精密主动隔振平台

DVIA主动隔振光学平台DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台精密主动隔振光学平台DVIA特点： 具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm 进口精密主动隔振光学平台 隔振性能优异,广泛应用于扫描探针显微镜,原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ,半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等 精密主动隔振光学平台DVIA技术指标: 固有频率：0.5-100Hz 自动平衡，响应时间短，平衡速度快 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm2 表面平整度：±0.1mm /600 mm2 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢 底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理 边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料 孔径： M6 (英制螺孔可选) 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁 阻尼隔振方式：宽带阻尼

OTR系列精密阻尼隔振光学平台 特点：● 标准台面，厚度100/200/300mm● 采用专业级精密阻尼减振器，比起标准阻尼隔振垫，隔振性能进一步大幅提高● 固有频率最小可达5Hz● 科研级（精密级）阻尼隔振光学平台技术指标：● 台面结构：三层夹心结构● 台面：4～6mm厚铁磁不锈钢● 台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构● 底面：4～6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理● 侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不锈钢钢板包角说明：OTR(Optical Table ：Ragid) 系列平台为卓立汉光最新推出的精密阻尼隔振光学平台，整体高度800mm，分为台面和支架两部分。台面厚度根据尺寸设计为：100/200/300mm，具有很好的硬重比和刚性。上台面采用精密磨削工艺，台面的平面度达到0.02 ～0.05mm/600mm× 600mm，台面上按照25mm× 25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装各类位移台和调整架。支架采用整体焊接式四或六支撑结构，支撑腿上方采用精密阻尼减振器，下方采用标准阻尼隔振垫。具有非常优秀的隔振性能，大幅领先于普通阻尼隔振平台。支架带可升降高度机构和脚轮，方便移动和调整。该系列产品属于科研级（精密级）阻尼隔振光学平台，填补了国内无精密阻尼隔振平台的空白。 ● 厚度：100/200/300mm，详见选型表● 平面度：0.02～0.05mm/600mm× 600mm，高于国外同类产品● 隔振材料：精密型专业阻尼减振器和标准阻尼隔振垫● 固有频率：＜5～8Hz，大幅领先于普通阻尼隔振平台● 支架：整体焊接式支架，带高度调整机构和脚轮，方便移动和调整。● 台面加支架总高度800mm，总高度可调范围：-20～+20mm● 孔距：25mm× 25mm● 孔径：M6● 重量：100mm厚台面约：120Kg/m2200mm厚台面约：140Kg/m2300mm厚台面约：167Kg/m2精密阻尼隔振光学平台细节说明： 专业级精密阻尼减振器，隔振性能大幅提高 脚轮 不锈钢包角 整体焊接式支架其它配件：扳手水平仪精密阻尼隔振光学平台选型表：产品型号整体规格（mm）台面厚度(mm)台面自重(Kg)桌腿截面积(mm)支架高度(mm)备注OTR06-06600× 600× 80010041100× 1007004支撑OTR075-075750× 750× 80010065100× 1007004支撑OTR09-06900× 600× 80010060100× 1007004支撑OTR10-071000× 700× 80010081100× 1007004支撑OTR10-081000× 800× 80010090100× 1007004支撑OTR12-081200× 800× 800100106100× 1007004支撑OTR15-091500× 900× 800200190200× 2006004支撑OTR15-101500× 1000× 800200206200× 2006004支撑OTR16-091600× 900× 800200200200× 2006004支撑OTR18-121800× 1200× 800200297200× 2006004支撑OTR20-102000× 1000× 800200289200× 2006004支撑OTR20-122000× 1200× 800200332200× 2006004支撑OTR24-122400× 1200× 800200393200× 2006004支撑OTR30-103000× 1000× 800200426200× 2006006支撑OTR30-123000× 1200× 800300598200× 2005006支撑OTR30-153000× 1500× 800300739200× 2005006支撑OTR35-123500× 1200× 800300700200× 2005006支撑OTR35-153500× 1500× 800300865200× 2005006支撑OTR40-154000× 1500× 800300989200× 2005006支撑OTR48-154800× 1500× 8003001185200× 2005006支撑台面最大尺寸为4800mm× 1800mm，如需更大尺寸平台，可采用拼接技术

产品说明： 桌式主动减振台是一个具有多项国家专利的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到最佳水平。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 桌式主动减振台由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环伺服控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实现主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振台的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 可根据用户要求定制各种不同尺寸、不同材质的工作台面。公司负责系统的安装与调试，三年免费维修。免费为用户培训设备维护和使用人员，随时解答用户提出的技术问题。 产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振系统置于地基上，手动推动工作平台观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。5.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。6.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

? 隔振频率低至0.7Hz，隔振性效果显著? 精密音圈电机驱动力打，灵敏、精度高? 控制模块配备先进前馈系统? 六自由度控制? 机械式组件，无需其他约束 MRT-TG系列隔振原理：我司MRT-TG型组合式主动隔振平台由多组减振器和一套控制器组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国 GEOSPACE 公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现 6 自由度减振。具有极佳的性/价比。

TMC STACIS Quiet Island 用于大型仪器 光学平台主动隔振系统TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Islanddu有的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以最高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具。此外，它还提供了最宽频率范围内的最大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了ji高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。TMC Quiet Island 大型仪器主动隔振系统的优势采用STACIS - TMC业界ling 先的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界ling 先的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。

