综合校准仪

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综合校准仪相关的厂商

  • 山西科致成科技有限公司是专业从事气体传感器、报警仪校验检定装置研制开发、设计制造、技术服务和销售为一体的大型科技生产型企业,公司自创业以来,历经多年的市场风雨的洗礼,通过实施严格的区域代理制度及销售服务体制,以客户利益为最优先考虑来开展业务运营。在各级煤矿检测中心、经销商、用户和厂家的共同努力下,科致成校验装置得到了用户的广泛认可与信赖。科致成已成为国内同行业的领导品牌,成为了山西省煤矿行业的知名企业。 公司位于太原高新技术开发区,其前身太原科导电子有限公司始建于2002年,具有近十多年的光辉历程和先进的生产制造经验,是国内第一家生产KA型调校检测仪的厂家,产品畅销全国,山西科致成科技有限公司承继太原科导电子有限公司的产品品牌和生产优势。 公司技术力量雄厚,工艺设计先进,质量保证体系完善,检测手段先进、化验设备齐全,已通过GB/T19001-2008 idt ISO9001:2008质量管理体系认证。 企业主导产品为KA83J车载甲烷传感器检定装置、KA83型智能多路多功能校验台、KAJC-1型分站检测仪等KA系列产品,是国内品种最多、功能覆盖面最宽的气体传感器报警仪校验检定设备生产企业。KA83型、KA8316型品牌产品具有较高的声誉和市场知名度,不仅畅销省内,而且远销山东、河北、河南等省份和地区。 公司拥有通工艺、技术精的科研队伍,凭借着丰富的工作经验及专业知识,所生产的气体传感器校验台、气体报警仪检定装置始终保持着国内一流的技术水平,特别是KA83型智能多路多功能校验台在国内同行业中遥遥领先。 公司具有独特优势: 1、山西省内煤矿行业知名品牌; 2、具有东山煤矿、西山煤矿、华润联盛煤矿企业公司新品试验基地; 3、具有霍州煤电技术检测中心成熟产品培训基地; 4、和山西理工大学精诚合作,研发KA系列产品软件,拥有自主知识产权。 4、研发校验检定设备,属国内首创。 5、产品已通过山西省科技厅成果鉴定,具有国内领先地位; 6、产品已通过山西省经信委、煤炭厅新产品鉴定,可批量生产。 7、产品已在山西省质量技术监督局备案,并已申报多项国家专利。 公司可以根据用户要求,按照国家标准为您定做8路、16路、32路等多路甲烷、氧气、一氧化碳、二氧化碳等气体传感器报警仪校验台/检定装置,集设计,制造,安装,售后一体化,为您提供优质各种矿用气体检定装置/校验台;   未来,山西科致成科技有限公司将继续以高质量、低成本、全球化为战略目标,以高标准、精细化、零缺陷为作业路线,集成知识,整合创新,打造世界级品牌和全球最具竞争力的气体传感器报警仪校验检定设备制造基地。
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  • 广东省世通仪器检测服务有限公司,CNAS实验室认可地址:广东省东莞市道滘镇厚德上梁洲工业区四横路7号,注册号CNAS L3170 是通过国家授权认可的专门从事仪器计量、仪器校准、仪器检测第三方实验室和内校员培训机构,量具校准,量具计量、仪器检定 仪器标定...目前通过国家认可项目六百余项,可检测校准仪器设备高达几千余种,目前拥有长度、热工、力学、电学、无线电、理化、光学、声学等多个专业校准实验室。出具校准证书报告,校准合格证,符合客户审厂要求;出具的数据均可溯源至国家计量基准和国际单位制(SI),所出具的证书、报告完全满足ISO/IEC71025和ISO9000族的溯源性要求,ISO、CCC客户审核验厂年审。业务范围全国各地:广东(东莞市、广州、深圳、佛山、中山、江门、珠海、惠州、湛江、阳江)江苏、安徽、浙江、福建、江西、上海、广西、湖北、湖南、河南、北京、天津、河北、山西、内蒙古,陕西、四川、云南、贵州、重庆各地区都可安排检测下厂,仪器计量机构单位机构-世通仪器检测。
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  • 江苏世通仪器检测服务有限公司是经国家认可委员会认可,国际实验室互认组织(ILAC-MRA)授权,通过ISO17025国际计量准则的具有独立专业从事仪器校准检测及咨询培训的值得信赖的第三方公正实验室 世通仪器检测服务有限公司创立于2006年,总部设在制造名城东莞市,专业提供仪器校准,仪器校验,仪器外校,仪器计量,仪器检测,仪器校正,CNAS校正,仪器销售等服务。为方便江浙沪等华东地区服务,于2010年在江苏苏州成立江苏世通仪器检测服务有限公司, 并在当地政府的大力支持和关怀下,通过全体同仁不懈努力,于2013年9月,经CNAS(中国合格评定国家认可委员会)评审专家组队的专业评审团,对我司 实验室进行全面、严格、细致的指导和审核,确认我司昆山实验室完全符合ISO/IEC17025:2005 检测和校准实验室能力 的通用要求,给予高度评价和认可,于2013年12月21号正式颁发CNAS认证证书,证书编号:CNAS L6634, 符合ISO17025计量准则标准,ILAC-MRA(国际实验室互认组织)授权,出具的校准证书完全满足ISO、CCC、UL、QS、HACCP等国际 认证及工厂内部质量控制管理。为了满足不断增长客户的需要,同时体现我司为江苏地区仪器校准服务做出更大贡献的决心,经世通仪器校准领导团队研究决定,在原注册资金50万元人民币的基础上,直接增资至1000万元,同时变更公司名称,由原“昆山世通仪器检测服务有限公司”,变更为“江苏世通仪器检测服务有限公司”。既彰显公司实力,又是对所有客户服务质量最好的保障。