电子化学品

湿电子化学品是半导体、集成电路等多个领域的重要基础性关键化学材料，是当今世界发展速度较快的产业领域。我国湿电子化学品2012年市场规模仅为34.81亿元，到2018年已增至79.62亿元，而2021年湿电子化学品市场规模预计超过100亿元。湿电子化学品（又称电子级试剂、超净高纯化学试剂、工艺化学品、湿化学品等）一般主体成分纯度大于99.99%，是电子行业湿法制程的关键材料，常用于湿法刻蚀、清洗等微电子、光电子湿法工艺制程，约占集成电路制造成本的5%。湿电子化学品湿电子化学品可分为通用性湿电子化学品和功能性湿电子化学品。通用湿电子化学品一般为单组份、单功能、被大量使用的液体化学品，包括酸、碱、有机溶剂等，常用于集成电路、液晶显示器、太阳能电池、LED制造工艺等；功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品，包括蚀刻液、清洗液、光刻配套试剂等，常用于半导体刻蚀、清洗等工艺中。常见湿电子化学品（数据自中国电子材料行业协会）类别湿电子化学品约占湿电子化学品总需求比例（%）合计占比估计通用湿电子化学品过氧化氢16.70%88.20%氢氟酸16%硫酸15.30%硝酸14.30%磷酸8.70%盐酸4.80%氢氧化钾3.80%氨水3.70%异丙酮2.80%醋酸1.90%功能湿电子化学品MEA等极佳溶液3.20%11.80%显影液（半导体用）2.70%蚀刻液（半导体用）2.20%显影液（液晶面板用）1.60%剥离液（半导体用）1.20%缓冲刻蚀液（BOE)0.90%湿电子化学品的国际分类标准国际半导体设备和材料协会(SEMI)根据金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等制定了湿电子化学品国际等级分类标准。Grade1等级湿电子化学品常用于光伏太阳能电池等领域；Grade2等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、分立器件等领域；Grade3等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、集成电路等；Grade4等级湿电子化学品常用于集成电路等领域。 IC制造不同线宽对应湿电子化学品国际等级分类标准SEMI等级IC线宽(μm)金属杂质(10-9)控制粒径(μm)颗粒(个/mL)C1(Grade1)＞1.2≤1000≤1≤25C7(Grade2)0.8-1.2≤10≤0.5≤25C8(Grade3）0.2-0.6≤1≤0.5≤5C12(Grade4）0.09-0.2≤0.1≤0.2*Grade5*≤0.01**国际湿电子化学品市场国际湿电子化学品市场份额的80%主要被德国的E.Merck 公司、美国的Ashland 公司、Sigma-Aldrich 公司、Mallinckradt Baker 公司、日本的Wako 、Summitomo 等占据。欧美传统老牌企业的湿电子化学品产品市场份额（以销售额计）约为34%,主要企业有德国巴斯夫公司、美国亚什兰集团、亚什兰化学公司、美国Arch 化学品公司、美国霍尼韦尔公司、AIR PRODUCTS、德国E.Merck 公司、美国Avantor Performance Materials 公司、ATMI 公司等。日本企业约占30%的市场份额，主要企业关东化学公司、三菱化学、京都化工、日本合成橡胶、住友化学、和光纯药工业（Wako）、stella-chemifa 公司等。中国台湾、韩国、中国大陆企业（即内资企业）约占全球市场份额的35%。全球湿电子化学品行业主要企业国家及地区企业名称美国霍尼韦尔、ATMI、Arch化学品、亚仕兰集团、空气化工产品、Avantor™ Performance Materials德国巴斯夫、汉高、E.Merck日本关东化学、三菱化学、京都化学、东京应化、住友化学、宇部兴产、Stella Chemifa、Wako、日本合成橡胶韩国东友精细化工、东进世美肯、soulbrain ENG中国台湾台湾联仕电子、台湾侨力 国内湿电子化学品研究 自1980 年北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合5µm技术用的MOS级试剂开始，经过数十年积累，国内湿电子化学品企业陆续获得了 G1、G2 等级的化学试剂生产技术，少数部分技术领先企业已经具备 G2 等级化学试剂规模化生产的能力，部分产品的关键技术指标已经达到了国际G3 标准的水平。2010 年之后，技术领先企业的部分产品具备了 G3 等级的生产技术，行业进入快速发展阶段。国内的湿电子化学品目前主要生产G2、G3级别，仅部分达到G4级别，产品主要进口自欧美、日本、韩国、中国台湾的企业。湿电子化学品常用检测仪器与技术湿电子化学品的纯度和洁净度对于电子元器件产品的成品率、性能和可靠性有重要影响。仪器信息网特将湿电子化学品纯度及杂质分析和颗粒检测常用的仪器进行整理。湿电子化学品常用检测仪器常用仪器用途对应仪器专场（点击进入）粒度仪颗粒分析等粒度仪仪器专场电感耦合等离子体—质谱仪（ICP-MS）纯度和杂质分析等电感耦合等离子体—质谱仪（ICP-MS）仪器专场离子色谱纯度和杂质分析等离子色谱仪器专场电位滴定仪纯度和杂质分析等电位滴定仪仪器专场紫外可见分光光度计纯度和杂质分析等紫外可见分光光度计仪器专场液相色谱纯度和杂质分析等液相色谱仪器专场液质联用纯度和杂质分析等液质联用仪器专场

