传感器1)有自动校准功能。2)抗冷凝结露，露点测量范围-60至 60C，精确度2C。3)露点超限时的LED灯报警。4)可通过RS485用户端口，方便快捷的维护和数据传输。（8）一氧化碳检测仪1)检测方式：固定、在线检测，扩散式测量、泵吸式、流通式可选。2)测量范围：0-1000ppm、2000ppm、10000ppm、20000ppm、100000ppm、0-20%VOL。3)分辨率：0.1ppm、1ppm、0.01%VOL。4)精度：3%FS。5)响应时间：≤30秒。6)最大传输距离：≥1100米（Rvv0.75平方毫米屏蔽电缆）。7)工作温度：-20℃～ 50℃。（9）分气缸1)一进四出，不锈钢材质。（10）压缩空气管道组件1)管材、阀门：脱脂紫铜管，国家标准。2)线材：质量和安全性能按国家标准。（11）电气控制系统1)▲真彩触摸屏人机界面，PLC可编程控制器集成控制（需提供图片证明）。操作界面需动态实时显示设备流程及运行工况，可调整运行参数，调出运行记录及故障记录。2)▲追随运转、轮流运转双重控制（需提供产品彩页证明）。可按需求以压差和时间差控制空压机先后启动或轮流启动，保证稳定的压力值及各空压机均衡的运行时间。3)配备压力、露点和一氧化碳在线监测，实时检测空气中的水分含量和一氧化碳浓度，超限报警，确保气体质量符合GB 50751-2012标准。4)自动和手动两种控制方式。5)超限声光报警提示及断电恢复后自动启动。1)可选配远程监测报警功能，为医用气体集中监测报警系统及远程维护提供实时数据信息传输。3、提供空气压缩机二类医疗器械注册证。(三)医用气体管道系统1.中心供氧管道系统技术要求（1）规格和数量详见招标清单。（2）不锈钢管符合GB/T14976《流体输送用不锈钢无缝钢管》标准。（3）每层走廊管进监测报警箱前安装一个氧气截止阀（区域阀），每间病房设备带内进气端安装氧气维修阀。（4）毎病区设一个阀门箱、气体二级稳压箱、区域监测报警箱，便于集中控制、监测该病区的氧气压力状况，可将氧气、负压、压缩空气集成一体。（5）主管道工作压力：0.4~0.5MPa（可调）（6）管道、氧气终端压力：0.4MPa（7）氧气终端设计流量：手术室和用氧化亚氮进行麻醉的地点氧气设计流量：100L/min，所有其他病房用点氧气设计流量：10L/min。（8）系统小时泄露率：0.2%（9）氧气管道接地电阻：10（10）最远终端压力损失：10%（11）氧气管道应可靠接地，接地电阻应小于10。（12）管道须有氧气管道标识以及气体流向标识。（13）具有医用中心供氧系统检验报告（提供检测报告）2.医用中心吸引管道系统技术要求（1）规格和数量详见招标清单。（2）不锈钢管符合GB/T14976《流体输送用不锈钢无缝钢管》标准，铜管符合YS/T 650-2007《医用气体和真空用无缝铜管》标准要求。（3）吸引主管到每个楼层的区域监测报警箱前端必须设维修截止阀（区域阀）一个，病房设备带内进气端安装负压维修阀便于测试和维修。（4）毎病区设一个阀门箱、气体二级稳压箱、区域监测报警箱，便于集中控制、监测该病区的负压压力状况。可将氧气、负压、压缩空气集成一体。（5）系统最大抽气量：≥2X300m/h（6）终端负压值：-0.04MPa~-0.78MPa（7）吸引终端设计流量：大手术室设计流量：80L/min，小手术室所有病房床设计流量：40L/min。（8）系统泄露率：0.5%（9）吸引系统接地电阻：10（10）负压的增压率为：每小时≤1%（11）管道须有负压管道标识以及气体流向标识。（12）具有医用中心负压吸引系统细菌检测含量报告（提供检测报告）。3.医用中心压缩空气管道系统技术要求（1）规格和数量详见招标清单。（2）不锈钢管符合GB/T14976《流体输送用不锈钢无缝钢管》标准，铜管符合YS/T 650-2007《医用气体和真空用无缝铜管》标准要求。。（3）压缩空气管道到每个楼层的压力检测箱前端必须设维修截止阀（区域阀）一个，病房设备带内进气端安装空气维修阀便于测试和维修。（4）毎病区设一阀门箱和一区域监控报警箱，便于集中控制、监测该病区的压缩空气压力状况，可将氧气、负压、压缩空气集成一体。（5）分管道、空气终端压力：0.4MPa（可调）（6）空气终端设计流量：手术室为40L/min，ICU、新生儿、高护病房为80L/min，其它病房床位为20L/min（7）系统小时泄露率：0.2%（8）空气系统接地电阻：10（9）管道须有气体管道标识以及气体流向标识。(四)病房设备带及配套设施1.通用技术要求：（1）▲必须符合国标GB 9706.1-2007《医用电器设备第1部分：安全通用要求》要求，（提供第三方检测机构的检验报告复印件）。（2）▲设备带内部为全封闭式4腔结构，包括有气路腔、强电腔、弱电腔、灯腔，做到气电分离，强弱电分离。（3）▲设备带内部电路接线采用接线端子，符合GB 9706.1-2007《医用电器设备第1部分：安全通用要求》标准。