这是对我司实验室各项管理工作的规范化、标准化的全面检测,是对公司持续稳定健康发展的重要保证。我们将不断优化和规范各项管理制度,不断提高体系运行的有效性,不断提高公司的管理水平,不江浙沪地区的所有客户提供最优质的仪器校验服务。江苏世通仪器校准中心秉着“公平、公正、准确、高效”的八字方针,设有:长度实验室、力学实验室、几何量实验室、衡器实验室、电学实验室、热工实验 室等专业仪器校准实验室。本校准中心可对以上类别范围的各国仪器进行校准并出具国际认可的法定校准证书。校准证书具有可靠性、权威性、公正性……Jiangsu Shitong Instruments Inspection Service Co., Ltd. was established after the examination and approval of Guangdong People’s Government, it is entitled legal person status. It is a third party impartiality laboratory engaging in calibration and test of instruments, and provides relevant information consultation trainingto customers.Shitong measurement and calibration laboratory is recognized by China National Accreditation Service for Conformity Assessment (CNAS), the accreditation No is L3170, authorized by International Laboratory Accreditation Cooperation (ILAC-MRA) too, passed the requirements of ISO17025international measurement principle, thus the calibration certificate and test report are acknowledged and recognized by accreditation organs and other members in countries and regions which signed multilateral agreement with CNAS.Shitong company holds the motto of science, impartiality, accuracy and high efficiency, established instruments inspection calibration center, measurement inspection instruments sale center, moreover, it was incorporated measurement inspection technique training consultation center with Guangdong Laboratories Federation (GDLF).The calibration inspection center of the company consists of calibration labs including Mechanics,Length, Weighing Apparatus, Electricity, Thermal Power, Geometry, etc. The calibration/inspection reports are characterized authority, reliability and impartiality.The measurement training center of the company provides technology consultation, employees training, lab proposal, and international standard collection to enterprises. It organizes expertsfrom home and abroad to implement professional qualification training for calibration personnel, test technicians, qualification certificate of quantity surveyor, uncertainty measurement, etc. Labor authorities and Guangdong Laboratories Federation will issue qualification certificate afterassessment passed.The instruments sale center of the company analyses measurement error to their instruments, price performance ratio, feasibility, maintenance level, etc. for customers. Providing perfect zero purchase risk for customers!