Newport光学平台一．简介深圳市华领精密机电有限公司2011年成立，我们是Newport的代理商，在大学（例如：深圳大学）和工业都有合作，Newport提供广泛的光学平台，包括我们的宽带阻尼RPR系列光学平台，精确调谐的阻尼RS系列光学平台以及采用IQ阻尼技术的主动阻尼SmartTable光学平台。我们的光学平台解决方案旨在满足任何性能，预算和交付需求。从共聚焦显微镜，光谱学或干涉仪等非常苛刻的应用，到预算不高的应用，Newport都有适合他们的合适的光学平台。 二．概述Newport光学平台的背后是我们40多年设计，制造和测试光学平台和系统的知识和经验。我们的光学平台为从基础物理到半导体制造等各个领域的许多科学和工业成功案例提供了帮助。当您选择Newport光学平台时，您不仅选择了行之有效的卓越性能和质量，还选择了我们沿途所拥有的丰富知识，经验和坚定的产品支持。三.分类1. 宽带阻尼光学平台：宽带阻尼意味着在很宽的频率范围内吸收和耗散振动能量。它广泛用于防震台中，以减少桌面的结构振动。通常，宽带阻尼涉及能量吸收材料，例如泡沫，橡胶或弹性体。它还可能涉及沿工作台侧面安装的质量块/板和橡胶，以吸收覆盖标准尺寸光学工作台共振的较宽频率范围内的适度振动。宽带阻尼不针对任何特定的桌子共振或任何特定的频率集；取而代之的是，它在整个频率范围内均匀地吸收和耗散振动能量。它通常价格适中，适合不需要高阻尼性能的应用。2. 精密调谐阻尼光学平台：调谐质量阻尼器是一种由质量，弹簧和阻尼器组成的装置，该阻尼器附接到结构上以减小结构的动态响应。它被调谐到特定的结构频率，以便在激发工作台共振时，阻尼器将与结构的结构运动异相共振。然后通过作用在结构上的阻尼惯性力消散振动能量。在所有已知的被动阻尼方法中，调谐质量阻尼是最有效的方法，因为它将阻尼作用集中在主要共振模式的频率上。Newport获得专利的精密调谐减震器（美国专利8857585）是经过专门设计的调谐质量阻尼，具有精确的调谐功能，可承受高达数百磅的负载变化。每个阻尼器都针对该表的一种主要共振模式，Newport最多使用6个阻尼器（RS4000）来有效地在较宽的频率范围内降低共振幅度。因为可以将这些阻尼器调谐到非常低的频率，所以对具有低谐振频率的倍频器表进行了阻尼–在这种情况下，宽带阻尼无法取得良好的效果。3.有源和混合阻尼光学平台：主动和混合阻尼与作为被动阻尼方法的宽带阻尼或调谐质量阻尼不同，Newport的SmartTable产品系列具有采用获得专利的IQ技术的主动阻尼（美国专利7320455、8196891、8807515、9086112、8277683、8231098、8651447和8857585）。主动阻尼系统不是被动地吸收振动，而是实时感测振动，并立即向执行器发送信号以抵消和消除振动。通过在光学平台设计中结合两对传感器和执行器，它有效地解决了光学平台的共振问题，并使用外部控制器来协调信号处理，从而实现了光学平台的快速准确的阻尼响应。主动阻尼系统是光学平台最先进的阻尼技术。混合阻尼结合了主动阻尼和调谐质量阻尼的优点，并提供了市场上性能最好的光学平台。有源系统能够在由精密调谐的阻尼器产生的良好基础之上进一步减少振动，从而使光学平台和系统具有最小的共振峰。 深圳市华领精密机电有限公司在营销和服务体系上始终以坚持“以客户为中心”的营销和服务理念，坚决以满足客户的需求作为首要目标，力求为客户提供专业的服务和合格的产品，欢迎各位朋友咨询。

TMC 主动隔振基座光学平台用于SEM的主动式压电陶瓷振动消除地板式平台STACIS iX SEM-Base主动式压电陶瓷地板式隔振平台是专为扫描电子显微镜所设计的。扫描电子显微镜是振动最敏感的仪器，而且这些精密仪器都有内置的隔振系统，SEM-Base可以兼容SEM内部预装的振动隔离系统。SEM-Base是可以替代65系列STACIS 2100地板式平台的简洁且性价比高的选择。它集成了STACIS技术但是外形更小，且安装更加简单。SEM-Base可以从低于1Hz开始隔离振动。SEM-Base只有6.5in.高，底座尺寸是35.5in.x44.5in.，自重约为650磅，可以支撑900磅（409kg）到2500磅（1134kg）的负载。 特性： 1、包含STACIS技术 2、主动的内部振动消除装置 3、适合大部分商业SEMs。（35.5*44.5*6.5inch） 4、负载容量：900-2500lb 5、振动消除起始频率小于1Hz 6、六自由度 8、安装容易 9、兼容所有内置振动隔离系统 10、非气浮系统 11、简单，鲁棒性好，性价比高 12、可安装脚轮，轻松携带移动，不需要搬运Specifications-Performance SpecificationsActive degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMSDesign, Dimensions, and Environmental and Utility RequirementsEnvironmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn't change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 HzBuilt-in Controller SpecificationsProcessor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUIPerformance-1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)更多详细信息请联系我们！

TMC主动隔振平台STACIS III概述STACIS III是一种灵活的*主动隔振系统。STACIS采用先进的惯性振动传感器、先进的控制算法和*先进的压电致动器，通过连续测量地面活动，然后扩展和收缩压电致动器来过滤地面运动，以实时消除振动。STACIS*初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现已成为嘈杂环境（包括但不限于半导体工厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究中心）中*敏感仪器的行业标准解决方案。STACIS III包括一个全新的改进型数字控制器DC-2020。这款全新的*控制系统在前后面板上采用了新的双核处理器、以太网以及USB串行端口，为用户提供了现代化且易于使用的图形用户界面（GUI）。STACIS在全球已拥有数百个成功的安装案例，是理想的隔振系统，适用于对振动*为敏感的仪器。主动隔振光学平台系统STACIS III的优势STACIS比空气隔振器硬数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术，可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。主动隔振光学平台系统STACIS III特征●*新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面●隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％*70％的隔离率●频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％●降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行●有效隔振范围，0.6Hz到150Hz●获得众多用户的广泛认可和肯定●6向自由度硬安装设计，无需空气悬架●强大的控制系统无需定期重新校准●point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容●随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形●TMC的STACIS技术使用压电执行器主动消振●数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）●提高客户产品产量、质量、成品率。●符合RoHS标准●*宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果●亚赫兹的主动震动消除，*主要在0.6-6Hz频段内的隔振●可堆叠式设计●主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连●被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚*无需调谐●由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器●负载可达2000kg●市场上*的主动隔振系统性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试4500磅（2045千克）有效载荷规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅 / 454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽 x 深 x 高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90°F 10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC 20系列主动隔振实验桌光学平台TMC的主动隔振实验台具有先进的隔振性能。通过采用新型CSP（紧凑型亚赫兹钟摆隔离系统）进行水平减振以及PEPS-VX惯性阻尼器进行垂直减振，我们生产出一种性能优越的六自由度超净实验桌。这个先进的隔离技术可以与TMC光学平台或其他TMC产品结合使用，同样也可以被设计用于OEM应用以及设备。在2Hz时，垂直隔振10 dB以及水平隔振20dB（此振动频率下其他实验台会放大振动）的特性，使此主动隔振实验台对于振动环境异常严重的大部分应用都是理想的。应用包括:?原子力显微镜?扫描探针显微镜?商业干涉仪?电生理学记录?半导体检测设备基本参数隔离器固有频率（低输入）垂直方向=0.5Hz，水平方向=0.5Hz隔离器效率@2HZ垂直方向=10dB 水平方向=20dB推荐负载能力：545Kg整体材料：不锈钢平台， 黑色氧化处理中等材料框架船运重量：544kg 特性?用于距离隔离表面1微米的非接触式高度控制的pepSII精密电子定位系统?PEPS-VX隔振配合peps用于三个自由度的低频隔振?桌面式配置的刚性钢框架结构?高阻尼、高刚度的2in.厚的不锈钢层压板?平台可选的螺纹孔网格Performance-Order Chart-

