聚焦离子束束装置

20世纪以来，微纳米科技作为一个新兴科技领域发展迅速，当前，纳米科技已经成为21 世纪前沿科学技术的代表领域之一，发展作为国家战略的纳米科技对经济和社会发展有着重要的意义。纳米材料结构单元尺寸与电子相干长度及光波长相近，表面和界面效应，小尺寸效应，量子尺寸效应以及电学，磁学，光学等其他特殊性能、力学和其他领域有很多新奇的性质，对于高性能器件的应用有很大潜力。具有新奇特性纳米结构与器件的开发要求开发出具有更高精度，多维度，稳定性好的微纳加工技术。微纳加工工艺范围非常广泛，其中主要常见有离子注入、光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺技术。近年来，由于现代加工技术的小型化趋势，聚焦离子束（focused ion beam，FIB）技术越来越广泛地应用于不同领域中的微纳结构制造中，成为微纳加工技术中不可替代的重要技术之一。FIB是在常规离子束和聚焦电子束系统研究的基础上发展起来的，从本质上是一样的。与电子束相比FIB是将离子源产生的离子束经过加速聚焦对样品表面进行扫描工作。由于离子与电子相比质量要大的非常多，即时最轻的离子如H+离子也是电子质量的1800多倍，这就使得离子束不仅可以实现像电子束一样的成像曝光，离子的重质量同样能在固体表面溅射原子，可用作直写加工工具；FIB又能和化学气体协同在样品材料表面诱导原子沉积，所以FIB在微纳加工工具中应用很广。本文主要介绍FIB技术的基本原理与发展历史。离子源FIB采用离子源，而不是电子束系统中电子光学系统电子枪所产生的加速电子。FIB系统以离子源为中心，较早的离子源由质谱学与核物理学研究驱动,60年代以后半导体工业的离子注入工艺进一步促进离子源开发，这类离子源按其工作原理可粗略地分为三类:1、电子轰击型离子源，通过热阴极发射的电子，加速后轰击离子源室内的气体分子使气体分子电离，这类离子源多用于质谱分析仪器，束流不高，能量分散小。2、气体放电型离子源，由气体等离子体放电产生离子，如辉光放电、弧光放电、火花放电离子源，这类离子源束流大，多应用于核物理研究中。3、场致电离型离子源是利用针尖针尖电极周围的强电场来电离针尖上吸附的气体原子，这种离子源多应用于场致离子显微镜中。除场致电离型离子源外，其余离子源均在大面积空间内（电离室）生成离子并由小孔引出离子流。故离子流密度低，离子源面积大，不适合聚焦成细束，不适合作为FIB的离子源。20世纪70年代Clampitt等人在研究用于卫星助推器的铯离子源的过程中开发出了液态金属离子源（liquid metal ion source,LMIS）。图1：LMIS基本结构将直径为0.5 mm左右的钨丝经过电解腐蚀成尖端直径只有5-10μm的钨针，然后将熔融状态的液态金属粘附在针尖上，外加加强电场后，液态金属在电场力的作用下形成极小的尖端（约5 nm的泰勒锥），尖端处电场强度可达10^10 V/m。在这样高电场作用下，液尖表面金属离子会以场蒸发方式逸散到表面形成离子束流。而且因为LMIS发射面积很小，离子电流虽然仅有几微安，但所产生电流密度可达到10^6/cm2左右，亮度在20μA/Sr左右，为场致气体电离源20倍。LMIS研究的问世，确实使FIB系统成为可能，并得到了广泛的应用。LMIS中离子发射过程很复杂，动态过程也很复杂，因为LMIS发射面为金属液体，所以发射液尖形状会随着电场和发射电流的不同而改变，金属液体还必须确保不间断地补充物质的存在，所以发射全过程就是电流体力学和场离子发射相互依赖和相互作用的过程。有分析表明LMIS稳定发射必须满足三个条件：（1）发射表面具有一定形状，从而形成一定的表面电场；（2）表面电场足以维持一定的发射电流与一定的液态金属流速；（3）表面流速足以维持与发射电流相应的物质流量损失，从而保持发射表面具有一定形状。从实用角度，LMIS稳定发射的一个最关键条件：制作LMIS时保证液态金属与钨针尖的良好浸润。由于只有将二者充分持续地粘附在一起，才能够确保液态金属很好地流动，这一方面能够确保发射液尖的形成，同时也能够确保液态金属持续地供应。实验发现LMIS还有一些特性：（1） 存在临界发射阈值电压。一般在2 kV以上；电压超过阈值后，发射电流增加很快。（2） 空间发射角较大。离子束的自然发射角一般在30º左右；发射角随着离子流的增加而增加；大发射角将降低束流利用率。（3） 角电流密度分布较均匀。（4） 离子能量分散大（色差）。离子能散通常约为4.5 eV,能散随离子流增大而增大，这是由于离子源发射顶端存在严重空间电荷效应所致。由于离子质量比电子质量大得多，同一加速电压时离子速度比电子速度低得多，离子源发射前沿空间电荷密度很大，极高密度离子互斥，造成能量高度分散。减小色差的一个最有效的办法是减小发射电流，但低于2uA后色差很难再下降，维持在4.5eV附近。继续降低后离子源工作不稳定，呈现脉冲状发射。大能散使离子光学系统的色差增加，加重了束斑弥散。（5） LMIS质谱分析表明，在低束流（≤ 10 μA）时，单电荷离子几乎占100%；随着束流增加，多电荷离子、分子离子、离子团以及带电金属液滴的比重增加，这些对聚焦离子束的应用是不利的。