（4）▲设备带材质选用6063-T6优质铝合金，表面静电喷塑，铝型材壁厚≥2mm。（提供铝合金的材质证明文件）。（5）▲面板为一体式，表面无拼装缝，可将面板翻转整体打开。（6）▲气体终端防护罩：每个气体终端的防护罩均要固定安装在操作面板上，不易松脱丢失，具有弹簧助力功能，坚固耐用，翻盖次数应不少于10000次。（提供第三方检测机构的检验报告复印件）（7）▲气体终端、呼叫、开关、插座维修操作时，无需打开面板，可直接在面板上进行维修。（8）设备带位置设计按院方要求设计，离地高度应便于医护人员操作。（9）▲具有第三方检验机构出具的关于设备带的医用电气设备的检测报告。（提供检测报告）2.设备带个性化要求：(1)普通病房设备带（需提供实物样品证明）1）面板颜色：可选配。2）设备带尺寸：高度≥246mm，厚度≥76mm。3）每床标准配置：氧气终端1，负压终端1，空气终端1（选），阅读灯1，照明开关1，5孔电源插座10A2，网络接口1。（具体配置详见材料清单）(2)抢救室设备带（需提供实物样品证明）1）面板颜色：可选配。2）设备带尺寸：高度≥310mm、厚度≥100mm3）▲设备带上下配置专用导轨，用于固定仪器支架放置监护仪、输液泵等抢救设备。4）每床标准配置：氧气终端2，负压终端2，空气终端2，5孔电源插座10A3，3孔电源插座16A1，等电位接地端子2，网络接口2。（具体配置详见材料清单）(3)壁画式设备带（需提供实物样品证明）1）结构尺寸：高度≥500mm，宽度≥700mm，厚度≥150mm。2）材质：铝合金、冷轧钢板。3）表面处理：喷塑抗菌涂层4）每床标准配置：氧气终端1，负压终端1，空气终端1（选），5孔电源插座2，阅读灯1，灯开关1，网络口1。（具体配置详见材料清单）5）▲将氧气吸入器和负压调节器隐藏在壁画中；6）超强静音导轨，全开状态壁画无倾斜，导轨采用内藏式安装，打开面板，看不见导轨，保证美观；7）壁画表面采用水晶工艺，美观、易清洁、抗菌、防尘，样式可配合医院装修风格选择。3.气体终端：（提供实物样品证明）必须符合国标GB 50751-2012《医用气体工程技术规范》、GB 9706.1-2007《医用电器设备第1部分：安全通用要求》要求：（1）▲德制标准，快速自封插拔式接头。须获得权威认证机构TUV颁发的相关安全合格的认证证书（提供证书证明），符合DIN 13260-2标准。（2）▲全金属材质；使用寿命大于5万次插拔。（提供第三方检测机构的检验报告复印件）（3）▲具有带气维修功能，终端维修部分可快速拆卸，无需打开设备带操作面板，可在操作面板上直接带气维修。（4）采用ISO规定的颜色色标，不同气体插口各异，防止误操作。（5）采用快速自封插拔式，具有通、断、拔三位功能。每种终端的气体插口形状不同，符合德制标准，具有不可互换性。（6）终端压力≥0.35-0.78Mpa，可调。终端流量：最大≥60L/min(五)医用气体集中监测报警系统1.系统技术要求（1）能实时显示各区域监测报警器传来的压力、流量和报警信息，实时动态显示各气站设备的流程及各组成部分的运行状况、运行参数，包括设备的启、停状态。记录故障信息、报警信息，并将该信息传送至管理者手机。（2）要有超大容量的数据库，可24小时不间断记录：压力、流量、纯度、温度、露点等参数。（3）能保存5年的历史记录，并可按条件查询和备份。（4）能提供各种历史趋势曲线，能分析用气量以及高峰用气时间段，能为合理安排气站设备运行方式提供有力支持。（5）系统可以接入以太网，软件基于B/S架构平台，可实现远程网络共享及分级密码设置功能。（6）▲具有权威机构出具的医用气体报警系统检测报告，提供检测报告（复印件加盖投标人公章装入投标文件）。2.区域气体阀门箱必须符合国标GB 50751-2012《医用气体工程技术规范》、GB 9706.1-2007《医用电器设备第1部分：安全通用要求》要求：（1）可选1～6路气体控制，整合一体,箱内安装有区域内各种气体阀门，对本病区区域内气体进行通断控制。（2）▲紧急门锁装置，当遇紧急状况又无法快速取到钥匙时，启动紧急装置，可直接打开阀箱门，关闭阀门。（3）▲具有氧气备用接口，当氧气站故障时，可通过备用接口，接入氧气瓶，对区域进行临时供气。（4）透明视窗。3.区域气体function () { $('.modelDiv').show() }) $('.closeModel').click(function () { $('.modelDiv').hide() }) 基本信息 关键内容：真空泵,空气压缩机 开标时间：null 预算金额：1300.00万元 采购单位：山东中医药大学附属医院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：山东英大招投标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 山东