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综合校准仪相关的仪器

  • 产品简介ZR-5411型便携式流量压力综合校准装置采用孔口流量测量原理,内置高精度压力传感器,可用于VOCs采样器、大气采样器、颗粒物采样器、烟尘测试仪的流量、压力校准。广泛适用于环境监测、劳保卫生、科研院校等部门。适用范围:VOCs采样器、大气采样器、颗粒物采样器、烟尘测试仪的流量、压力校准。烟尘测试仪的烟温标定、验证。其它可应用的场合。技术特点采用内置孔口流量计,校准采样器流量。自动换算标况流量、刻度流量。主机可扩展至7路。内置高精度压力传感器。支持自动/手动校准压力。内置高精度电阻,支持烟温校准。交直流两用,内置高性能锂电池,供电时间>8小时。5寸彩色触摸屏,操作简单。大容量数据存储,支持查询打印功能。执行标准HJ/T 368-2007 标定总悬浮颗粒物采样器用的孔口流量计技术要求及检测方法
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  • 详细介绍产品简介 ZR-5410A型便携式气体、粉尘、烟尘采样仪综合校准装置集小流量、中流量、大流量压力校准于一体。校准精度高,便于携带,可满足绝大部分气体采样仪器的校准。适用于计量检定、环保监测、劳保卫生、科研院所及其它需要气体流量校准的场合。执行标准 JJG 586-2006《皂膜流量计检定规程》 HJ/T 368-2007《标定总悬浮颗粒物采样器用的孔口流量计技术要求及检测方法》技术特点 1、可提供计量部门校准证书,保障测量精度; 2、温度、大气压可测量也可以手动输入; 3、内置罗茨流量计,直读流量,自动换算标况流量; 4、交直流两用,内置高能锂电池; 5、大容量数据存储、查询、打印功能; 6、中文点阵式液晶显示屏,界面显示丰富; 7、软件参数标定。
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  • TW-5040型便携式综合校准仪产品介绍:本仪器集小流量、中流量、大流量校准于一体,校准精度高,造型美观,便于携带,采用工业级彩色触摸液晶屏,中文图标显示,可满足绝大部分气体采样仪器的流量校准。TW-5040型便携式综合校准仪执行标准JJG 586-2006 《皂膜流量计检定规程》HJ/T 368-2007 《标定总悬浮颗粒物采样器用的孔口流量计》TW-5040型便携式综合校准仪技术特点■ 大容量数据存储、查询、打印功能;■ 中文彩色触控显示屏,操作简洁,显示美观;■ 软件参数标定;■ 无线蓝牙打印,打印操作方便快捷;■ 用户密码保护;■ 故障检测自动保护。TW-5040型便携式综合校准仪技术参数:
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综合校准仪相关的资讯

  • 实验室仪器的校准目的、校准周期如何确定?
    1、设备定期校准的主要目的 实验室对设备进行定期校准的主要目的有:1)建立、保持和证明设备的计量溯源性;2)改善设备测量值与参考值之间的偏差及不确定度;3)提高设备不确定度的可信性;4)确定设备性能是否发生变化,该变化可能引起实验室对之前所出具结果的准确性产生怀疑。 2、设备初始校准周期如何确定 设备初始校准周期的确定应由具备相关测量经验、设备校准经验或了解其它实验室设备校准周期的一个或多个人完成。确定设备初始校准周期时,实验室可参考计量检定规程/校准规范、所采用的方法和仪器制造商建议等信息。此外,实验室可综合考虑以下因素:1)预期使用的程度和频次;2)环境条件的影响;3)测量所需的不确定度;4)最大允许误差;5)设备调整(或变化);6)被测量的影响(如高温对热电偶的影响);7)相同或类似设备汇总或已发布的测量数据。 3、设备校准周期的调整 ISO/IEC 17025:2017 中 6.4.7 规定:【实验室应制定校准方案,并进行复审和必要的调整,以保持对校准状态的信心】实验室制定校准方案后,应在后续使用中结合设备的使用情况和性能表现作出必要的调整。设备的校准周期以及后续校准周期的调整一般应由实验室(或设备使用者)确定,并以文件化的形式规定。如果设备的校准证书中给出了校准周期的建议,实验室可根据自身情况决定是否采用。 4、设备后续校准周期调整需考虑的因素 设备后续校准周期的调整,一般应考虑以下因素:1)实验室需要或声明的测量不确定度;2)设备超出最大允许误差限值使用的风险;3)实验室使用不满足要求设备所采取纠正措施的代价;4)设备的类型;5)磨损和漂移的趋势;6)制造商的建议;7)使用的程度和频次;8)使用的环境条件(气候条件、振动、电离辐射等);9)历次校准结果的趋势;10)维护和维修的历史记录;11)与其它参考标准或设备相互核查的频率;12)期间核查的频率、质量及结果;13)设备的运输安排及风险;14)相关测量项目的质量控制情况及有效性;15)操作人员的培训程度。
  • 制药行业温度校准方案(一) | 安装于工艺设备卫生型温度传感器校准