以上特性表明就实际应用而言,LMIS不应工作在大束流条件下，最佳工作束流应小于10μA,此时，离子能量分散与发散角都小，束流利用率高。LMIS最早以液态金属镓为发射材料，因为镓熔融温度仅为29.8 ºC，工作温度低，而且液态镓极难挥发、原子核重、与钨针的附着能力好以及良好的抗氧化力。近些年经过长时间的发展，除Ga以外，Al、As、Au、B、Be、Bi、Cs、Cu、Ge、Fe、In、Li、Pb、P、Pd、Si、Sn、U、Zn都有报道。它们有的可直接制成单质源；有的必须制成共熔合金（eutectic alloy），使某些难熔金属转变为低熔点合金，不同元素的离子可通过EXB分离器排出。合金离子源中的As、B、Be、Si元素可以直接掺杂到半导体材料中。尽管现在离子源的品种变多，但镓所具有的优良性能决定其现在仍是使用最为广泛的离子源之一，在一些高端型号中甚至使用同位素等级的镓。FIB系统结构聚焦离子束系统实质上和电子束曝光系统相同，都是由离子发射源，离子光柱，工作台以及真空和控制系统的结构所构成。就像电子束系统的心脏是电子光学系统一样，将离子聚焦为细束最核心的部分就是离子光学系统。而离子光学与电子光学之间最基本的不同点：离子具有远小于电子的荷质比，因此磁场不能有效的调控离子束的运动，目前聚焦离子束系统只采用静电透镜和静电偏转器。静电透镜结构简单，不发热，但像差大。图2:聚焦离子束系统结构示意图典型的聚焦离子束系统为两级透镜系统。液态金属离子源产生的离子束，在外加电场( Suppressor) 的作用下，形成一个极小的尖端，再加上负电场( Extractor) 牵引尖端的金属，从而导出离子束。第一，经过第一级光阑后离子束经过第一级静电透镜的聚焦和初级八级偏转器对离子束的调节来降低像散。通过一系列可变的孔径（Variable aperture），可以灵活地改变离子束束斑的大小。二是次级八极偏转器使得离子束按照定义加工图形扫描加工而成，利用消隐偏转器以及消隐阻挡膜孔可以达到离子束消隐的目的。最后，通过第二级静电透镜，离子束被聚焦到非常精细的束斑，分辨率可至约5nm。被聚焦的离子束轰击在样品表面，产生的二次电子和离子被对应的探测器收集并成像。离子与固体材料中的原子碰撞分析作为带电粒子，离子和电子一样在固体材料中会发生一系列散射，在散射过程中不断失去所携带的能量最后停留在固体材料中。这其中分为弹性散射和非弹性散射，弹性散射不损失能量，但是改变离子在固体中的飞行方向。由于离子和固体材料内部原子质量相当，离子和固体材料之间发生原子碰撞会产生能量损失，所以非弹性散射会损耗能量。材料中离子的损失主要有两个方面的原因，一是原子核的损失，离子与固体材料中原子的原子核发生碰撞，将一部分能量传递给原子，使得原子或者移位或者与固体材料的表面完全分离，这种现象即为溅射，刻蚀功能在FIB加工过程中也是靠这种原理来完成。另一种损失是电子损失：将能量传递给原子核周围的电子，使这些电子或被激发产生二次电子发射，或剥离固体原子核周围的部分电子，使原子电离成离子，产生二次离子发射。离子散射过程可以用蒙特卡洛方法模拟，具体模拟过程与电子散射过程相似。1.由原子核微分散射截面计算总散射截面，据此确定离子与某一固体材料原子碰撞的概率；2.随机选取散射角与散射平均自由程，计算散射能量的核损失与电子损失；3.跟踪离子散射轨迹直到离子损失其全部携带能量，并停留在固体材料内部某一位置成为离子注入。这一过程均假设衬底材料是原子无序排列的非晶材料且散射具有随机性。但在实践中，衬底材料较多地使用了例如硅单晶这种晶体材料，相比之下晶体是有晶向的，存在着低指数晶向，也就是原子排列疏密有致，离子一个方向“长驱直入”时穿透深度可能增加几倍，即“沟道效应”（channeling effect）。FIB的历史与现状自1910年Thomson发明气体放电型离子源以来，离子束已使用百年之久，但真正意义上FIB的使用是从LMIS发明问世开始的，有关LMIS的文章已做了简单介绍。1975年Levi-Setti和Orloff和Swanson开发了首个基于场发射技术的FIB系统，并使用了气场电离源（GFIS）。1975年：Krohn和Ringo生产了第一款高亮度离子源：液态金属离子源，FIB技术的离子源正式进入到新的时代，LMIS时代。1978年美国加州的Hughes Research Labs的Seliger等人建造了第一套基于LMIS的FIB。1982年 FEI生产第一只聚焦离子束镜筒。1983年FEI制造了第一台静电场聚焦电子镜筒并于当年创立了Micrion专注于掩膜修复用聚焦离子束系统的研发,1984年Micrion和FEI进行了合作,FEI是Micrion的供应部件。1985年 Micrion交付第一台聚焦离子束系统。1988年第一台聚焦离子束与扫描电镜(FIB-SEM)双束系统被成功开发出来，在FIB系统上增加传统的扫描电子显微系统，离子束与电子束成一定夹角安装，使用时试样在共心高度位置既可实现电子束成像，又可进行离子束处理，且可通过试样台倾转将试样表面垂直于电子束或者离子束。到目前为止基本上所有FIB设备均与SEM组合为双束系统，因此我们通常所说的FIB就是指FIB-SEM双束系统。