    时间： 2021-09-12
    作者： 未知
  • 冻干机的真空报警及控制时间的必要性
    冻干机做制品冻干时要经过预冻，升华，解析，最后出仓，每个阶段都很重要，需要设计适合的冻干工艺配方才能做出合格的冻干制品。尤其在升华阶段真空度对升华是及其重要的，真空报警工作时间和真空控制的工作时间都很重要。因此冻干机均要设有真空报警装置。真空报警装置的工作时间在加热开始之时到校正漏孔使用之前，或从开始一直到冻干结束。一旦在升华过程中真空度下降而发生真空报警时，一方面发出报警信号，一方面自动切断冻干箱的加热。同时还启动冻干箱的冷冻机对产品进行降温，以保护产品不致发生熔化。另外真空控制的工作时间真空控制的目的是为了改进冻干箱内的热量传递，通常在第二阶段干燥时使用，待产品温度达到最高许可温度之后即可停止，继续恢复真空状态，使用时间的长短由产品的品种、装量和真空度的数值所决定。也可第一阶段干燥时使用。Pilot10-15ES冻干机设有真空报警功能，真空度差时切断加热，真空度太好时可进行自动调节。整机电气系统具有逻辑连锁、控制、保护功能，加热循环保护。Pilot10-15ES冻干机长年使用性能稳定，带有免费的冻干工艺优化服务。
    时间： 2023-10-13
    作者： 中斯立孚
  • 西安禾普推出新型真空控制器产品
    新品发布！！！ 西安禾普着力研发各类常用仪器设备，特色产品双层玻璃反应釜、旋转蒸发器，通过数年经验积累，拥有领先的技术和先进的工艺。我公司于近日推出最新设计的新型真空控制器，，突破传统的设计模式，大胆突破。不只限于专业的性能突破，更充分结合人体工学和现代美学。新推出的新型真空控制器的功能更加全面、强大。产品设计至始至终秉承以人为本，人性化设计。 1 关键配件完全采用进口，具备控制精度高、耐腐蚀、阀门寿命达到百万次寿命。 2 大屏幕触摸型彩色液晶屏可显示检测和设定的真空度，同时可直接在液晶屏上进行真空度的调整。3 旋钮键，可对真空度随时调整，使用方便。4 进气阀采用过滤装置，防止试剂被污染。 5 真空控制器可进行惰性气体补气，使试料不受氧化和污染。6 可配套进口包括（瑞士步琪、德国海道尔夫、德国IKA、日本雅玛托、日本东京理化EYELA等国际品牌）或国产各品牌旋转蒸发仪。7 可进行自动梯度程序控制，合成实验层析减压蒸馏时，对真空度的逐步控制。（梯度控制需要另配程序软件） 以具备优良控制真空度的真空控制器VC-3000为例。它与旋转蒸发仪等相连接，可以对旋转蒸发仪内部真空度进行控制，从而提高例如：甲叉二氯、苯、三氯乙烷、乙醇等沸点低试剂的回收率，也可进行惰性气体的置换对减压浓缩时内部不受氧化和污染， 在进行合成实验层析减压蒸馏时，可对真空度逐步控制，及试剂的逐步提取使用。欢迎新老客户订购！我们将竭诚为您提供最佳的产品和最好的服务！
    时间： 2014-07-08
    作者： 西安禾普
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  • 电阻管式炉真空控制系统技术升级改造解决方案

    电阻管式炉真空控制系统技术升级改造解决方案

    [align=center][img=高温石英管式炉及其真空控制系统,600,391]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281102414320_6035_3221506_3.jpg!w690x450.jpg[/img][/align][size=16px][color=#990000][b]摘要：针对用户提出的高温石英管加热炉真空度控制系统的升级改造，以及10~100Torr的真空度控制范围，本文在分析现有真空控制系统造成无法准确控制所存在问题的前提下，提出了切实可行的解决方案。解决方案对原有的无PID控制功能的压强自动控制仪和慢速大口径电动蝶阀进行了更换，采用了高精度可编程PID真空压力控制器，采用了口径较小响应速度更快的电动球阀。此解决方案已在多个真空领域得到应用，并可以达到±1%的高精度控制。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#990000][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#990000][b]1. 项目背景[/b][/color][/size][size=16px] 高温石英管式炉广泛用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料和材等领域。石英管式炉的加热元件一般为NiCrAl电阻丝，并采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于70℃。