精密主动隔振平台

DVIA主动隔振光学平台DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台精密主动隔振光学平台DVIA特点： 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm 进口精密主动隔振光学平台 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等 精密主动隔振光学平台DVIA技术指标: 固有频率：0.5-100Hz 自动平衡，响应时间短，平衡速度快 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2 表面平整度：±0.1mm /600 mm2 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料 孔径： M6 (英制螺孔可选) 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁 阻尼隔振方式：宽带阻尼

OTR系列精密阻尼隔振光学平台 特点：● 标准台面，厚度100/200/300mm● 采用专业级精密阻尼减振器，比起标准阻尼隔振垫，隔振性能进一步大幅提高● 固有频率最小可达5Hz● 科研级（精密级）阻尼隔振光学平台技术指标：● 台面结构：三层夹心结构● 台面：4～6mm厚铁磁不锈钢● 台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构● 底面：4～6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理● 侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不锈钢钢板包角说明：OTR(Optical Table ：Ragid) 系列平台为卓立汉光最新推出的精密阻尼隔振光学平台，整体高度800mm，分为台面和支架两部分。台面厚度根据尺寸设计为：100/200/300mm，具有很好的硬重比和刚性。上台面采用精密磨削工艺，台面的平面度达到0.02 ～0.05mm/600mm× 600mm，台面上按照25mm× 25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装各类位移台和调整架。支架采用整体焊接式四或六支撑结构，支撑腿上方采用精密阻尼减振器，下方采用标准阻尼隔振垫。具有非常优秀的隔振性能，大幅领先于普通阻尼隔振平台。支架带可升降高度机构和脚轮，方便移动和调整。该系列产品属于科研级（精密级）阻尼隔振光学平台，填补了国内无精密阻尼隔振平台的空白。 ● 厚度：100/200/300mm，详见选型表● 平面度：0.02～0.05mm/600mm× 600mm，高于国外同类产品● 隔振材料：精密型专业阻尼减振器和标准阻尼隔振垫● 固有频率：＜5～8Hz，大幅领先于普通阻尼隔振平台● 支架：整体焊接式支架，带高度调整机构和脚轮，方便移动和调整。● 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～+20mm● 孔距：25mm× 25mm● 孔径：M6● 重量：100mm厚台面约：120Kg/m2200mm厚台面约：140Kg/m2300mm厚台面约：167Kg/m2精密阻尼隔振光学平台细节说明： 专业级精密阻尼减振器，隔振性能大幅提高 脚轮 不锈钢包角 整体焊接式支架其它配件：扳手水平仪精密阻尼隔振光学平台选型表：产品型号整体规格（mm）台面厚度(mm)台面自重(Kg)桌腿截面积(mm)支架高度(mm)备注OTR06-06600× 600× 80010041100× 1007004支撑OTR075-075750× 750× 80010065100× 1007004支撑OTR09-06900× 600× 80010060100× 1007004支撑OTR10-071000× 700× 80010081100× 1007004支撑OTR10-081000× 800× 80010090100× 1007004支撑OTR12-081200× 800× 800100106100× 1007004支撑OTR15-091500× 900× 800200190200× 2006004支撑OTR15-101500× 1000× 800200206200× 2006004支撑OTR16-091600× 900× 800200200200× 2006004支撑OTR18-121800× 1200× 800200297200× 2006004支撑OTR20-102000× 1000× 800200289200× 2006004支撑OTR20-122000× 1200× 800200332200× 2006004支撑OTR24-122400× 1200× 800200393200× 2006004支撑OTR30-103000× 1000× 800200426200× 2006006支撑OTR30-123000× 1200× 800300598200× 2005006支撑OTR30-153000× 1500× 800300739200× 2005006支撑OTR35-123500× 1200× 800300700200× 2005006支撑OTR35-153500× 1500× 800300865200× 2005006支撑OTR40-154000× 1500× 800300989200× 2005006支撑OTR48-154800× 1500× 8003001185200× 2005006支撑台面最大尺寸为4800mm× 1800mm，如需更大尺寸平台，可采用拼接技术

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：