20世纪90年代FIB双束系统走出实验室开始了商业化。图3:典型FIB-SEM 双束设备示意图1999年FEI收购了Micrion公司对产品线与业务进行了整合。2005年ALIS公司成立，次年ZEISS收购了ALIS。2007年蔡司推出第一台商用He+显微镜，氦离子显微镜是以氦离子作为离子源，尽管在高放大倍率和长扫描时间下它仍会溅射少量材料但氦离子源本来对样品的损害要比Ga离子小的多，由于氦离子可以聚焦成较小的探针尺寸氦离子显微镜可以生成比SEM更高分辨率的图像，并具有良好的材料对比度。2011年Orsay Physics发布了能够用于FIB-SEM的Xe等离子源。Xe等离子源是用高频振动电离惰性气体，再经引出极引出离子束而聚焦的。不同于液态Ga离子源,Xe等离子源离子束在光阑作用下达到试样最大束流可达2uA,显著增强FIB微区加工能力，可以达到液态Ga离子FIB加工速度的50倍，因此具有更高的实用性，加工的尺寸往往达到几百微米。如今FIB技术发展已经今非昔比，进步飞快，FIB不断与各种探测器、微纳操纵仪及测试装置集成，并在今天发展成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的功能极其强大的综合型加工与表征设备，广泛的进入半导体行业、微纳尺度科研、生命健康、地球科学等领域。参考文献：[1]崔铮. 微纳米加工技术及其应用(第2版)(精)[M]. 2009.[2]于华杰, 崔益民, 王荣明. 聚焦离子束系统原理、应用及进展[J]. 电子显微学报, 2008(03):76-82.[3]房丰洲, 徐宗伟. 基于聚焦离子束的纳米加工技术及进展[J]. 黑龙江科技学院学报, 2013(3):211-221.[3]付琴琴, 单智伟. 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提高了加工速度、加工精度、观察精度 精工电子纳米科技有限公司（简称：SIINT，社长：川崎贤司，总公司：千叶县千叶市）是精工电子有限公司（简称：SII，社长：新保雅文，总公司：千叶县千叶市）的全资子公司，其主要业务是测量分析仪器的生产与销售。提高了加工速度、加工精度、观察精度的聚焦离子束的新产品「SMI4050」于8月30日开始销售。 聚焦离子束　SMI4050 聚焦离子束（FIB仪器）是使用数纳米细的离子束对样品表面进行扫描，可实现纳米级别的(1)蚀刻加工、 (2)堆积加工、 (3)显微镜观察的仪器。通过这些功能的组合，可进行半导体设备的布线变更、缺陷评价、断面加工・ 观察以及透射电子显微镜(TEM)用的样品薄片的切除加工、金属材料的结晶粒观察等，对以半导体为开端的电子部件和高功能材料的开发・ 改良具有重大贡献。 SIINT从1986年在日本首次销售通用FIB仪器以来，作为拥有世界领先水平技术的FIB仪器厂商，一直致力于二维电子图像分辨率的提高等以高性能化和自动化为首的高功能化。近年来，伴随关各种材料和半导体设备等对生产量的要求变高，也要求FIB仪器的离子束光学系统的高分辨率化和样品台的高精度化。另外，随着市场的扩大，对电子部件和复合材料等的断面加工时间的缩短化要求也增加了。 SMI4050配合有对应大电流的新型离子束光学系统和具有优良再现性的高精度样品台，可用这一台仪器对各种样品进行大面积加工和分辨率和显微镜观察。并且，对以往的操作性进行改良，断面加工和TEM样品制作更加自动化，可获得不依赖于操作员的熟练度的更准确的数据。 此次，通过发布SMI4050，可对应各领域的广泛研究开发的要求，可使FIB仪器应用得更广。 【SMI4050的主要特征】1. 通过大电流离子束，大幅缩短加工时间以前，数百微米的大尺寸断面制作加工需要很长时间，通过采用新型离子束光学系统，离子束电流约为以往机型的2倍，大幅缩短了加工作业时间。 2. 通过极低加速电压，制作高品质的样品TEM样品制作需要低加速电压下的精加工，SMI4050能达到低至0.5kV(选配设定时)的加速电压，可制作更高品质的TEM样品。同时通过提高低加速电压时的二维电子图像分辨率，实现了正确并且确实的加工。 3.提高二维电子图像分辨率世界领先水平的SMI系列的二维电子图像分辨率，以往的加速电压在30kV时的二维电子图像分辨率还是不变，即使设定0.5kV（选配）的极低加速电压时也可得到清晰的图像。 4.采用高精度样品台通过采用高精度机械5轴自动倾斜修正样品台， 对于样品观察时的位置对准和连续TEM样品自动加工也可实现高精度的坐标位置指定。 5.优越的操作性以「操作简单且高精度」为关键字，实现了TEM样品的自动制作等高精度且无需熟练掌握的自动加工。 【SMI4050的主要规格】FIB二次电子分辨率 ：4nmFIB加速电压 ：1～30kV (选配设定时：0.5～30kV)探针电流范围 ：0.15pA～90nA最大探针电流密度 ：50 A/cm2样品台 ：高精度机械5轴自动倾斜修正样品台样品尺寸 ：50mm×50mm 【价格】 7,000万日元～（不含税） 【销售目标台数】 10台（年度） 本产品的咨询方式中国：精工盈司电子科技(上海)有限公司TEL：021-50273533FAX：021-50273733MAIL：sales@siint.com.cn日本：【媒体宣传】精工电子有限公司综合企划本部 秘书广告部【客户】精工电子纳米科技有限公司BT营业部 BT 营业一科TEL: 03-6280-0074http://www.siint.com/