保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，可以最大程度的减少热量的损失。为了进行各种气氛环境下的高温反应和研究，并避免高温产出物对加热丝的腐蚀影响，石英管式炉中普遍安装了一根高纯石英管用来作为炉膛，且石英管两端可固定金属密封法兰，从而可在石英管内形成密闭真空环境。[/size][size=16px] 最近有用户提出了对在用的石英管式炉进行技术改造，此卧式高温石英管式炉如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=需进行升级改造的高温石英管式炉及其真空控制系统,690,286]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105026257_5413_3221506_3.jpg!w690x286.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 需进行改造的真空石英管式炉及其真空控制系统[/b][/color][/size][/align][size=16px] 用户对现有石英管式炉进行技术改造的内容是要实现管式炉真空度的精密控制，如图1所示，现有的真空度控制系统采用了电容薄膜真空规作为真空度传感器，传感器配套有真空显示仪进行真空度测试值显示并输出信号，压强自动控制仪接收传感器信号，然后驱动电动蝶阀进行开度变化，以实现真空度的自动控制。但此真空度控制系统在调试过程中，完全无法实现真空度的自动控制，这主要是现有真空度控制系统存在以下几方面的问题：[/size][size=16px] （1）现有真空控制系统所采用的压强自动控制仪并不具备PID控制功能，所以有时候会出现某些真空度区间无法准确控制的现象。[/size][size=16px] （2）所采用的电动蝶阀响应速度太慢，而且口径太大，很难对压强自动控制仪输出的控制信号做出快速响应，对如此小内径的石英管腔体很难进行真空度的准确控制。[/size][size=16px] 为了彻底解决现有真空度控制系统存在的上述问题，本文提出了如下技术升级改造方案。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 首先，按照用户要求，解决方案拟达到的技术指标如下：[/size][size=16px] （1）真空度控制范围：10~100Torr（绝对压力）。[/size][size=16px] （2）真空度控制精度：读数的±%。[/size][size=16px] （3）控制功能：PID自动控制，多个设定点可编程自动控制。[/size][size=16px] 为了实现上述技改指标，本解决方案所设计的高精度真空度控制系统如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=改造升级后的真空控制系统结构示意图,690,292]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105266047_8320_3221506_3.jpg!w690x292.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 改造升级后的真空控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 改造升级后的真空控制系统还是沿用下游控制模式，即对排气流量进行调节，同时还继续使用原有的电容真空计，但在以下几方面做出了改进：[/size][size=16px] （1）真空度测量和控制仪表的改进：解决方案中采用了超高精度VPC2021-1型真空压力控制器，其具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比，可直接用来接收电容真空计输出的真空度电压信号并按照真空度单位进行显示，无需再使用原有的真空显示仪。此真空压力控制器是一款超高精度的PID控制器，充分发挥了PID自动控制的强大功能，且PID参数可进行自整定，是实现真空度高精度控制的重要保证。另外，此真空压力控制器具有多个设定点编程控制功能，可按照设定折线和真空度变化速率对石英管内的真空度进行自动程序控制。[/size][size=16px] （2）排气阀门的改进：解决方案中将原有的慢速和大口径电动蝶阀更换为响应速度更快和口径更小的电动球阀，在减小排气调节口径提高阀门开度调节效率的同时，能更快的响应真空压力控制器给出的控制信号，极大减小了控制的滞后性，保证了控制的准确性。[/size][size=16px] 图3给出解决方案中真空度控制系统的接线图。