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集中控制真空送料系统
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集中控制真空送料系统相关的方案
真空控制系统中关键技术和产品的国产化替代现状
摘要:真空度控制技术关键部件主要有真空计、进气流量调节装置、排气流量调节装置和真空度控制器四大类。本文在真空度控制技术基本概念和技术要求基础上,详细介绍了真空度控制技术关键部件国外产品的分布和类型,特别介绍了相关的国产产品现状。总之,除了高端电容真空计之外,真空度控制技术中的绝大多数关键部件已实现了国产化,并已得到广泛应用,后续的国产化重点将主要集中在开发MOCVD工艺中的受控蒸发混合器。
高温管式加热炉真空控制系统技术升级改造解决方案
摘要:针对用户提出的高温石英管加热炉真空度控制系统的升级改造,以及10~100Torr的真空度控制范围,本文在分析现有真空控制系统造成无法准确控制所存在问题的前提下,提出了切实可行的解决方案。解决方案对原有的无PID控制功能的压强自动控制仪和慢速大口径电动蝶阀进行了更换,采用了高精度可编程PID真空压力控制器,采用了口径较小响应速度更快的电动球阀。此解决方案已在多个真空领域得到应用,并可以达到±1%的高精度控制。
CVD和PECVD管式炉真空控制系统的升级改造
本文介绍了根据客户要求对CVD管式炉真空控制系统进行升级改造的过程,分析了客户用CVD管式炉真空控制系统中存在的问题,这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。本文还详细介绍了改造后的真空压力控制系统的工作原理、结构和相关部件参数等详细内容,改造后的真空压力控制精度得到大幅度提高。
温敏材料干燥过程中的温度和真空度精密控制解决方案
目前一些常用的真空干燥箱都配备有数字温度控制,但基本都采用手动真空控制阀。针对一些客户提出对干燥箱进行真空度自动控制的升级改造要求,本文介绍了真空度精密控制解决方案。解决方案详细介绍了几种不同控制方法,同时还包括温度和真空度同时控制的解决方案,以满足不同客户真空干燥设备的自动化控制需要。
色谱仪在线高真空负压微量气体进样系统的真空度精密控制解决方案
针对目前大多数气相色谱仪负压进样系统中存在的无法控制微量进样和真空度无法准确控制的问题,本文在发明专利“CN111239308A 一种在线高真空负压气体进样系统及方法”基础上提出了改进的解决方案。解决方案通过采用电容真空计、皮拉尼真空计、电控针阀和双通道真空度控制器组成的控制装置,可实现高真空范围内的任意设定点下的真空度快速和精密控制,使在线负压形式的微量气体进样方法真正能转化为实用的工程化仪器。
聚合物挤出机定径箱大口径真空控制系统的快速响应和高精度解决方案
本文针对挤出工艺中定径箱对真空控制的要求,提出采用大口径真空背压阀的下游控制技术方案,整个过程是根据真空度设定点进行全自动控制,定径箱真空度控制稳定性可以轻松达到± 2%以内,并可根据定径箱规格大小配备不同口径的背压阀,背压阀的影响速度可以达到1秒以内,完全能够满足各种高质量挤出产品的需要。
低气压环境材料沿面闪络特性测试中的真空度精密控制解决方案
摘要:针对现有低气压环境下沿面闪络测试中存在真空度无法精确控制所带来的一系列问题,特别是针对用户提出的对现有沿面闪络试验装置的真空控制系统进行技术改造要求,本文提出了相应的技改方案,技改方案采用基于动态平衡法的电动针阀和电动球阀上下游控制模式,并辅助上游微小进气流量的自动可变泄漏阀控制技术,可在超高真空至常压的全真空度范围内实现低气压环境的精密控制和准确模拟,可有效提高沿面闪络性能测试精度。