当下，遍及全球的数字化技术正在催生新一轮的科技革命和产业变革，尤其自去年，在经济发展停滞和疫情的双重夹击下，发展半导体芯片的创新和制造的实力，加强自主创新意识及知识产权战略布局，已经自上而下成为中国全社会的新共识。新能源、信息通讯、消费电子等下游电子信息产业的快速发展的同时，湿电子化学品行业需求的更新换代速度也不断加快。湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料，也是重要支撑材料之一，其质量的好坏，直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性，对微电子制造技术的产业化有重大影响。因此，电子工业的发展要求湿电子化学品与之同步发展，不断地更新换代，以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。从某种意义上说，湿电子化学品支撑着新能源、现代通信、计算机、信息网络技术、微机机械智能系统、工业自动化和家电等现代技术产业。所以，电子化学材料产业的发展规模和技术水平，已经成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志，在国民经济中具有重要战略地位，是科技创新和国际竞争最为激烈的材料领域之一。江阴江化微电子材料股份有限公司（下文称：江化微）是目前国内规模最大、品种最齐全、整体配套服务能力最强、技术领先的湿电子化学品专业服务提供商之一，在业内享有较高的声誉。近日，江化微副总经理姚玮先生就湿电子化学品的研发相关话题接受了记者采访。江阴江化微电子材料股份有限公司副总经理姚玮先生湿电子化学品的角色姚玮首先归纳到，我国半导体行业的发展可分为三个阶段：第一阶段自 80 年代改革开放起，带有国家主导的单位、研究所等等，初期引入了一些集成电路的产线，由于比较缺少经验，真正投入运营起来的生产线还是寥寥无几。第二阶段为在 20 世纪 90 年代八五期间实施的发展微电子产业的重点工程，主体企业是由无锡 742 厂和永川半导体研究所无锡分所合并成立的中国华晶电子集团公司，该项目的建成投产使国内集成电路生产技术水平由 2-5 微米提高到 0.8-2 微米。909 工程是电子工业有史以来投资规模最大的国家项目，表现了当时党和国家的领导人迫切希望提高我国集成电路水平。第三阶段自 2014 年 10 月 14 日，工信部办公厅宣布国家集成电路产业投资基金设立至今，国家重点投资集成电路芯片制造业，兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业，实施市场化运作、专业化管理，在这一阶段我国在集成电路领域产生了较快发展。超净高纯化学试剂成为制约半导体等微电子微细加工技术发展的瓶颈。以半导体生产为例，大规模集成电路在其生产过程中有几十道工序，工艺制造过程中的空气、水、各种气体、化学试剂、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等各种因素都可能带来污染物，集成电路集成度越高，对高纯试剂颗粒控制的要求越严格，污染物数量超过一定限度时，会导致集成电路产品漏电、电特性异常等情况，轻者影响电路使用寿命，严重时可导致电路报废，而这些污染物都需要相关的超净高纯试剂去除。随着集成电路线宽尺寸减小，对专用化学品中的金属杂质、尘埃含量、尘埃粒径等指标提出了更高的要求。超净高纯试剂正是随着集成电路制造业对产品纯度不断提出严格要求，在通用试剂基础上发展起来的纯度最高的试剂。为衡量不同湿电子化学品的“超净”和“高纯”的程度， 1975 年国际半导体设备和材料组织（SEMI）制定了国际统一的超净高纯试剂标准，以对应不同线宽的集成电路应用。目前国际上制备 G1 到 G5 级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟，国内大部分企业已经达到了国际 G3 标准，并已开展 G4 与 G5 标准产品的研发工作。一些技术领先的湿电子化学品企业，如江化微公司，目前技术水平已达到 SEMI 标准等级的高端行列，硝酸、硫酸、氨水、金属刻蚀液等均已完成行业 G4 级或 G5 级品类中试，量产在即。江化微的技术演进作为国家火炬计划高新技术企业，江化微历来注重自主研发创新，配备有 50 余人的专业研发团队，是江苏省企业技术中心和江苏省超高纯湿电子化学品工程技术中心。