光栅干涉光谱仪

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光栅干涉光谱仪相关的厂商

  • 联合光科技(北京)有限公司
    联合光科技(北京)有限公司创立于2016年, 由国内多家知名光学企业联手创办, 致力于为用户提供优质激光光学元件、工业成像镜头、进口高精度光学检测系统和快捷、专业的解决方案。我们的产品涵盖了大多数光学领域，包括元件类，机械类，光学检测服务，光学冷加工及镀膜，并提供光学产品的定制服务，在高功率激光和特殊镀膜应用尤为突出。总部位于北京，在深圳和香港设有分公司，在济南、上海设有办事处，并且在长春，锦州，昆明和重庆设有工厂。为了将更好的产品提供给用户，我们在北京建立了先进的检测实验室和较完善的检测体系，并且采用国际知名品牌检测仪器。 主要产品：l 光学元件（标准光学镜片、高功率激光窗口镜片、定制光学元件、偏振元件）l 英国ULO CO2红外光学材料、镜片、光学器件l 光机械部件（压电电控平台，光学防震桌，光学调整架，手动位移台，光机组件，光桥系统）l 全系列高品质工业成像镜头（定焦/远心/线扫/变焦变倍/特殊定制镜头）、照明光源l 光学测量仪器? 德国MarOpto- 轮廓仪、干涉仪（倾斜波干涉仪、斐索干涉仪、动态干涉仪、干涉测量软件、断面检测、表面检测）? 德国Dioptic- ARGOS 表面疵病检测仪、光纤端面缺陷检测? 日本壶坂Tsubosaka-镜头/相机鬼影、杂散光测试系统；可调色温、亮度光源；镜头焦点偏差、光圈、闪光灯、快门测量、手机防抖测试系统；太阳灯? 美国 Bristol- 非接触式测厚仪? 美国Optometrics- 衍射光栅、分光器件、线栅偏振片、Minichrom? 单色仪等? 德国Artifex-光功率计、跨阻抗放大器、门控积分放大器、LIV激光二极管和LED特性测试系统、积分球、激光二极管驱动器? 波兰inframet-可见光电视相机测试系统（TVT）、红外热像仪测试系统（DT、LAFT、SAFT）、夜视仪测试系统（NVT、NVS、NVB）、激光测距机测试系统（LT、LTF、LTE）、二代像管像增强器测试系统（ITS-I、ITS-P、ITS-R）、条纹管测试系统（SPT、STT）、多传感器测试系统（JT、MS）、被动式THz成像仪测试系统（THP）、短波成像仪测试系统（ST）、紫外成像仪测试系统（UT）以及红外热像仪计算机模拟器（Simterm）等? 美国Headwall -高光谱成像、拉曼光谱仪、衍射光学元件? 其他-SPF防晒指数测试仪；大气测量辐射计/光度计；Mini-Chrom单色仪；激光二极管测试分析系统；积分球；激光功率探测器；光伏测试太阳模拟器；固态光电倍增管等等
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  • 天津市拓普仪器有限公司（天津市光学仪器厂） 金牌22年
    400-860-5168转0185
    天津市拓普仪器有限公司（原天津市光学仪器厂）成立于2002 年，现坐落于天津市津南区双港工业园区丽港园内， 是一家专门从事光谱分析仪器、物理实验科学仪器、建筑玻璃节能检测仪器的研究、开发、生产和销售的高新技术企业。 一直以来，公司以市场为导向，以客户的需求为研发思路，坚持技术创新。拓普仪器拥有专业的研发团队，拥有众多知识产权和专利，多个产品荣获科技进步奖项。拓普仪器拥有完善的管理体系，通过了ISO9001国际质量管理体系认证。2003年10月成功发射的神舟五号和2005年10月成功发射的神舟六号首次载人航天飞船飞行中都有我们的产品，并获得了“中国空间技术研究院”的嘉奖。拓普仪器主要产品有：TJ270-30A红外分光光度计（国家药典型号TJ270-30升级型）、FTIR920傅立叶变换红外光谱仪、TP720紫外可见近红外光谱仪（可实现紫外-可见-近红外全波段连续扫描）、光栅光谱仪及单色仪、迈克尔逊干涉仪、压电陶瓷干涉测量实验仪、偏振光实验装置、 椭圆偏振测厚仪、半导体泵浦激光原理实验装置、光纤信息与光通信实验系统、全息照相实验、光电综合实验、信息光学实验、光学平台及导轨等多项自主研发的产品。拓普仪器产品遍布全国百余所重点及普通高等院校、全国各地药检所及药厂、各个科研机构，产品深受客户的认可和好评。拓普人持诚信为本，我们将以稳定可靠的产品赢得您的信任！
    主营产品： 压片机   光学测量仪   脆碎度  
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  • 深圳市激埃特光电有限公司厂家
    深圳市激埃特光电有限公司,专业生产各种滤光片,滤色片:红外滤光片,窄带滤光片,彩色滤光片,带通滤光片,干涉滤光片,红外截止滤光片,偏振镜,衰减片(中性密度滤光片),长波通滤光片,短波通滤光片,隐形玻璃,人脸识别滤光片,虹膜识别滤光片,安防监控滤光片,反射镜,分光镜,隔热片,负性滤光片,RGB色片,光栅,来料镀膜,IR-CUT等专业的光学镜片、光学滤光片厂家、滤光片生产厂家.地处物流四通八达，供应资源丰富，技术及市场活跃，生产及加工高效率的深圳市龙岗区宝龙工业城深长岗科技园区内。酒店式工厂环境，激埃特是家精密光学滤光片及精密光学镜片生产厂家，拥有多台先进光学真空镀膜机，以及全套相关检测仪器和装置，采用先进电子枪蒸发离子辅助沉积多层薄膜技术（IAD），专注于光电器件及光学仪器滤光片的应用和开发。 公司产品批量应用于考勤机（手纹，掌纹，静脉及人脸识别），安防监控系统，防伪识别系统，智能灯具，卫橱感应器系统，舞台灯光及激光演示系统，投影光学器件，激光器件以及生化医疗光学器件。 公司人性化管理，注重人才，技术创新，为全体员工提供再学习深造机会，不断提升员工福利，注重员工工作环境改进，关心员工生活。 激埃特以追求质量，客户满意为宗旨,率先通过ISO9001:2008质量管理体系认证,产品通过SGS认证,符合ROHS指标要求.,对客户平等对待,合作创新,互惠互利,价格适宜,交期快捷,品质稳定,服务周到,竭诚为天下客户提供高质量的精密光学滤光片产品.公司的主要产品有：窄带滤光片带通滤光片长波通滤光片短波通滤光片红外滤光片反射镜增透膜偏振镜分光镜合光镜色片负性滤光片中性密度衰减片光学玻璃平面光栅OED光学镀膜代加工
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光栅干涉光谱仪相关的仪器