高精度真空度控制技术在新型低压电子束焊机中的应用
新型低压电子束焊接加工技术具有凹型阴极、自聚焦和低造价的突出特点,不再需要高真空系统,也无需磁透镜和磁线圈进行电子束的聚焦和偏转,可进行微零件焊接和低熔点材料表面微结构改性。但这种新型技术对氩气工作气压的要求较高,需要在7~12Pa的低真空范围实现高精度的调节和控制。本文针对此高精度控制提出了解决方案,即在电容真空计作为传感器的基础上,采用了电动针阀和超高精度压力控制器,控制精度可达±1%。
X射线探测器窗口膜材料机械性能测试中的真空压力控制解决方案
针对X射线窗口膜材料机械性能测试中对真空度和高压压力的准确控制需要,本文提出了相应的解决方案。解决方案中采用了薄膜电容真空计、压力传感器、电动针阀、压力调节阀和真空压力PID控制器,与真空泵和高压气源配合,可在膜材料样品两侧形成准确的真空压差、微压差和高压压差,由此为窗口膜材料的杨氏模量、破裂压力和压力循环测试提供所需的真空压力环境。控制器自带的计算机软件可独立进行上述真空压力控制操作,并可显示和存储整个控制过程中的多个参数随时间变化曲线。
显微镜用气密真空冷热台的真空度精密控制
针对气密真空冷热台目前存在的真空度控制精度差和配套控制系统价格昂贵的问题,本文介绍采用国产产品的解决方案,介绍了采用数控针阀进行上游和下游双向控制模式的详细实施过程。此方案已经得到了应用和验证,可实现宽范围内的真空度精密控制,真空度波动可控制在± 1%以内,整个控制系统具有很高的性价比。
【项目案例】智易时代助力焦化企业建立智能化管控治一体化平台
智易时代按照A 级标准要求为河北省某焦化企业建成“智能化管控治一体化平台”,具备有组织排放、无组织排放、清洁运输各环节生产、监测、监控、治理设施集中控制和数据综合分析功能,实现“超标预警、智能识别、发送指令、精准治理、效果评估”,以及相关检测设备的供货安装工作,目前该项目已顺利实施。
包括高真空、低真空和正压压力的全量程高精度控制解决方案
针对工作范围在5×10-7~1.3×106Pa,控制精度在0.1%~0.5%读数的全量程真空压力综合测量系统技术要求,本文提出了稳压室真空压力精密控制的技术方案。为保证控制精度,基于动态平衡法,技术方案在高真空、低真空和正压三个区间内分别采用了独立的控制方法和不同技术,所涉及的关键部件是微小进气流量调节装置、中等进气流量调节电动针阀、排气流量调节电动球阀、正压压力电子调节器和真空压力PID控制器。配合相应的高精度真空压力传感器,此技术方案可以达到控制精度要求,并已得到过试验验证。
微焊接中真空压力精密控制的解决方案
本文针对微激光束焊接中真空控制系统的压力调节,介绍了相应的解决方案。具体实施方案是配备不同量程的真空计、进气电动针阀、排气电动球阀和双通道高精度PID控制器,并采用上游和下游控制模式可实现全量程范围内的气压调节和恒定控制。此解决方案可在全量程范围内任意设定点的真空度恒定控制达到波动率小于±1%。
利用可视化技术分析低温结霜的超高真空度精密控制
摘要:低温结霜可视化实验装置主要用于模拟空间环境并研究深冷表面结霜现象,客户希望对现有实验装置的真空系统进行技术升级,以实现0.001Pa~1000Pa范围内真空度的准确控制。为此本文提出了分段控制解决方案,即采用电容真空计、电动针阀、电动球阀和低真空控制器构成低真空控制回路;采用皮拉尼计、可变泄漏阀和高真空控制器构成高真空控制回路。解决方案可以很好达到技术指标要求,也可推广应用到其它真空和超高真空度控制。
超导材料LK-99烧结过程中真空度及其气氛环境控制的解决方案