TMC台式主动隔振平台Everstill K-400Everstill是TMC在高级地面振动控制方面的最新突破。荣获专利的Everstill K-400是一款台式主动消振平台，采用“串行式”主动架构。它与速度传感器相结合，提高了低频灵敏度，实现了出色的低频减振效果。Everstill K-400专为光学显微镜、SPM和计量仪器而设计，可将超精密仪器的建筑地面振动隔离至1 Hz以下。使用Gainmatch&trade （专利申请中），可以轻松在三种增益设置中进行选择，以在您的环境中实现最佳性能。Everstill基于TMC STACIS压电消振技术，采用主动硬安装方式，可以从0.7 Hz开始消振。Everstill具有最佳的低频性能，在精密仪器往往最敏感的1-10 Hz关键范围内仍可提供优异的性能。便携、紧凑的设计非常适合在工作台和桌面上安装。唯一的输入要求是来自标准交流电源插座的电源。美国专利号8,899,393TMC台式主动隔振平台Everstill K-400的优势卓越的低频性能：从0.7 Hz时开始隔振。特别是在1-10 Hz的关键范围内，可消除剧烈振动主动消振专利技术：适用于小巧轻便的超精密仪器主动硬安装：无空气。强大的即插即用设计先进的振动传感器技术：采用亚赫兹性能的集成检波器类型的速度传感器。比加速计具有更好的低频灵敏度。Gainmatch&trade （专利申请中）可优化性能：开关允许用户轻松选择3种增益设置。这确保了最大程度的消振性能以及不同用户环境的稳定性。性能TMC台式主动隔振平台Everstill K-400规格原理图架构：串行式主动（执行器与隔振器弹簧串联）振动传感器：检波器类型的速度传感器（电压与速度成正比）调平：自动。重现性：+/- 0.02英寸（+/- 0.5毫米）尺寸：（宽 x 长 x 高）16 x 20 x 4英寸，400 x 500 x 100毫米重量：55磅(25 kg)有效载荷能力：50 - 330磅。（23 - 150千克）隔振性能：1.0 Hz时4 - 7 dB 2.5 Hz以上时20 dB共振频率：0.6 Hz主动消振带宽：0.7 – 100 Hz被动消振带宽：高达1000 Hz设施要求：90-220 V，50/60 Hz电源DoE评级：VI运输：内部锁定限制顶板：可提供无孔、1/4-20或MG螺纹孔应用说明Everstill技术使安全的IVF显微操作成为可能应用：辅助生殖技术（ART）仪器：奥林巴斯IX71体外受精（IVF）是一种辅助生殖技术（ART）。现代设备和技术最初出现于20世纪70年代末，它们推动了更先进技术和更成功程序的发展。对体外卵母细胞的显微操作振动会对正在接受辅助生殖技术的卵母细胞和胚胎造成严重损害。先进的体外受精技术（如卵胞浆内单精子注射（ICSI）、辅助孵化（AHA））和其他生育程序（如胚胎植入前遗传病筛查（PGS）和胚胎植入前遗传学诊断（PGD））需要精确的运动和无振动的环境。位于纽约锡拉丘兹的CNY生育中心距离州际公路大约0.5英里，受建筑物振动的影响。可能的振动源也可能由各种仪器引起，例如靠近的台式培养箱和吹扫气体流量计、实验室内外的行人以及周围的建筑物振动。无论哪种来源，所有振动都可能会对ART实验室造成严重的损坏和破坏。消振设备使安全的显微操作技术在手术中得到成功应用。Everstill K-400具有出色的消振功能，可提供一个安全的显微操作环境。串行式主动振动控制技术为显微镜提供了积极的低频隔振效果和稳定的表面。安装非常简单，只需按下按钮，设备即可自行调平。在下面的ICSI视频中，环境中的振动在卵母细胞的图像中相当明显。尽管振幅较小，但是这种来自地面和实验台的振动会妨碍手术的进行。大约35秒后，Everstill K-400通电，振动减轻，手术继续。在为显微镜安装了K-400后，诊所现在能够安全、高效地完成所有与显微操作技术相关的手术。应用照片订购表Everstill&trade 订购表目录编号孔图案尺寸（宽 x 长 x 高）K-400无孔16 x 20 x 3英寸400 x 500 x 100 mmK-400E1英寸中心的1/4 - 20K400M25毫米中心的M6配件订购表目录编号描述尺寸（宽 x 长 x 高）29-43240-0146磅（21千克）载荷板16 x 20 x 0.5in400 x 500 x 12 mm29-43245-01底板16 x 20 x 0.03 in400 x 500 x 0.8 mm1163K-7512S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 47.25 x 29.5 in750 x 1200 x 750 mm1163K-7590S适用于Everstill K系列的CleanBench29.5 x 35.4 x 29.5 in750 x 900 x 750 mm83-501多用途隔音罩 32 x 36 x 64 in813 x 914 x 1626 mm