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=真空控制系统接线图,600,191]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105446783_3371_3221506_3.jpg!w690x220.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图3 真空度控制系统接线图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 解决方案中所配置的VPC2021-1真空压力控制器具有标准MODBUS通讯协议的RS485接口，并配置了计算机软件，可通过在计算机上运行软件完成控制器的参数设置、远程控制操作、控制过程参数和曲线的显示和存储。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 本解决方案将彻底解决了管式炉真空度的高精度控制问题，并具有以下特点：[/size][size=16px] （1）解决方案的下游真空度控制不受上游进气流量大小的影响，在调节的恒定进气流量下，石英管内的真空度可以自动控制在设定值上。[/size][size=16px] （2）本解决方案具有很强的灵活性，目前本解决方案所控制的是10~100Torr真空度范围，如果要进行0.1~10Torr范围的真空度控制，则通过在进气端口增加一个电动针阀，通过恒定排气流量的同时调节针阀开度，则可实现高真空度精密控制。同样，更换更大量程的真空计，还可以在石英管内实现微正压控制。[/size][size=16px] （3）本解决方案具有很强的适用性，在排气端增加真空进样装置，可将石英管加热炉内高温下产生的气体导入到质谱仪或与其他仪器联用进行产物分析。[/size][size=16px] （4）本解决方案中的真空压力控制器是一款通用性PID控制器，除了具有高精度真空压力控制功能之外，更换温度传感器和流量计后也可以用于温度和流量控制。[/size][size=16px][/size][align=center][size=16px][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/size][/align]

  • 真空压力控制系统中关键部件的国内外产品介绍

    真空压力控制系统中关键部件的国内外产品介绍

    [align=center][img=真空控制系统中关键技术和产品的国产化替代现状,600,362]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309260956335616_6667_3221506_3.jpg!w690x417.jpg[/img][/align][size=16px][color=#990000][b]摘要：真空度控制技术关键部件主要有真空计、进气流量调节装置、排气流量调节装置和真空度控制器四大类。本文在真空度控制技术基本概念和技术要求基础上，详细介绍了真空度控制技术关键部件国外产品的分布和类型，特别介绍了相关的国产产品现状。总之，除了高端电容真空计之外，真空度控制技术中的绝大多数关键部件已实现了国产化，并已得到广泛应用，后续的国产化重点将主要集中在开发MOCVD工艺中的受控蒸发混合器。[/b][/color][/size][align=center][b][color=#990000]=============================[/color][/b][/align][size=18px][color=#990000][b]1. 真空度控制技术简述[/b][/color][/size][size=16px] 在长、热、力、电这些基本物理量中，真空度作为力学领域内的一个物理量通常是各种生产工艺和科学研究中的一个重要环境参数，真空度的控制也基本都采用闭环控制模式。典型的真空度控制系统结构如图1所示，其特征如下：[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=01.真空度控制系统典型结构,400,275]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309260959279297_7143_3221506_3.jpg!w690x476.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 真空度控制系统典型结构[/b][/color][/size][/align][size=16px] （1）系统构成：如其他物理量的闭环控制回路一样，真空度控制回路由传感器、控制器和执行器三部分组成。对于真空度控制，执行器还包括进气流量调节装置和排气流量调节装置两部分。