    应用背景温度数据的监测在制药行业里有相当重要的地位,不论是产品质量保障、节能降耗还是合规要求,再或者药品研发-生产-包装-运输-存储的各个环节,都与温度息息相关,而且对温度参数的准确可靠有较高要求。温度监测大都由温度传感器和显示设备组成,随着时间的推移,温度传感器会受到诸多因素的影响,例如震动,盈利变化,化学腐蚀等,其性能参数也会产生变化,因此需要对其进行校准以确定其误差的大小,确保其在允许误差范围内工作。而新版GMP规范第五章第五节对校准也做了明确规定:对于生产和检验用的仪表要定期校准,保存校准记录,未经校准的仪表不得使用。AMETEK校准仪器具有40年的温度校准经验,深入了解用户需求,为制药行业用户设计了有综合性的专业解决方案:✔ 卫生型温度传感器✔ 超短支温度传感器✔ 无法拆卸狭小空间温度传感器✔ 超低温冰箱、冻干设备温度传感器✔ 湿热灭菌器温度传感器✔ 隧道灭菌温度传感器✔ 表面安装温度开关制药行业温度校准方案(一)安装于工艺设备卫生型温度传感器校准解决方案:RTC-156B 超级标准体炉配短支校准套件✔ 专业套件:定制套管保证与卫生型卡盘传感器充分热平衡,补偿热损失,外接参考传感器与被检传感器位置保持一致,精准控温。✔ 洁净 无液体介质,不易污染探头,尤其适用于对探头洁净度有严格标准的企业 。✔ 性能: 双区加热配合 DLC 动态负载补偿 ,保证垂直温场均匀稳定,不受被检传感器 插入深度影响 。✔ 便携 干体炉 便于携带至 现场 ,可以 进行 全回路校准,减少分离回路校准的附加误差 。✔ 安全: 无液体挥发,不会对操作人员健康产生危害,也不会污染实验室工作空间✔ 快捷: 升降温速度远快于 液槽,成倍提高 工作效率关于Ametek Jofra 干体炉Ametek校准仪器是全球主要的温度、压力及电信号校准仪生产厂商之一,干体炉的发明者,能提供快速精准的温度校准方案。AMETEK干体炉有5大系列共50多个型号,温度覆盖-100~1205℃,满足各个行业的温度校准需求。根据应用情况提供多样的解决方案,实现实验室及现场的快速精准温度校准。
  • 符合紫外新标准的众瑞便携式紫外烟气综合分析仪技术特点
    新标准 本月15日正式发布的两项紫外新标准(HJ1131-2020/HJ1132-2020)明确了规定并适用于固定污染源废弃中氮氧化物/二氧化硫的便携式紫外吸收法的测定。青岛众瑞仪器研发的两款相关仪器均符合新标准要求。紫外差分法仪器分冷干法和热湿法两种类型,为方便广大用户了解我司的这两款产品,以下进行详细介绍。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪(C款 冷干法) 本仪器包含ZR-D05DT型烟气预处理器和ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪(C款 冷干法)两部分。 其中ZR-D05DT型烟气预处理器集加热采样管和导气管、冷却装置快速除湿于一体。ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪(C款 冷干法)性能指标均符合国家环保局颁布的烟气测试仪的有关规定。主要技术特点:1、采用紫外光谱差分吸收技术(DOAS) 直接测量固定污染源排气中的SO2、NO、NO2等气体浓度,无需NO2转化器;可拓展对H2S/CS2/NH3/CH3SCH3/CH2O/C6H6等气体的测量。 由于NO2对光的吸收比较弱,如果光源选择不合适,或者算法不够先进,无法直接测量NO2。有些紫外烟气分析仪无法直接测量NO2,采用NO2转化器的仪器,使用不便,NO2转化率容易不达标新发布的《HJ1132-2020》中规定2、双量程分析设计,根据SO2、NO高低浓度值自动切换量程;3、采用进口脉冲氙灯作为紫外光源,预热时间小于10min,使用寿命长; ①独特的无光纤光源、气室和光谱仪一体化结构,避免了光纤带来的不稳定和故障; ②光强调节结构能够在气室受到一定程度污染的情况下,简单的进行调节,即可继续工作;③气室带有修护窗口,即使气室受到严重污染,也可以通过拆开气室进行擦拭完成维护,无需返回厂家进行维修,提高仪器的出勤率。4、内置锂电池,支持3小时以上采样,交流供电断电能够自动切换供电而不必中断采样; 5、触屏按键双输入方式,操作方便灵活;触屏按键双输入6、烟气预处理器采用全程恒温伴热、后端高效制冷除湿等多重防护,采用符合国标的加磷酸方式,有效防止二氧化硫气体被冷凝水吸附,以及消除氨气干扰。 ①主机内置除水模块,能够将抽进主机的液滴进行气水分离后,带有蠕动泵动态排出,避免液滴进入气室和电化学传感器,造成仪器故障,大大提高了仪器的可靠性。 ②冬季气温接近冰点时,预处理器输出的烟气经过进气管路仍然会有冷凝水产生,这些冷凝水有可能进入到主机内部,造成仪器故障。除水模块就避免了这种原因的故障,提高了仪器出勤率,能够更好的为检测公司创造价值。③高效制冷除湿:采用大功率两级电子制冷,制冷温差大,可处理含湿量达30 Vol.%的烟气,输出气体露点稳定;④冷凝室采用符合国标方法的加磷酸(HJ 57-2017)方式,有效降低SO2等的损失,消除或减小氨、硫化氢等气体的干扰,适用于高湿、烟气成分浓度低的工况;③现场检测对比数据:工况信息:青岛某热电 含湿量:约10% 烟温:50℃7、仪器具备测量烟道动压、静压、烟温、流速、含湿量等工况参数的功能。各工况参数8、光谱图形动态显示,方便用户掌握仪器工作情况; 光谱图形动态显示9、分钟数据与总平均数据动态保存,导出excel表格,标配蓝牙打印机,方便报表打印。