TMC主动隔振平台STACIS IIIcSTACIS IIIc是STACIS III*主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用，因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。在三隔离器配置中，隔离器高度小于常规STACIS III高度的60％。在具有3个以上隔离器的系统中，高度将在60％到70％之间，具体取决于有效负载设置。有关详细信息，请参见下面的规格。STACIS IIIc优势与常规STACIS III系统相比，隔离器高度*多降低42％，而性能却没有降低。STACIS比空气隔振器坚固数百倍，没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架，与主动空气系统不同，STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方，使两个系统都在*佳状态下运行。独特的串行设计和专有的高力压电技术 可实现0.6 Hz*150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的*主动隔振性能。性能4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)性能规格规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）14.45 x 14.26 x 6.16* in.367 x 362 x 157* mm* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.隔振器重量53磅（24千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480 μin. (12 μm) below 10 Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUISTACIS用户及应用领域1、微电子、半导体●晶片检测●显微光刻技术●掩膜校准2、科学研究、纳米技术●SEM、TEM●STEM、SPM3、激光台●生命科学、药物研发4、工业应用●精密加工为什么要选择主动系统？●从1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振●提高质量、生产量●更加细小特色的成像能力●前沿研究●比气动平台更稳定●满足SEM标准地点安装参数的*解决方案●使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS●正中了科研者的的心声，提供了尽可能*的无震环境。●市场上*强劲的低频隔振系统。●目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。●STACIS*发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是*的●STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz●6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB ●从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB) 专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证●完善的环境调查服务●开具专业环境报告●提供震动、磁场、声波检测及解决方案●TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 ●40多年的行业经验，业内的*应用照片

TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台STACIS III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器，通过连续测量地板活动，然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次，是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 优点：STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架，而且与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过全面优化。*特的串行设计和专有的高压压电技术 可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振，从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。性能规格主动自由度6个有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹被动固有频率18 赫兹垂直和水平有效主动谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 磅（4.5 千克）阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3秒内部噪音0.1 纳米均方根每个隔离器的工作负载范围低容量：182-500 千克（400-1100 磅）中容量：410-955 千克（900-2100 磅）高容量：864-2045 千克（1900-4500 磅）刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸（102 毫米）0.02 μG 宽带 RMS

TMC 主动隔振平台STACISIII是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先 进的压电执行器，通过连续测量地板活动，然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动，实时消除振动。STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施, 和材料研究。STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器 DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板上的 USB 串行端口，这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球有数百个成功安装案例，是对振动最敏感的仪器的理想隔振系统。 特点&优点STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬挂，与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过充分优化。独特的串行设计和专有的高压压电技术 产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和无与伦比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始减振 90%。性能：4500 lbs (2045 kg) 有效载荷在 VC-C（500 μin./s，12.5 μm/s RMS）下通过模拟振动测试性能规格活动自由度6活动带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹无源固有频率18 Hz 垂直和水平有效有源谐振频率0.5赫兹1 Hz 时的隔离40% - 70%≥2 Hz 时的隔离≥90%10 lb (4.5 kg) 阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3 秒内部噪音0.1 纳米 RMS每个隔离器的工作负载范围低容量：400-1100 磅（182-500 千克） 中容量：900-2100 磅（410-955 千克）高容量：1900-4500 磅（864-2045 千克）刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）40,000 磅/英寸。(73 x 10 5牛/米)从隔离器最 大 4 英寸（102 毫米）处发射的磁场0.02 μG 宽带 RMS隔离器设计、尺寸以及环境和公用设施要求环境与安全符合 CE 和 RoHS主动隔离元件最小容量为 3300 lb. (1500 kg) 的压电执行器接收来自高压放大器的信号，输出电压高达 800 VDC。垂直致动器支持隔离的有效载荷。无源隔离元件单一刚性各向同性弹性体（无需压缩空气供应）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器测量隔离器下方的地面振动并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动隔离器尺寸 (WxDxH)11.75 x 12.5 x 10.8 英寸300 x 320 x 275 毫米隔离器重量75 磅（34 公斤）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度80% 最 大值在 68 华氏度（20 摄氏度），最 大露点：18 摄氏度系统电源要求100、120、230、240 伏交流电50/60 赫兹交流电；600 W符合 CE 标准地板位移480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz每个系统的隔离器数量最少 3 个选项层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、升降机罩DC-2020 控制器规格尺寸（宽x深x高）19 x 8.5 x 1.75 英寸483 x 216 x 45 毫米重量6.3 磅（2.9 公斤）处理器150/75 MHz 双核采样率10 赫兹模拟输出16通道模拟输入16通道状态灯单灯前面板端口1x 串行 USB 2.01x 串行 Micro-USB1x 以太网 RJ-452x BNC后面板端口1x 串行 USB 2.01x 以太网 RJ-451x RS-232 DB-9 传统串行用于传统 STACIS 2100 隔离器用户界面前面板 LCD 显示超级终端扩展 GUI上的字符菜单Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI应用照片：注意：具体价格请咨询销售经理，网上标价不作为实际出售价格。如果想了解更多产品信息以及价格货期，青岛森泉光电有限公司欢迎您的咨询。我司提供优质可靠的产品和完善的售后服务，为您提供光电帮助。