[/size][size=16px] （2）控制方法：真空度的控制方法一般都采用动态平衡法，即使得进气流量和出气流量达到某一平衡状态，从而实现不同真空度的准确控制。[/size][size=16px] （3）控制模式：真空度的具体控制模式有上游控制和下游控制之分。在绝对压力1kPa~100kPa的低真空度范围内，需采用下游控制模式，即恒定进气流量的同时，调节排气流量。在绝对压力小于1kPa的高真空度和超高真空度范围内，需采用上游控制模式，即恒定排气流量的同时，调节进气流量。[/size][size=16px] 在真空度控制技术的具体应用中，很多生产工艺和科学实验要求真空度控制需要达到一定的控制精度和响应速度，这些技术要求往往由以下几方面的综合精度和速度决定：[/size][size=16px] （1）传感器精度和速度：具体测量中会根据真空度工作范围选择不同测量原理的真空度传感器，如电容真空计、皮拉尼计和电离规等。其中电容真空计的精度最高，一般为0.2%或更高0.01%精度，且真空度和输出信号为线性关系。皮拉尼计和电离规的精度较差，最高精度一般也只能达到15%，且真空度和输出信号为非线性关系。特别需要注意的是，在较高精度真空度控制过程中，需要对这些非线性信号进行线性处理。真空度传感器的响应速度普遍都很高，一般都在毫秒量级，基本都能满足测控过程中对响应速度的要求。[/size][size=16px] （2）执行器精度和速度：在真空度控制系统中，执行器一般是各种阀门以及集成了阀门的各种气体质量流量控制器，因此阀门的精度和速度是执行器的重要技术指标。执行器的精度和速度主要由真空工艺容器决定，对于小于1立方米的真空容器，一般要求执行器的精度较高，特别是要求具有小于5秒以内的开闭合速度，真空容器越小要求响应速度越快，在大多数半导体材料制备所用的高温和真空腔体的真空控制中，基本都要求响应速度小于1秒，由此来快速消除温度和气压波动带来的影响而实现真空度准确控制。[/size][size=16px] （3）控制器精度和速度：[/size][size=16px]控制器精度的速度是充分利用真空度传感器和执行器精度和速度的重要保证，因此要求控制器具有足够高的AD采集精度、DA输出精度和数值计算精度。一般要求是至少16位AD采集、16位DA输出和0.1%最小输出百分比，控制速度在50毫秒以内。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 真空度控制系统关键部件的主要国外产品介绍[/b][/color][/size][size=16px] 在真空度控制系统中，如图1所示，关键部件主要分为真空计、进气流量调节装置、排气流量调节装置和真空度控制器四大类别。这些关键部件很多都是国外产品，特别是一些高端部件基本都是国外产品，图2为这些关键部件的国外典型产品示意图。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=02.国外真空度控制相关典型产品,690,491]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309260959592438_3991_3221506_3.jpg!w690x491.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 国外真空度控制系统中的各种典型产品[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#990000][b]3. 真空度控制系统关键部件的国产化现状[/b][/color][/size][size=16px] 随着近几年的国产化浪潮的兴起，真空度控制系统关键部件的国产化进程也在快速发展，以下将按照四个大类对国产化现状进行详细介绍。[/size][size=16px][color=#990000][b]3.1 真空计的国产化现状[/b][/color][/size][size=16px] 真空计作为真空领域的传感器，多年来一直有大量的国产产品，但绝大多数集中在皮拉尼计和电离规等这些真空度测量精度较差的真空计领域，对于测量精度较高的薄膜电容真空计国内产品基本都是购买国外OEM核心部件后进行组装和拓展。国内目前只有个别机构开发出了薄膜电容核心探测部件并已能批量生产电容真空计，但存在成品率低和货期长问题，国内也有其他研究机构在进行薄膜电容真空计的技术攻关。[/size][size=16px] 如图3所示国内现状，国内真空计目前基本能够满足工业生产的需要，但对于一些需要高精度（0.01%）真空计的测量和控制场合，国内还无法生产，有些更高端的国外产品对国内还处于禁运状态。对于皮拉尼计和电离规这些大多已经国产化的真空计，国产真空计还缺乏具有线性处理能力的高级功能，这使得国产真空计普遍只能在真空度测控精度要求不高的场合下使用。