现场采样:ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪(H款 热湿法) ZR-3211型便携式紫外烟气综合分析仪(H款热湿法)采用紫外差分吸收光谱技术测量烟气中的O2、NO、NO2和NH3,可选O2、CO、CO2、H2S传感器测量气体浓度,不受烟气中水蒸气影响,具有较高的测量精度和稳定性,特别适合高湿低硫工况测量。主要技术特点:1、采用紫外差分法直接测量SO2、NO、NO2和NH3;2、采用脉冲氙灯作为紫外光源,光谱范围宽,NO2吸收较强,相比氘灯光源示值更为稳定。 有些紫外仪器采用氘灯作为紫外光源,测量NO2信号弱,示值波动也较大。采用脉冲氙灯作为紫外光源,光谱范围宽,NO2吸收较强,示值较为稳定。NO2的吸收谱,吸收区域在450nm左右最强我公司仪器光源图谱,在450nm范围内依然较强的光其他厂家仪器光源图谱,在400nm以后基本无法检测3、内置冷凝除水模块保护电化学传感器,采用蠕动泵自动排水,仪器可连续工作,无时间限制; 内部除水装置采用蠕动泵动态排出泠凝水,能够保证仪器长时间连续工作。4、内置进口含湿量传感器,采样的同时测量含湿量;热湿法烟气分析仪,需要测量含湿量,进行干湿浓度转换,和在线数据进行比对。(新发布的《HJ1131-2020》/《HJ11322-2020》标准中均有所规定)5、采用特殊设计的自主知识产权的光路(已申请发明专利),容易装配和调试,便于仪器维护和校准。 ①相对于冷干法,热湿法仪器较易污染,且维护难度大。 ②我公司采用特殊设计的反射器件,光路非常稳定,容易装配和调试,可在采样现场进行维护。6、预热时间短,仅需10-15分钟; 7、批量打印分钟值和总平均值,功能更加人性化;8、 选配套管式皮托管,能够在采样的同时进行工况测量;9、选配高温探针,满足烟温高和烟道壁较厚的工况。10、采用真空隔热管,隔热效果好。现场采样:

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  • 【分享】通信综合测试仪校准规范宣贯将在成都举行

    全国无线电计量技术委员会将于2011年6月下旬在四川成都举行通信综合测试仪校准规范宣贯会。此次宣贯会由全国无线电计量技术委员会主办,上海市计量测试技术研究院和工信部通信计量中心协办。  此次宣贯会由上海市计量测试技术研究院和工信部通信计量中心负责校准规范的起草人进行宣讲,主要宣贯以下国家计量校准规范:《无线局域网测试仪校准规范》、《蓝牙测试仪校准规范》、《CDMA2000综合测试仪校准规范》、《WCDMA综合测试仪校准规范》、《TD-SCDMA数字移动通信综合测试仪校准规范》、《无线信道模拟器校准规范》。

  • 覆盖高真空、低真空和正压的全量程综合校准系统精密控制解决方案

    覆盖高真空、低真空和正压的全量程综合校准系统精密控制解决方案

    [size=16px][color=#6666cc][b]摘要:针对工作范围在5×10[font='times new roman'][sup]-7[/sup][/font]~1.3×10[font='times new roman'][sup]6[/sup][/font]Pa,控制精度在0.1%~0.5%读数的全量程真空压力综合测量系统技术要求,本文提出了稳压室真空压力精密控制的技术方案。为保证控制精度,基于动态平衡法,技术方案在高真空、低真空和正压三个区间内分别采用了独立的控制方法和不同技术,所涉及的关键部件是微小进气流量调节装置、中等进气流量调节电动针阀、排气流量调节电动球阀、正压压力电子调节器和真空压力PID控制器。配合相应的高精度真空压力传感器,此技术方案可以达到控制精度要求,并已得到过试验验证。[/b][/color][/size][align=center][img=全量程真空压力综合测量系统的高精度控制解决方案,690,384]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121052314254_1235_3221506_3.jpg!w690x384.jpg[/img][/align][size=16px][/size][b][size=18px][color=#6666cc]1. 项目概述[/color][/size][/b][size=16px] 真空压力综合测量系统是一个用于多规格真空传感器测量校准的高精度动态真空压力测量系统,主要由一套真空稳压室、一套电容薄膜真空测量模块、一套冷阻复合真空测量模块、一套高精度真空测量模块,其技术要求如下:[/size][size=16px] (1)真空稳压室体积为1L;[/size][size=16px] (2)真空稳压室含有10路VCR转接接头;[/size][size=16px] (3)真空稳压室加热烘烤温度范围:室温到200℃;[/size][size=16px] (4)冷阻复合真空测量模块量程为(5×10[font='times new roman'][sup]-7[/sup][/font]~1×10[font='times new roman'][sup]5[/sup][/font])Pa;[/size][size=16px] (5)冷阻复合真空测量模块含有通讯接口,提供0~10V电压信号;[/size][size=16px] (6)电容薄膜真空测量模块量程为10Torr,测量精度为0.5%;[/size][size=16px] (7)电容薄膜真空测量模块接口为8VCR接口;[/size][size=16px] (8)电容薄膜真空测量模块含有通讯接口,提供0~10V电压信号;[/size][size=16px] (9)高精度真空测量模块量程为0.1~10000Torr;[/size][size=16px] (10)高精度真空测量模块测量精度为读数的0.1%;[/size][size=16px] (11)配备高精度真空测量模块的控制器,满足真空测量模块的使用要求,包含通讯接口。