TMC Everstill K-400主动隔振平台特点&优点优异的低频性能。从0.7Hz开始隔振，尤其是对于1-10Hz范围的振动，振动消除效果非常显著。K-400 Gainmatch技术。实现在开机时自动匹配周围环境，从三个主动增益设置档位中自动选择档位。当然，用户也可以自己选择增益档位。Gainmatch确保对于不同的用户环境，可以提供最da的振动隔离并且保证系统稳定性。主动振动消除技术。可理想应用于小型、轻质及超精密的仪器设备。便捷安装使用。无需气源装置。人性化的即插即用设计。先进的振动传感技术。采用地音探测速度传感器能探测亚赫兹的低频性能，其低频灵敏度要优于加速度计。实现更高分辨率与更精密的测量 Everstil是TMC在先进地面振动控制方面的新突破。Everstill k - 400是采用串联式主动系统结构的台式振动消除系统，再搭载用于提升亚赫兹灵敏度的速度传感器，可以使低频振动得到大幅衰减。 Everstill k-400设计用来使得超精密仪器设备可以隔离来自于建筑地面的振动，可隔离低于1Hz的频率。该系统可理想应用于光学显微镜、扫描探针显微镜（spm）及计量仪器。 具有Gainmatch，可以轻松选择并设置三个增益中的一个以获得适合当前环境的良好性能。 随着TMC STACIS压电振动消除技术的进步，Everstill主动硬式安装平台可以从0.7Hz开始隔离振动。Everstill专门设计适合用于得到最da低频隔振性能，对于在1 - 10 Hz范围内的隔振效果尤为明显，而精密仪器设备对于1 - 10 Hz的振动是敏感的。 便携、紧凑型的设计，可以非常轻松地安装在工作台或者桌面上。对于输入参数的唯yi要求就是要通过标准的交流电接口供电。 今日显微镜学（Microscopy Today）杂志高度评价TMC Everstill&trade K-400，将其定位为显微镜行业开发的重要及有用的十大发明之一，并在Microscopy & Microanalysis 2016会议上颁发相应奖项。Evertill K-400已经成为主动台式振动消除系统的新biao杆。

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台概述STACIS4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。 起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。 STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。 STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense&trade 专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。STACIS 4的优点：STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。性能在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。性能规格主动减振自由度6主动减振频段0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.35Hz在1 Hz的减振85% - 96%在2 Hz的减振96-99.9%稳定时间（典型）0.2 秒内部噪音＜0.05nm RMS单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）刚度 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例） 磁场强度＜0.02μg 宽频 RMS隔离器尺寸、环境和使用要求 环境与安全通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准主动隔振单元压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷被动隔振单元单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）振动传感器检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号主动反馈控制回路在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 × 12.5 × 10.8 in.300 × 320 × 275 mm隔振器重量75lb （34 kg）操作温度50°- 90°F10°- 32°C储存温度-40°- 130°F-40°- 55°C 湿度华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃系统电源要求100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE认证每个系统的隔振器数量最少3个选项层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等DC-2020 控制器规格尺寸（宽×深×高）19 × 8.5 × 1.75 in.483 × 216 × 45 mm重量6.3 lb（2.9 kg）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16频道模拟输入16频道状态指示灯单个LED灯前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个Ethernet RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个Ethernet RJ-451个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器用户界面前面板液晶显示器终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式Ethernet GUISTACIS 4界面STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。网页用户界面增强版TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。STACIS系列产品参数对比型号STACIS IIISTACIS IIIcSTACIS 4产品新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。主动减振自由度666主动减振频段0.6 Hz - 150 Hz0.6 Hz - 150 Hz0.2 Hz - 150 Hz被动固有频率被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz有效主动谐振频率0.5Hz0.5Hz0.35Hz在1 Hz的减振40% - 70%40% - 70%85% - 96%在2 Hz的减振≥90%≥90%96-99.9%10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少）0.3s0.3s0.2s内部噪音＜0.1nm RMS＜0.1nm RMS＜0.05nm RMS性能单个隔振器的工作负载范围低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）刚度 （1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）40,000 lb/in. (73 x 105 N/m) 距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出＜0.02μg 宽频 RMS地面位移要求480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz480 μin. (12 μm) 低于10 Hz-从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。

WS-4精密隔振平台/减振平台经济型隔振平台，负重至1000lbs,1/2垂直和水平频率.工作台重量： 大致134 磅(62 kg)绝缘体重量： 大致80 磅 (36 kg)平台重量： 大致54 磅(25 kg) 尺寸： 24" W x 24" D x 33" H (610mm W x 610mm D x 762mm H) 型号 近似载荷范围（可定制自己所需的载荷范围）100WS-4 60 - 100 lb(27 - 48 kg)150WS-4 90 - 155 lb(41 - 70 kg) 250WS-4 180 - 270 lb(82 - 123 kg) 350WS-4 290 - 370 lb(132 - 168 kg) 500WS-4 360 - 525 lb(164 - 239 kg) 650WS-4 500 to 680 lb(227 - 309 kg) 绝缘体重量： 大致 90 磅(36 kg) 850WS-4 630 - 900 lb(285 - 408 kg)1000WS-4 890 to 1050 lb(403 - 476 kg) 技术参数：整个载荷范围内均可达到1/2 Hz的垂直频率或更低平固定频率取决于载荷。额定载荷或接近额定载荷时可达1/2 Hz或更低 易于安装于调校部件号：WS-4 Stand重量： 大致 54 磅 (25 kg) 尺寸： 24" W x 24" D x 23" H(610mm W x 610mm D x 533mm H)

产品特点：■红星杨科技研发制造的精密隔振光学平台，组合精密橡胶阻尼隔震垫,和水平调节轴承，具有较好隔振效果。■适合于光通讯、电子制造、医疗器械、科研院校、显微镜、光路测试、光学测量、激光干涉、激光扫描、光谱实验等领域应用（对磁场较高的要求，百级超静音间等）■台板采用钢制芯夹板结构，具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为icr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，表面平面度高。回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔，易于固定光学元件架。■高分子复合橡胶垫提供对高频振动的隔振能力。■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。■独特的水平调节机构，可以实现轻松水平调节的目的，稳定性能高。 HGZT系列精密光学平台技术指标：■平面度：≤0.05mm/m2■表面粗糙度:≤0.8μm■固有频率；x方向：4Hz～6Hz y方向：4Hz～6Hz■振幅：5μm■荷载能力：800kg/m2■重复定位精度：±0.05mm HGZS列光学平台规格选型表：产品型号规格尺寸(mm)台面厚度(mm)台面重量（kg）支撑腿数量HGZS-06-06600×600×80080544HGZS-075-075750×750×80080854HGZS-09-06900×600×800100814HGZS-10-071000×700×8001001054HGZS-10-081000×800×8001001204HGZS-12-081200×800×8001501444HGZS-15-091500×900×8002002024HGZS-15-101500×1000×8002002104HGZS-16-091600×900×8002002164HGZS-18-121800×1200×8002003244HGZS-20-102000×1000×8002003004HGZS-20-122000×1200×8002503604HGZS-24-122400×1200×8002504324HGZS-30-103000×1000×8002504804HGZS-30-123000×1200×8003005764HGZS-30-153000×1500×8003007206HGZS-35-123500×1200×8003006726HGZS-35-153500×1500×8003008406HGZS-40-154000×1500×8003509606HGZS-42-154200×1500×80035010088HGZS-48-154800×1500×80040011528HGZS-50-155400×1500×800450120012HGZS-60-156000×1500×800450144012各种尺寸，异形平台均可定制 内部蜂窝芯结构，密封杯设计 细节效果表面处理-粗磨-精磨-精抛-倒角客户案例：光学平台，精密隔振光学平台，阻尼隔振光学平台厂家首选红星杨。