根据近期LK-99超导材料研究报道,我们分析此材料制备采用了真空烧结工艺。由于目前大部分复现研究所用的真空烧结技术和设备都非常简陋,使得LK-99的复现性很差。为此我们提出了真空度准确控制解决方案,其目的第一是实现烧结初期真空度线性控制避免粉体材料出现扬尘以及烧结过程中的真空度稳定,第二是多通道进气的控制以实现烧结结束前的快速冷却和提供不同的烧结气氛,第三是为后续致密化和大尺寸制备提供支撑。
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中真空压力控制装置的国产化替代
目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统中的真空压力控制装置普遍采用美国MKS公司的控制阀和控制器。本文介绍了采用MKS公司产品在实际应用中存在控制精度差和价格昂贵的现象,介绍了为解决这些问题的国产化替代方案,介绍了最新研发的真空压力控制装置国产化替代产品,并验证了国产化替代产品具有更高的控制精度和价格优势。
油炸设备中的真空、正压和高压三种压力场控制的解决方案
针对食品油炸过程中涉及到的真空、正压和高压三种压力场控制需求,本文提出了相应的解决方案。解决方案基于动态平衡法控制原理,采用真空压力控制器、电动针阀、电动球阀、电气比例阀、背压阀和真空泵的搭配组合,分别实现真空负压控制、正压控制和超高压控制,可有效保证油炸食物品质,更便于油炸参数和新技术的开发。依据解决方案所构成的真空压力控制系统即可单独构成油炸设备的控制单元,也可配套集成到中央控制系统。
常压原子力显微镜各级高精度真空度控制的解决方案
摘要:针对原子力显微镜对真空度和气氛环境精密控制要求,本文提出了精密控制解决方案。解决方案基于闭环动态平衡法,在低真空控制时采用恒定进气流量并调节排气流量的方法,在高真空和超高真空控制时则采用恒定排气流量并调节进气流量的方法。原子力显微镜真空度控制系统主要由高速电控针阀、电动可变泄漏阀、高速电控球阀、电容真空计、电离真空计和超高精度PID调节器构成,在超高真空至一个大气压范围内可达到很高的控制精度。
旋转蒸发仪:真空、温度和旋转的集成式控制器及其耐腐蚀数控调节阀
目前各实验室有众多各种渠道购置和自行搭建的旋转蒸发仪,在蒸发仪真空度控制方面,国内客户普遍要求能替代价格较贵的国外真空控制系统、提高真空控制的程序化和自动化水平、改进真空控制的精度和稳定性、解决控制阀门的耐腐蚀性问题,甚至要求采用一个控制器对温度、真空度和旋转同时进行程序控制。本文针对用户提出的改进要求,提出了相应的解决方案,并介绍专门用于蒸发仪温度、真空度和旋转电机控制的相关产品。
短程分子蒸馏器中高精度真空度控制的解决方案
为了提升蒸馏纯度,针对现有分子蒸馏中气体流量计式真空度控制系统存在精度较差和响应速度慢的问题,本文提出了更高精度的真空度控制解决方案。解决方案采用更直接、精密和快速的电动针阀来代替现有的气体质量流量计,并同时使用精度更高的薄膜电容规和24位AD、16位DA控制器,可实现任意设定真空度下±0.5%的控制精度,同时对温度等因素所带来的真空度变化有极快的响应,可保证分子蒸馏过程中真空控制的高精度和稳定性。
低压缓冲罐的真空度精密控制解决方案
低压缓冲罐广泛应用于各种真空工艺和设备中,本文主要针对缓冲罐在全量程内的真空度精密控制,并根据不同真空度范围和缓冲罐体积大小,提出了相应的解决方案,以满足不同低压过程对缓冲罐真空压力精密控制的不同要求。
真空微波干燥(VMD)过程中真空度、温度和转速的精密控制
针对目前国内真空微波干燥技术研究和设备中普遍存在控制设备简陋、真空度控制效果差,产品质量普遍不佳等问题,本文提出了相应的解决方案,介绍了可用于真空微波干燥的集成式真空度、温度和转速控制器,介绍用于气体流量调节的步进电机驱动的耐腐蚀数控针阀和电动球阀,可很好的对真空微波干燥过程进行精密控制。
