无尘室检测

无尘室空调的五大特性1、温湿度要求比一般空调低一般空调要求在18°C~26 °C之间，相对湿度则在40%~65%之间；无尘室空调必须控制在22°C~24 °C之间, 相对湿度则在45%~55% 。恒温恒溼控制由于半导体制程对温湿度变化的大小极为敏感，故在无尘室大部分区域必须控制在± 1°C 及± 3% 之内。2、所需的外气较多由于半导体工厂中，制程系统需使用大量的化学品和毒气，这些化学品和毒气所产生的挥发气体和废气必须予以全数排除，故排气量相当大，为维持无尘室压力比外面的大气压力大，此时所补充的空气量亦随之增加。3、空调系统24小时全天运转并监控管理半导体工厂部分制程设备，对温溼度变化极为敏感，如黄光区Stepper光学机台，些微的温、溼度变化均会使设备的准度偏差，另外芯片等产品也必须置放在定温定溼的环境下，故空调系统必须24小时监控管理之。4、半导体厂无尘室室内压力大小半导体厂无尘室室内压力必须比室外高些许，除了为避免室外的温、湿度、微粒影响无尘室生产区的环境条件外，并可延长无尘室ULPAfilter的寿命，但不能无条件增加，如此将使向外逸散的洁净空气增加而增加运转成本。5、气流分布须均匀无尘室空调为带走无尘室内所产生的微尘粒子以维持洁净度故除了气流速度须达到一定之要求标准外，气流的流线形状也必须依不同的无尘室等级加以适当的控制。

[size=2][font=宋体]一、无尘室之定义 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。[/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。[/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。[/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　二、无尘室之分类 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　1.乱流式(Turbulent Flow)： [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　2.层流式(Laminar)： [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种： [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　3.复合式(Mixed Type)： [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。[/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　(3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　洁净工作台：等级Class 1~100级。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　[/font][/size][size=2][font=宋体] [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　三、无尘室按用途分类（可分为两大类） [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　（1）、工业无尘室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　（2）、生物无尘室，主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为； A、 一般生物无尘室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业无尘室。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。 [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size][size=2][font=宋体]　　B、 生物学安全无尘室：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备） [/font][/size][size=3][font=宋体][/font][/size]

无尘室用纸有什么要求？我们的这个防水记录纸是否可以用于无尘室作为无尘记录纸呢？有经验的朋友给点建议。