公司全心致力于微电子、光电子专用湿电子化学品制造业的发展，不断开发出先进的工艺技术和生产高性能的微电子化学品，是目前国内产品达到国际标准，且具有一定生产规模的多家企业之一。随着下游对产品纯度不断提出严格要求，江化微不断创新技艺突破技术壁垒，在半导体制程当中所涉足到的化学品除了光刻胶、研磨液以外，基本上做到了全覆盖，能够为下游客户开发功能性新产品，有效解决客户对产品的功能性需求，获得客户的广泛认可，为我国半导体在内的集成电路制造业自主研发控制核心技术提供了不可或缺的前提条件和支持。谈及技术突破过程中，姚总表示，满足下游产业不断提出的更高要求，对于如江化微一样的供应商而言需要的是对更高标准的检测技术的掌握，这当中有来自于安捷伦这样的公司提供的帮助。“比如为应对 G4 或者 G5 标准，进入到中高端制程与之匹配的 ICP-MS/MS 等高端仪器都是必不可少的。在一些中高端芯片制程当中我们提供的数据不能不准确，必须是非常严谨的，因为某些元素超标就可能影响到芯片的性能，特别是一些电性能这方面受到一些元素的影响，哪怕是很微不足道的 PPT 级的对它也会有影响，这就对我们的合作伙伴像安捷伦科技这样的分析仪器制造企业提出了挑战，经过时间的考验安捷伦无疑提交了令人满意的答卷，无论是检测相对低要求的服务了超过 20 年经久耐用的 7500 ICP-MS 系列还是应对高要求的不断创新研发解决问题的 8800 ICP-MS/MS 和 8900 ICP-MS/MS。与江化微有着一样不断满足客户需求不断突破自我的信念的企业才是研发生产路上最好的合作伙伴。”安捷伦代表与江化微领导在第二届半导体湿电子化学与电子气体论坛合影（从左至右：安捷伦科技化学分析市场经理王海鉴 江化微副总经理姚玮先生 安捷伦科技材料行业市场经理冯旭）在国家政策支持下，包括江阴江化微电子材料股份有限公司在内的中国科技企业不断总结经验教训潜心研发攻克技术难题，以技术为先导，自主研发、与客户共同研发及“产学研用”相结合，不断实现产品的升级换代；以服务为依托，秉持“为客户提供价值”及“同客户共同成长”的理念，逐步增强综合配套服务能力，致力于成为国际电子化学品研发的引领者和高端配套服务提供商，助力下游产业中国客户技术革新科技强国，相信“技”高一筹指日可待！期待机遇无限的未来作为处在市场前景光明的高端化学品行业，江化微也观察到随着国家政策战略以及资金支持、国内高科技产业不断升级、技术逐渐成熟等背景下，传统的化工企业也在不断寻求产品升级转型的机会。有着丰富行业经验的姚总分享了几点宝贵经验，“首先企业自身要有一支专业性的管理团队、技术团队，要熟悉行业未来发展的方向、确定自身的产品等级、去服务这个行业当中的哪些客户群。与之对应的，产品技术来源、专利技术等等需要工业设备要去配套支持。其次，及时转变与之适应的管理体系。积极与比较先进的客户群沟通学习，包括芯片厂各项的管理、对产品品质的管控，要从用户角度去转变我们的观念与思路，来适应用户越来越高的要求，才能够尽快得到客户群的认可。最后是做产品，产品的装备升级、对应的包括检测的仪器升级、检测方法的提升与建立完善等，也是非常关键的转变。”“大家都知道中国国内的市场非常庞大，中国可以带动世界的经济占比都是比较高的，特别是这两年，包括人才的回流，市场本身又在国内，可以说国内半导体的发展和繁荣已到了天时、地利、人和的阶段，这是我对半导体行业的展望。应该讲，未来是有可超过十年以上的繁荣期和发展。与此对应的，我们处在整个材料行业当中提供材料包括设备的子行业，与我们配套的检测器材行业比如安捷伦，所提供的包括检测设备、解决方案这一块，相辅相成一同来发展，应该是比较好的前景。”谈及行业未来发展，姚玮这样评价。关于江阴江化微电子材料股份有限公司江阴江化微电子材料股份有限公司，是无锡科技领军企业、国家高新技术企业，专业生产适用于半导体（TR、IC）、晶体硅太阳能（solar PV）、FPD平板显示（TFT-LCD、CF、TP、OLED、PDP等）以及LED、硅片、锂电池、光磁等工艺制造过程中的专用湿电子化学品——超净高纯试剂、光刻胶配套试剂的专业制造商，是目前国内生产规模大、品种齐全、配套完善的湿电子化学品专业服务提供商。关于安捷伦科技安捷伦科技公司（纽约证交所：A）是生命科学、诊断和应用化学市场领域的全球领导者，致力于提供敏锐洞察与创新，帮助提高生活质量。我们的仪器、软件、服务、解决方案和专家能够为客户最具挑战性的难题提供更可靠的答案。在2020财年，安捷伦的营业收入为53.4亿美元，全球员工数为16400人。

国务院关于加快发展战略性新兴产业政策的出台，是为抢占世界经济新发展而制定的重大举措，这将影响我国产业经济未来数十年的走向与发展。其中新材料、新能源、新信息技术等产业已成为领衔发展的排头兵，与此同时&ldquo 2011年中国（广州）国际电子化学品展&rdquo 将率先拉开我国电子化学品挥斥方遒的序幕。此次会议于9月1-3日在广州· 广交会琶洲展馆召开。会上研发部经理王宛应邀介绍了公司及产品情况，汇报了博纳艾杰尔在国家电子行业做出的一些成绩。 会议现场 广州办事处经理王文书与行业协会刘良炎秘书长合影