[/size][size=16px] 从上述技术要求可以看出,整个系统的真空压力范围覆盖了负压和正压,具体的全量程覆盖范围用绝对压力表示为5×10-7~1.3×106Pa,其中包含了高真空(5×10[font='times new roman'][sup]-7[/sup][/font]~1.3×10[font='times new roman'][sup]-1[/sup][/font]Pa)、低真空(1.3×10[font='times new roman'][sup]-1[/sup][/font]~1.3×10[font='times new roman'][sup]5[/sup][/font]Pa)和正压(1.3×10[font='times new roman'][sup]5[/sup][/font]~1.3×10[font='times new roman'][sup]6[/sup][/font]Pa)的精密测量和控制,更具体的是要在一个稳压室内实现三个真空压力范围的不同测量和控制精度。以下将对这些技术要求的实现,特别是对真空压力的精密控制技术方案和相关关键配套装置给出详细说明,其他通用性的装置,如机械泵和分子泵则不进行详细描述。[/size][size=18px][color=#6666cc][b]2. 高精度宽量程真空压力控制技术方案[/b][/color][/size][size=16px] 真空压力控制系统的技术方案基于动态平衡法控制原理,即在一个密闭容器内,通过调节进气和出气流量并达到相应的平衡状态来实现真空压力设定点的快速控制。在动态平衡法实际应用中,只要配备相应精度的传感器、执行器和控制器,可以顺利实现设计精度的控制。为此,针对本项目提出的技术指标,基于动态平衡法,本文所提出的具体技术方案如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=01.真空压力综合测量控制系统结构示意图,690,410]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121043350021_6971_3221506_3.jpg!w690x410.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图1 高精度全量程真空压力控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 对应于项目技术指标中的高真空、低真空和正压压力控制要求,图1所示的真空压力控制系统由三个相对独立的控制系统来实现项目技术要求,具体内容如下:[/size][size=16px][color=#6666cc][b]2.1 高真空度控制系统[/b][/color][/size][size=16px] 基于动态平衡法原理,对于高真空控制,需要采用上游控制模式,在分子泵全速抽气条件下,需要在上游(进气端)通过精密调节微小进气流量,来实现高真空范围内任意真空度设定点的恒定控制。如图1所示,高真空控制系统主要包括了冷阻真空计、微量进气调节装置和真空压力控制器,这三个装置构成一个闭环控制系统,它们的精度决定了高真空度的最终控制精度。[/size][size=16px] 需要说明的是高真空和低真空控制系统公用了一套机械泵和分子泵,高真空控制时需要分别使用机械泵和分子泵,而在低真空控制时仅使用机械泵。[/size][size=16px] 对于高真空传感器而言,可根据设计要求选择相应量程和测量精度的真空计,其测量精度最终决定了控制精度,一般而言,控制精度会差于测量精度。[/size][size=16px] 在高真空控制中,关键技术是精密调节微小进气流量。如图1所示,微量进气调节装置有电动针阀、泄漏阀和压力调节器组成,可实现0.005mL/min或更低的微小进气流量调节。[/size][size=16px] 微量气体调节时,首先通过压力调节器来改变泄漏阀的进气压力,使泄漏阀流出相应的微小流量气体,然后通过调节电动针阀来改变进入真空稳压室的气体流量。压力调节器和电动针阀的控制则采用的是24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比的双通道真空压力PID控制器。[/size][size=16px][color=#6666cc][b]2.2 低真空度控制系统[/b][/color][/size][size=16px] 基于动态平衡法原理,对于低真空控制,则需要分别采用上游(进气端)和下游(排气端)两种控制模式。如图1所示,两种控制模式的具体内容如下:[/size][size=16px] 在低真空的0.01~10Torr范围内,需要采用10Torr量程的电容真空计,并在机械泵全速抽气的条件下(电动球阀全开),通过动态改变电动针阀的开度来调节进气流量以实现设定真空度的精密控制。同时在电动针阀的进气端增加一个压力调节器以保证电动针阀进气压力的稳定。