BM-1精密隔振平台/减振平台产品优势：隔离效果通常比高性能空气系统高出10-100倍无需空气动力或电力使用方便无磨损无需维修技术参数：整个载荷范围内均可达到1/2 Hz的垂直频率或更低平固定频率取决于载荷。额定载荷或接近额定载荷时可达1/2 Hz或更低重量：约80磅（36kg）尺寸：24" 宽x 22.5" 深x 9" 高(610mm 宽x 572mm 深x 216mm 高)型号 近似载荷范围（可定制自己所需的载荷范围 ）100BM-1 60 - 100 lb (27 - 48 kg)150BM-1 90 -1 55 lb (41 -70 kg)250BM-1 180 - 270 lb (82 - 123 kg)350BM-1 290 - 370 lb (132 - 168 kg)500BM-1 360 - 525 lb (164 -239 kg)650BM-1 500 - 680 lb (227 - 309 kg)

TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Island*的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以*高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具（请参阅我们关于在主动隔振器上堆叠主动隔振器的白皮书）。此外，它还提供了*宽频率范围内的*大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了极高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。Quiet Islands vs. Quiet BuildingsDesigning a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter. It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration .TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005,2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005.Quiet Island的优势采用STACIS - TMC业界*的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界*的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。性能在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、来自地面的VC-C输入下测量传递率规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸300 x 320 x 275 毫米隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480μin. (12μm) below 10Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI其他参数平台表面不锈钢表面顶部和侧面；环氧涂漆钢底部平台结构专有的多层层压钢板尺寸量身定制标准高度15、18、20、24、30、36、48英寸38、46、51、61、76、91、122厘米还可提供定制高度负载能力量身定制刚性立管和支架获认证的焊接、全钢结构，与洁净室兼容的粉末涂层表面可选附件限制支架、平台顶部吊环螺栓，用于格子式底层地面的桥板平台顶部版本切口、通孔、用于固定工具的螺纹孔其他Quiet Island配置不具有环境振动规格的大型仪器通常需要一个与活动地面分开的刚性且稳定的支架。刚性Quiet Island是理想的解决方案。刚性Quiet Island具有相同的高性能平台顶部，也可为任何高度、任何底层地面几何形状的活动地面洁净室以及各种工具尺寸定制设计。TMC提供一系列不同类型的支柱，以满足各种需求，从而形成了特定于仪器和工厂的模块化、可灵活地重新定位和升级的解决方案。应用照片由于安装在我们Quiet Island底层地面平台上设备的复杂性、敏感性和价值，我们未创建用于订购的标准目录号。我们认为应为特定应用定制设计每个平台。建议的订购步骤如下：●告诉我们您要隔离的设备或仪器。由于我们已安装了成千上万的装置，我们可能已有满足您应用要求的平台设计。此外，我们还与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系，因此，我们了解*新的尺寸、形状、重量变化和地面振动规格。●或者，您可能想要一个适合活动地面网格系统的平台。客户通常选择47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平台来替换偶数块地砖。●告诉我们您的活动地面高出坚实底层地面的高度。●请向我们描述或提供一个显示您底层地面或钢梁/格子板几何形状中的任何孔图案的插图。●请向我们提供地面振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。●考虑仪器的振动灵敏度。我们的刚性、非共振支柱设计为许多工具提供了充分的支撑。更敏感的应用将需要空气或压电支撑

TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP赛默飞世尔定制版SEM主动隔振平台SEM Base LPSEM-Base-LP是我们的标准SEM-Base主动压电振动消除平台的定制、低剖面版本。SEM-Base-LP更易于安装，提供卓越的性能，并且符合人体工程学优化。紧凑的设计便于安装，无需使用扫描电子显微镜（SEM）的内置调平脚以外的任何东西来提升扫描电子显微镜（SEM）柱。而且，一旦安装，扫描电镜的高度以上的地板不会增加。SEM-Base-LP采用了我们独特的STACIS压电技术，具有与我们的行业标准SEM-Base-VI相同的振动消除性能。SEM-Base-LP包括脚轮，专门设计用于与许多赛默飞世尔科技（前身为FEI）工具集成。Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool兼容的Thermo Fisher产品型号SEM Base LP与许多Thermo Fisher产品型号兼容，包括●Apreo●Aquilos●Helios Small DualBeam●Nova NanoSEM x50●Quattro S●Scios●Teneo●Verios G4●Verios 460, 460L●Versa 3D如果您的SEM/FIB未列出，请联系我们检查兼容性。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的优势硬安装技术–SEM底座与内部SEM振动控制系统兼容，并积极缓解0.6 Hz的低频地板振动。主动惯性振动消除-扫描电镜基地使用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地板。采用压电技术的串行设计–独特的串行设计和专有的高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽，以及无与伦比的惯性主动消振，从2 Hz开始可降低90%。TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP的性能1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)TMC SEM主动隔振平台SEM Base LP规格性能主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸、895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90°F10° - 32°C储存温度-40° - 130°F-40° - 55°C湿度80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C系统电源要求100、120、230、240 VAC、50/60 Hz AC；600 W，符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB2.0 1个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI