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=03.真空计国产化相关产品示意图,690,166]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309261000162441_9663_3221506_3.jpg!w690x166.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图3 真空计国产化现状示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px][color=#990000][b]3.2 进气流量调节装置的国产化现状[/b][/color][/size][size=16px] 进气流量调节装置主要用来调节真空容器的进气流量以实现不同工艺气体的流量要求和相应真空度的高精度控制。如图4所示，目前国外进气流量调节装置主要有电磁或电机型流量调节阀、气体质量流量控制器和微小流量控制器三大品类以满足从各种流量量程气体输入控制要求。[/size][size=16px] 在进气流量调节装置的国产化方面，目前国内产品无论在品类和技术指标方面都已达到国外产品水平，完全可以替代国外产品，并已开始得到广泛应用。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=04.进气流量调节装置国产化相关产品示意图,690,164]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309261000271489_6174_3221506_3.jpg!w690x164.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图4 进气流量调节装置国产化现状示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在小型快速电控调节阀门的国产化方面，国产产品已采用微型步进电机技术，直接跨越电磁阀结构，开发出了高精度、低磁滞和高线性度的系列规格的电控针型阀门，响应速度达到了1秒以内，具有超低漏率且阀门不受工作气体类型的限制，还可以用于液体流量的调节，同时还具有强耐腐蚀性。目前这种电控针阀已广泛用于真空度控制领域和流体流量精密控制领域，正逐步取代以INFICON、PFEIFFER、VAT和MKS公司为代表的进气流量调节阀产品。[/size][size=16px] 在气体质量流量控制器的国产化方面，近两年内已有许多国内公司完成了国产化，技术指标已于国外产品相差无几，目前已在各个领域内进行着国产化替代。[/size][size=16px] 微小流量控制器主要用于高真空和超高真空条件下的微小进气流量控制，且要求具有超低漏率，以往只有国外AGILENT和VATAGILENT公司生产这种可变泄漏阀，且价格昂贵和货期漫长。最近国内公司在微小流量控制方面已取得突破，采用了与国外产品不同的技术路线，在同样实现国外产品功能、技术指标和自动控制的前提下，大幅降低的成本，已可以完全替代进口产品。[/size][size=16px][color=#990000][b]3.3 排气流量调节装置的国产化现状[/b][/color][/size][size=16px] 排气流量调节装置主要用来调节真空容器的排气流量以实现相应真空度的高精度控制。如图5所示，目前国外排气流量调节装置主要有分体式和集成式电动蝶阀，其中集成式电动蝶阀（又称下游排气节流阀）是在蝶阀上集成了高速电机和PID控制器。[/size][size=16px] 在排气流量调节装置的国产化方面，目前国内产品无论在品类和技术指标方面都已达到国外产品水平，且更具有灵活的不同口径规格系列，完全可以替代国外产品，并已得到广泛应用。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=05.排气流量调节装置国产化相关产品示意图,690,164]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309261000430375_6356_3221506_3.jpg!w690x164.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图5 排气流量调节装置国产化现状示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在排气流量调节装置国产化过程中，我们发现绝大多数真空工艺腔体的体积较小，在真空度精密控制过程中无需使用较大口径的蝶阀结构，仅通过较小口径的电动球阀极可很好的进行控制。另外，很多工艺设备自带控制系统而无需在电动阀门再集成PID控制器。为此，国内公司在国产化过程中开发了独立结构的电动球阀，有7秒和1秒两种规格，如图5所示。