详细信息 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 江苏省-南京市-玄武区 状态：公告 更新时间： 2022-12-14 招标文件: 附件1 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 2022年12月14日 16:00 公告信息： 采购项目名称 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 采购单位 东南大学 行政区域 南京市 公告时间 2022年12月14日 16:00 获取招标文件时间 2022年12月15日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 11:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 线上 开标时间 2023年01月04日 09:30 开标地点 南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 预算金额 ￥1100.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 杨 扬、焦立阳 项目联系电话 025-84532455、025-84532452 采购单位 东南大学 采购单位地址 南京市玄武区四牌楼2号 采购单位联系方式 技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 代理机构名称 苏美达国际技术贸易有限公司 代理机构地址 南京市长江路198号苏美达大厦 代理机构联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 附件： 附件1 793D招标文件获取登记表.doc 项目概况 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取招标文件，并于2023年01月04日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0664-2260SUMEC793D 项目名称：东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 预算金额：1100.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：1100.0000000 万元（人民币） 采购需求： 东南大学采购聚焦离子束加工（双束）一套 本项目接受进口产品。 合同履行期限：境外产品：开具信用证后10个月内设备安装调试合格。境内产品：自合同签订之日起30天内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。 3.本项目的特定资格要求：本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网'(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 三、获取招标文件 时间：2022年12月15日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：线上 方式：在线获取 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号 苏美达达天下 。（2）、进入公众号- 在线服务 - 在线购标 。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC793D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3） 苏美达达天下 付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：东南大学 地址：南京市玄武区四牌楼2号 联系方式：技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 2.采购代理机构信息 名 称：苏美达国际技术贸易有限公司 地 址：南京市长江路198号苏美达大厦 联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 3.