森泉光电代理美国TMC电子显微镜主动减振系统森泉光电为美国TMC国内授权的国内总代理 主动隔振光学平台，美国TMC用于SEM用于SEM的TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 STACIS iX SEM-Base VI SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。 SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有zui大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。 相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。 TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势: 硬式装载技术 &bull SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。 主动惯性振动消除 &bull SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。 串行设计与压电技术 &bull 独特串行设计加上高强度压电技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。 完全集成式的单平台设计 &bull SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了ji致，简单的定位与设置之后即可正常工作。 NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响 TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点： &bull STACIS技术 &bull 主动惯性振动清除系统 &bull 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM &bull 负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.) &bull 隔振效率1Hz:40-70% &bull 隔振效率经2Hi:90% &bull 隔振效率＞3Hz:90-98% &bull 6个主动自由度 &bull 安装容易，调试简单 &bull 兼容所有设备内直的振动隔离系统 &bull 电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W &bull 是否需要空气：非气浮系统 &bull CE与RoHS认证 &bull 完全集成式的单平台设计 &bull 可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运 &bull 兼容SEM-lift系统

TMC Stage-Base主动隔振系统（光学平台）TMC继续在*进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带高精度电动X-Y平台的*级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的*效载荷运动能够非常快速地稳定，以大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供先*的主动振动和运动消除系统。优势：Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种*级低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了*越的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内*佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。规格：采用*特的STACIS技术采用高力、加长行程的压电致动器*效载荷的位置可重复性在微米以内框架安装设计6个主动自由度可选的VCM前馈和/或反馈始于0.6 Hz的主动隔振响应平台运动的快速稳定时间无软空气悬架通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器简单、坚固且经济高效

主动隔振台-主动式隔震台-防振台-Herz-AVI-200XL/LP大型SEM主动隔震台，大型TEM主动隔振台，半导体设备防振台系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动式隔振台，IVF实验室防振台。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除紧凑、模块化的多功能设计稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： STM AFM 干涉仪摩擦学 轮廓仪高精度计量 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-200XL/L系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):130 x 856 x 112.5 Hmm控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm隔振单元重量: 12kg负载能力:400 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常9W校正力：水平最大4N，垂直最大8N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约3.5μm/N，水平约7μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。主动隔振台-主动式隔震台-防振台

产品介绍：精密阻尼光学平台HGZO系列是一款高性能隔振光学平台，是精密橡胶阻尼隔震垫和锥形水平轴承调节机构组合的新型精密隔振光学平台，具有优质的缓冲，隔振效果，台面采用430优质高导磁不锈钢具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点。广泛应用于光通讯、电子制造、医疗生物、光路测试、光学测量、激光干涉、精密检测，光谱实验等对振动具有较高要求的设备。产品特点：隔振方式精密橡胶阻尼隔振调节机制锥形水平轴承光学平台高度800mm光学平台平面度≤0.05mm/m2光学平台台面粗糙度≤0.8um 台面处理哑光处理平台振幅5um固有频率x方向：3.5Hz～6Hz y方向：3.5Hz～6Hz符合承载800kg/m2水平调节方式手动调节调节高度±10mm

主动式隔震台-主动隔振台-减震台-Herz-AVI-600M/LP 大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，IVF实验室，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台，主动隔振台，主动减震台，主动防震台AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年 无低频共振、无空气要求应用范围：超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。技术参数：型号：AVI-600M/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 720 x 112.5 Hmm控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 26kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

主动式减振台-主动隔震台-隔振台-Herz-AVI-600S/LP广泛应用于日本电子JEOL、日本日立Hitachi、德国Zeiss、美国FEI、捷克泰思肯Tescan、荷兰飞纳Phenom扫描电子显微镜，IVF实验室消除或降低地表附近震动源产生的震动，能够消除环境振动对电子显微镜造成的影响！Table stable主动式减震台。高负载超低频自动调平，安装简单使用年限长。AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供业界领先的主动隔振性能（从0.5 Hz开始）。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低调的模块化设计，无需为大多数仪器（包括大多数SEM）安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。 适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！ 工作原理：安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动。如果这些振动对设备造成不利影响，最有效的解决方案则是使用隔振台（减振台），以便营造最适合该设备的条件。 主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生最佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 AVI系列主动隔振台采用先进的隔振技术，适用于任何研究情况下，可以隔离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利用控制器内的压电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等，相位相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路来消除隔振系统的机械共振。可为实验室中对震动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器隔离来自地面的震动，提供稳定的测试环境。 产品亮点： 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, 200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单系统主动检测输入振动并动态消除 紧凑、模块化的多功能设计 稳定性高，能无故障连续使用多年无低频共振、无空气要求应用范围： 超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）光刻工具高精度计量工具光谱仪器 升级选项：可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。 技术参数：型号：AVI-600S/LP系统配置：独立隔振装置 & 控制装置主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz 被动隔振范围:大致为200 Hz以上显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。 LEDs 指示输出阶段的过载情况。单元尺寸(每个):288 x 396 x 112.5 Hmm 控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm隔振单元重量: 23kg负载能力:1200 kg (同等/低重心) 输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz功耗：通常27W校正力：水平最大12N，垂直最大24N 系统噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz 静态柔度：垂直约1μm/N，水平约2 μm/N 温度范围：5℃ - 40℃相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)室内/室外使用：仅用于室内 隔振效果：性能对比图：SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI-400系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。

精密气浮隔振光学平台产品介绍谱量光电研发制造的精密气浮隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求。上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率静音压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。细节展示技术参数平面度≤0.05mm/㎡表面粗糙度＜0.6um固有频率X方向：1.2~2Hz，Y方向：1.2~2Hz振幅2um螺孔间距25mm孔距公差±0.05mm螺孔规格M6（公制）螺孔公差±0.03mm载荷能力300Kg/㎡台面厚度100mm/150mm/200mm/250mm/300mm台面重量120Kg/㎡@100mm厚，140Kg/㎡@200mm厚，165Kg/㎡@300mm厚（≈）产品选型产品型号尺寸（mm）载荷（Kg）支撑腿数量支架宽度（mm）PLGZQ-06600x600x8008004120*120PLGZQ-075750x750x8008004120*120PLGZQ-0906900x600x8008004120*120PLGZQ-10071000x700x8008004120*120PLGZQ-10081000x800x8008004120*120PLGZQ-12081200x800x8008004120*120PLGZQ-15091500x900x80014004200*200PLGZQ-15101500x1000x80014004200*200PLGZQ-16091600x900x80014004200*200PLGZQ-18101800x1000x80014004200*200PLGZQ-18121800x1200x80014004200*200PLGZQ-20102000x1000x80014004200*200PLGZQ-20122000x1200x80014004200*200PLGZQ-20152000x1500x80014004200*200PLGZQ-24122400x1200x80014004200*200PLGZQ-24152400x1500x80020004200*200PLGZQ-30103000x1000x80020006200*200PLGZQ-30123000x1200x80020006200*200PLGZQ-30153000x1500x80020006200*200PLGZQ-35123500x1200x80020006200*200PLGZQ-35153500x1500x80020006200*200PLGZQ-40154000x1500x80025006200*200PLGZQ-42154200x1500x80025008200*200PLGZQ-48154800x1500x80025008200*200PLGZQ-54155400x1500x800250012200*200PLGZQ-60156000x1500x800250012200*200备注：各种尺寸规格，均可按客户需求定制，还可根据客户现场环境，定制T型，L型，土型等各种拼接结构隔振光学平台。另有台面无磁以及整体无磁光学平台可供选择。配件选购标准型光学仪器架铝型材光学仪器架暗室遮光罩备注：标准型光学仪器架，铝型材光学仪器架，暗室遮光罩均可按照需求定制交付案例