这种独立结构的电动球阀可由任何外部PID调节器进行控制，具有很好的灵活性且降低成本，同时还具有极小的真空漏率，非常适合真空设备的排气流量和低真空度的精密控制，并已在各种真空工艺设备和科学仪器设备中得到了广泛应用。[/size][size=16px] 对于大口径蝶形压力控制阀，国内有机构也完成了国产化，模仿国外电动蝶阀结构将PID控制器与蝶阀进行了集成，并配有相应的计算机操作软件，但在价格上对国外产品的冲击有限。[/size][size=16px][color=#990000][b]3.4 真空度控制器的国产化现状[/b][/color][/size][size=16px] 真空度控制器作为一种典型的PID控制器，主要用来检测真空计的输出信号，并与设定值进行比较和PID计算后输出控制信号，驱动外部进气或排气调节阀开度进行快速变化，最终实现真空度测量值与设定值达到一致。目前国内外生产真空计的厂家普遍都提供真空度控制器产品，但这些真空度控制器普遍存在以下问题，而国内产品的问题则略显严重。[/size][size=16px] （1）国内外真空度控制器的共性问题是测量和控制精度不高，普遍采用较低精度的AD和DA转换器，无法发挥真空计（特别是电容真空计）的高精度优势，国内产品这方面的问题尤为严重。能实现高精度测量和控制的国外产品，则价格昂贵。[/size][size=16px] （2）国产真空度控制器大多为单通道形式，无法进行全真空度范围精密控制中进气和排气流量的同时调节，而国外的高端真空度控制器多为2通道以上结构。[/size][size=16px] （3）对于皮拉尼计和电离规这样的非线性输出信号，国产真空度控制器缺乏线性化处理功能，而国外高端真空度控制器基本都具有线性化处理功能，能更好保证真空度测量和控制精度。[/size][size=16px] （4）国产真空度控制器普遍缺乏计算机控制软件，无法简便和直观的进行过程参数的设置、显示、存储和调用。国外高端真空度控制器基本都配有相应的计算机软件。[/size][size=16px] 为了解决上述问题，目前新型的国产真空度控制器已经开发成功，如图6所示，已可以生产工业用单通道和双通道两个规格系列的多功能型真空压力控制器，基本可以替代国外高端产品。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=06.真空度控制器国产化相关产品示意图,690,164]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309261000588787_2774_3221506_3.jpg!w690x164.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图6 真空度控制器国产化相关产品示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在国产化的单通道和双通道系列控制器中，采用了目前国际上工业用控制器最高精度的芯片电路，即24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比，可充分发挥高精度真空计和精密电动阀门的测控优势，已实现0.1%的真空压力控制精度。这种新型真空压力控制器的重要特点之一是带有线性化处理功能，通过八点最小二乘法拟合来提高非线性信号的测量精度。[/size][size=16px] 这种新型真空压力控制器是一种多功能控制器，除了可以进行真空压力控制之外，更可以进行各种温度和张力控制，同时还具有串级控制、分程控制、比值控制和远程设定点等高级复杂控制功能。控制器系列具有标准的工业控制器小巧尺寸，面板安装方式，并配备了计算机软件。[/size][size=18px][color=#990000][b]4. 总结[/b][/color][/size][size=16px]综上所述，在真空度控制系统关键部件的国产产品中，除了高端电容真空计之外，绝大多数部件已实现了国产化。后续的国产化重点将主要集中在受控蒸发混合器的开发，以在各种化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积CVD工艺中，如ALD、APCVD、MOCVD和PECVD等，实现前驱体流量的精密控制。[/size][align=center][b][color=#990000][/color][/b][/align][align=center][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/align][size=16px][/size]

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