热重分析仪多种气体和宽量程真空压力精密控制解决方案
摘要:针对目前国内外各种真空热重分析仪普遍不具备低压压力精密控制能力,无法进行不同真空气氛环境下材料热重分析的问题,并根据用户提出的热重分析仪真空度精密控制技术改造要求,本文提出了技术改造解决方案。解决方案基于动态平衡法采用了上游和下游控制方式,通过配备的多路进气混合装置、高精度电容真空计、电控针阀和双通道PID真空压力控制器,可实现热重分析仪在10Pa~100kPa范围内多种气体气氛下的真空度精密控制。
双层玻璃反应釜高精度真空压力(正负压)控制解决方案
针对双层玻璃反应釜中存在的无法进行真空压力自动和准确控制等问题,本文提出了完整和成熟的解决方案,即采用卫生级电动调节阀和高精度双通道PID控制器,结合不同量程的真空计,与反应器、真空泵和正压气源构成闭环控制回路。通过上下游(进气和排气)同时控制的双向模式,可实现真空度全量程和微正压的自动程序控制,可达到很高的控制精度,并可与上位机通讯实现中央控制。
高纯度熔融石英圆筒等离子熔融工艺研究——真空度(压强)控制系统
等离子熔融工艺是目前国际上生产高纯度熔融石英玻璃圆筒最先进的工艺之一,在产品的低羟基浓度、低缺陷浓度、成品率、生产效率和节能环保等方面具有非常突出的优势。本文针对石英玻璃等离子熔融工艺成型设备,设计并提出了一种真空过程实现方案,可进行等离子加热过程中的炉内真空度(气压)实时控制和监测,以满足高纯度熔融石英等离子工艺过程中的不同需要。
采用真空压力精密控制的吸附夹具实现超低损耗单模光纤熔融拉锥制作
熔融法光纤拉锥系统中,极小损耗的光纤耦合对应于一个吸附固定光纤的最佳真空度,由此需要对吸附真空度进行精密控制,并找出此最佳真空度值。本文针对稳定批产制作极小损耗的光纤拉锥系统,提出了真空系统改进方案,由此可实现真空度的精密控制。
电动针阀和双通道控制器在真空冷冻干燥高精度压力控制中的应用
目前真空冷冻干燥过程中已普遍使用了电容压力计,使得与电容压力计相配套的压力控制器和电动进气调节阀这两个影响压力控制精度和重复性的主要环节显着尤为突出。为解决控制精度问题,本文介绍了国产最新型的2通道24位高精度PID压力控制器和步进电机驱动电动针阀的功能、技术指标及其应用。经试验验证,上游控制模式中使用电动针阀和高精度控制器可将压力精确控制在± 1%以内,并且此控制器还可以同时用于冷冻干燥过程中皮拉尼真空计的监控,以进行初次冻干终点的自动判断。
高温除泡机中真空压力的可编程PID控制解决方案
真空压力除泡机和除泡烤箱在电子行业的应用十分广泛,但现有除泡机存在的最大问题是选择了开关式阀门,无法实现真空和压力既准确又快速的控制。为此,本文提出了升级改造技术方案,即采用双向PID控制器和快速电动球阀开度大小的连续调节,可在各种规格尺寸的除泡机上实现真空压力的快速准确控制。
低压与高压(负压与正压)之间的真空压力连续控制解决方案
针对一些真空压力应用场合需要实现低压到高压(或负压到正压)之间的单向或交替连续精密控制,本文提出了相应的解决方案。并针对不同的真空压力范围,详细介绍了不同的调节阀配置和技术参数。
真空钎焊炉中大流量正负压循环控制的解决方案
为满足真空钎焊炉对大流量正负压循环控制的需要,本文介绍了一种真空背压阀解决方案,即采用一种大流量并可工作在负压和正压范围的背压阀,同时采用电气比例阀作为先导阀进行驱动,可精确控制钎焊炉内正负压的循环变化。
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