TMC 主动隔振系统Quiet Island&光学平台Quiet Island底层地板式平台和支撑半导体生产工厂都要有高架地板来适应复杂设备的要求（水管设施、电缆、输气管等）以及保持严苛的净度。这样的地板对于极度振动敏感产品、检验以及计量设备的安装都是极大挑战。高架地板不能为这样的设备提供必要的振动环境。TMC的Quiet Island是利用固定于底层地板下面的‘Quiet Island’来代替高架地板一部分的创新的解决方案。Quiet Island是包含带有专门的支撑结构的特殊平台。 平台平台是由TMC设计并生产的夹着轻质、不可压缩的阻尼核心材料的钢制4inch薄板。由坚硬的钢板、核心以及环氧树脂粘合成的具有夹层效果的不锈钢钢板使产品具有极高的硬度和结构阻尼。大面积的横截面和含钢量使整体硬度达到一个较高等级。平台顶面和边缘是连续的整块的不锈钢外壳，用来保持其净度、外观和完整性。Performance-Measured transmissibility on a 24” tall 40”x60” Quiet Island, 4-mount STACIS support, VC-C input from the floorSpecifications-For vibration isolation specification see STACIS III.Platform surfaceStainless steel surface top and sides epoxy painted steel bottomPlatform constructionProprietary multi-layer steel laminateDimensionsBuild to suitStandard heights15, 18, 20, 24, 30, 36, 48 in.38, 46, 51, 61, 76, 91, 122 cmCustom heights also availableLoad capacityBuild to suitRigid risers and supportsCertified welding, all-steel construction,cleanroom compatible powdercoat finishOptionsRestraint brackets, platform top eyebolts for lifting,bridge plates for waffle-type subfloorsPlatform top variationsCutouts, thru-holes, tapped holes for tool tie-downs

TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VISEM-BaseVI是下一代STACIS主动压电消振产品。SEM-Base VI被设计用于支撑所有商用扫描电子显微镜（SEM）以及许多聚焦离子束（FIB）和小型双光束仪器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更强大的控制器和高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI使许多实验室和设施达到了满足工具制造商规格所需的地面振动水平。 SEM-Base VI采用独特的“串行结构”，其中的振动传感器测量地面振动，而不是有效载荷振动。与其他设计不同，这确保了有效载荷共振不会限制隔振或造成不稳定。振动传感器是低频惯性速度传感器，在难以测量的亚Hz范围内具有最大灵敏度。结合我们独特的压电致动器技术，SEM-Base VI即使在安静的地面上也能实现极高的消振水平。 SEM-Base VI可提供与以前型号平均高6 dB的隔振。此外，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的双核处理器，为工具所有者和研究人员提供了一个非常简单易用的图形界面，可实现快速系统评估和安全操作。通过以太网连接时，DC-2020将在用户的浏览器中创建SEM-Base GUI，无需安装其他软件或应用程序。此外，用户也可以通过板载菜单驱动的液晶显示器（LCD）与控制器连接。注意：请参见SEM-Closure，这是一种专为保护SEM而设计的整体环境解决方案。它可以将SEM-Base和Mag-NetX 固定在一个密封和温控声学室中 - 从而保护SEM免受振动、磁场干扰和声学噪声的影响。TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI的优势硬安装技术 - SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容，可以从0.6 Hz开始主动减轻低频地面振动。主动惯性振动消除 - SEM-Base VI使用高灵敏度、低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也能实现高水平的振动衰减。 采用压电技术的串行设计 - 独特的串行设计和专有的高力压电技术可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90％的卓越惯性主动振动消除性能。完全集成式的单平台设计 - SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化到了极致，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响。TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI产品特点●STACIS专利技术●主动惯性振动清除系统●895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM●负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)●隔振效率1Hz:40-70% ●隔振效率经2Hi:90% ●隔振效率＞3Hz:90-98%●6个主动自由度●安装容易，调试简单●兼容所有设备内直的振动隔离系统●电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W●是否需要空气：非气浮系统●CE与RoHS认证●完全集成式的单平台设计●可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运●兼容SEM-lift系统TMC SEM主动隔振平台SEM-Base VI规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 100 Hz被动固有频率标称值为12 Hz有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%2 Hz时的隔振90%≥3 Hz时的隔振90 - 98%内部噪音0.1 nm RMSd工作负载范围标准承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）磁场发射4英寸（102毫米）处距离平台0.02 μG broadband RMSd设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件最小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和支撑隔离面尺寸（宽 x 深）35.25 x 44.25英寸895 x 1124毫米高度标称6.3英寸（160毫米），SEM-Base关闭时不会改变工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移800 μin. (20 μm) below 10 Hzd内置控制器规格处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI性能使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）有效载荷应用说明应用说明SEM成像SEM-Base在使用日立S-4800之前和之后的图像SEM成像蔡司Auriga FIB-SEM在使用带Mag-NetX的SEM-Base之前和之后的图像案例分析主动压电消振功能允许在恶劣的城市环境中使用先进的电子束和离子束仪器提高金刚石车削质量最大限度地减少表面粗糙度以消除金刚石车削智能设备相机镜头模具上的衍射颜色