[/size][size=16px] 在低真空的10~760Torr范围内,需要采用1000Torr量程的电容真空计,并在固定电动针阀开度和机械泵全速抽气的条件下,通过动态改变电动球阀的开度来调节排气流量以实现设定真空度的精密控制。[/size][size=16px] 同样,在低真空控制系统中也同样采用了高精度的双通道真空压力控制器,两路输入通道分别接10Torr和1000Torr的薄膜电容真空计,两路输出控制通道分别接电动针阀和电动球阀,由此可实现两个低真空范围内的真空度精密控制。[/size][size=16px] 尽管电容真空计可以达到0.2%的测量精度,但要实现项目0.5%的控制精度,需要电动针阀和电动球阀具有很快的响应速度,电动针阀要求小于1s,而电动球阀要求小于3s,另外还要求真空压力控制器也同样具有很高的测量和调节精度,这些要求同样适用于高真空度控制。[/size][size=16px][color=#6666cc][b]2.3 正压压力控制系统[/b][/color][/size][size=16px] 对于正压压力控制采用了集成式动态平衡法压力调节器,并采用了串级控制方法。如图1所示,正压控制系统由压力调节器、压力传感器和真空压力控制器构成的双闭环控制回路构成。采用相应精度和量程的压力传感器和压力调节器可实现0.1%以内的控制精度。[/size][size=18px][color=#6666cc][b]3. 低真空控制解决方案考核试验和结果[/b][/color][/size][size=16px] 对于低真空精密控制解决方案,我们进行过相应的考核试验。低真空上游和下游控制考核试验装置如图2和图3所示,其中分别采用了10Torr和1000Torr薄膜电容真空计。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=02.上游控制模式考核试验装置,550,371]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121044011178_1432_3221506_3.jpg!w690x466.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图2 上游控制模式考核试验装置[/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=03.下游控制模式考核试验装置,550,338]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121044250558_2395_3221506_3.jpg!w690x425.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图3 下游控制模式考核试验装置[/b][/color][/size][/align][size=16px] 上游和下游不同真空度设定点的控制结果如图4和图5所示。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=04.上游低真空度考核试验曲线,550,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121044433769_7471_3221506_3.jpg!w690x418.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图4 低真空上游考核试验曲线[/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=05.下游低真空度考核试验曲线,550,327]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121045002696_1848_3221506_3.jpg!w690x411.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图5 低真空下游考核试验曲线[/b][/color][/size][/align][size=16px] 上游和下游不同真空度设定点的恒定控制波动率如图6和图7所示。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=06.上游模式低真空度恒定控制波动度,550,309]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121045233797_3751_3221506_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图6 上游模式低真空恒定控制波动度[/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=07.下游模式低真空度恒定控制波动度,550,340]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121045436717_8569_3221506_3.jpg!w690x427.