项目联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话： 025-84532455、025-84532452 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：聚焦离子束 开标时间：2023-01-04 09:30 预算金额：1100.00万元 采购单位：东南大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：苏美达国际技术贸易有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 江苏省-南京市-玄武区 状态：公告 更新时间： 2022-12-14 招标文件: 附件1 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购公开招标公告 2022年12月14日 16:00 公告信息： 采购项目名称 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 采购单位 东南大学 行政区域 南京市 公告时间 2022年12月14日 16:00 获取招标文件时间 2022年12月15日至2022年12月21日每日上午:9:00 至 11:00 下午:14:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 线上 开标时间 2023年01月04日 09:30 开标地点 南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 预算金额 ￥1100.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 杨 扬、焦立阳 项目联系电话 025-84532455、025-84532452 采购单位 东南大学 采购单位地址 南京市玄武区四牌楼2号 采购单位联系方式 技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 代理机构名称 苏美达国际技术贸易有限公司 代理机构地址 南京市长江路198号苏美达大厦 代理机构联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 附件： 附件1 793D招标文件获取登记表.doc 项目概况 东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 招标项目的潜在投标人应在线上获取招标文件，并于2023年01月04日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0664-2260SUMEC793D 项目名称：东南大学聚焦离子束加工（双束）采购 预算金额：1100.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：1100.0000000 万元（人民币） 采购需求： 东南大学采购聚焦离子束加工（双束）一套 本项目接受进口产品。 合同履行期限：境外产品：开具信用证后10个月内设备安装调试合格。境内产品：自合同签订之日起30天内到货并安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。 3.本项目的特定资格要求：本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网'(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。 三、获取招标文件 时间：2022年12月15日 至 2022年12月21日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：线上 方式：在线获取 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年01月04日 09点30分（北京时间） 地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号 苏美达达天下 。（2）、进入公众号- 在线服务 - 在线购标 。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC793D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3） 苏美达达天下 付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：东南大学 地址：南京市玄武区四牌楼2号 联系方式：技术咨询：电子学院： 尹老师 电话：025-83792632； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。 2.采购代理机构信息 名 称：苏美达国际技术贸易有限公司 地 址：南京市长江路198号苏美达大厦 联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话：025-84532455、025-84532452 3.项目联系方式 项目联系人：杨 扬、焦立阳 电 话： 025-84532455、025-84532452