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图7 下游模式低真空恒定控制波动度[/b][/color][/size][/align][size=16px] 通过上下游两种控制模式的考核试验,可得出以下结论:[/size][size=16px] (1)配备有目前型号电动针阀、电动球阀和 PID 控制器的低真空控制系统,在采用了薄膜电容真空计条件下,恒定真空度(压强)控制的波动率可轻松的保持在±0.5%以内。[/size][size=16px] (2)由于真空控制系统中进气或出气流量与真空度并不是一个线性关系,因此在整个测控范围内采用一组 PID 参数并不一定合适,为了使整个测控范围内的波动率稳定,还需采用 2 组或2组以上的 PID 参数。[/size][size=18px][color=#6666cc][b]4. 正压压力控制解决方案考核试验和结果[/b][/color][/size][size=16px] 对于正压压力控制解决方案,同样进行过相应的考核试验。正压压力精密控制考核试验装置如图8所示,其中采用了测量精度为0.05%的压力传感器。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=08.正压压力考核试验装置,600,336]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121046014855_1011_3221506_3.jpg!w690x387.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图8 正压压力考核试验装置[/b][/color][/size][/align][size=16px] 考核试验的压力范围为表压0.1~0.6MPa,选择不同的设定点进行恒定控制并检测其控制的稳定性。全量程的正压压力控制结果如图9所示。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=09.正压压力考核试验曲线,600,337]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121046261180_1880_3221506_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图9 正压压力考核试验曲线[/b][/color][/size][/align][size=16px] 为了更直观的演示正压压力控制精度,将每个压力设定点时的控制过程进行单独显示,以检测测定正压压力的稳定性,图10显示了不同正压设定点恒定控制时的正压压力和控制电压信号的变化曲线。[/size][align=center][size=16px][color=#6666cc][b][img=10.不同正压设定点恒定控制时的压力和控制电压试验曲线,690,555]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306121046471416_4804_3221506_3.jpg!w690x555.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#6666cc][b]图10 不同正压设定点恒定控制时的压力和控制电压试验曲线[/b][/color][/size][/align][size=16px] 通过所用的正压压力精密控制解决方案和考核试验结果,证明了此解决方案完全能够实现0.1%高精度的正压压力控制,具体结论如下:[/size][size=16px] (1)采用串级控制和模式,并结合后外置超高精度(0.05%)的压力传感器和真空压力控制器,完全可以有效提高压力调节器的压力控制精度,可实现0.1%超高精度的压力控制。[/size][size=16px] (2)如果选择更合适和狭窄的压力控制范围,还可以达到0.05%的更高控制精度。[/size][size=16px] (3)高精度0.1%的压力控制过程中,真空压力控制器的测量精度、控制精度和浮点运算是决定整体控制精度的关键技术指标,解决方案中采用的24位ADC、16位DAC和高精度浮点运算0.01%的输出百分比,证明完全可以满足这种高精度的控制需要。[/size][size=18px][color=#6666cc][b]5. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 针对真空压力综合测量系统对高真空、低真空和正压精密控制的技术要求,解决方案可以很好的实现精度为0.1%~0.5%读数的精密控制,考试验证试验也证实此控制精度。[/size][size=16px] 更重要的是,解决方案提出了高真空度的精密控制方法和控制系统配置,这将解决在高真空度范围内的任意设定点下的恒定控制难题,为高真空度范围的计量校准测试提供准确的标准源。[/size][align=center][size=16px]~~~~~~~~~~~~~~~~~[/size][/align][size=16px][/size]

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  • 仪器检测校准
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