  • 干涉滤光片 400-628-5299
    A. JSL系列窄带干涉滤光片JSL系列,窄带干涉滤光片（Narrow Bandpass Interference Filters）选型表型号名称中心波长(nm)半宽FWHM(nm)峰值透射率(%)JSL394-25窄带干涉滤光片3941530JSL400-25窄带干涉滤光片4001530JSL420-25窄带干涉滤光片4201530JSL440-25窄带干涉滤光片4401530JSL460-25窄带干涉滤光片4601530JSL480-25窄带干涉滤光片4801530JSL500-25窄带干涉滤光片5001530JSL520-25窄带干涉滤光片5201530JSL526-25窄带干涉滤光片5261530JSL540-25窄带干涉滤光片5401530JSL560-25窄带干涉滤光片5601530JSL580-25窄带干涉滤光片5801530JSL589-50窄带干涉滤光片5891530JSL600-25窄带干涉滤光片6001530JSL620-25窄带干涉滤光片6201530JSL620-50窄带干涉滤光片6201530JSL640-25窄带干涉滤光片6401530JSL660-25窄带干涉滤光片6601530JSL670-50窄带干涉滤光片6701530JSL680-25窄带干涉滤光片6801530JSL700-25窄带干涉滤光片7001530JSL750-25窄带干涉滤光片7501530B. 美国CVI Melles Griot窄带干涉滤光片 相关参数： 选型表：C.美国Andover滤光片 美国Andover公司提供种类非常丰富的窄带和带通滤光片，被广泛应用于各种领域，如：基本激光谱线研究领域、汞灯特征谱线研究领域、生物医学及光谱分析学领域。Andover的滤光片，具有其专利技术，可防止波长随时间的漂移，每个滤光片都配有一个密封铝框，能有效的防碎，防划伤和防潮。主要参数: 1.直径公差：+0/-0.25mm 2.封装： 氧化黑铝合金外框 3.主要尺寸：&Phi 12.5mm，&Phi 25mm，&Phi 50mm （及&Phi 9mm，&Phi 21mm，&Phi 45mm） 4.波长范围：194nm～1550nm 谱线类型： Andover的滤光片，有多种谱线类型，请参看下表，也请在选型时注意相应的谱线类型(MDM=Metal-Dielectric-Metal)：选型表（部分产品）表1：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）193FS15-12.5193FS15-25193FS15-50193.0± 3.515± 37124200FS10-12.5200FS10-25200FS10-50200.0+3/-010± 27124214FS10-12.5214FS10-25214FS10-50214.0+3/-010± 27124214FS22-12.5214FS22-25214FS22-50214.0± 322± 48204220FS10-12.5220FS10-25220FS10-50220.0+3-010± 27124228FS10-12.5228FS10-25228FS10-50228.0+3-010± 27154228FS25-12.5228FS25-25228FS25-50228.0± 325± 58204232FS10-12.5232FS10-25232FS10-50232.0+3/-010± 27154239FS10-12.5239FS10-25239FS10-50239.0+3-010± 27154239FS25-12.5239FS25-25239FS25-50239.0± 325± 58204248FS10-12.5248FS10-25248FS10-50248.0+3-010± 27124250FS10-12.5250FS10-25250FS10-50250.0+3-010± 27124254FS10-12.5254FS10-25254FS10-50253.7+3-010± 27124254FS25-12.5254FS25-25254FS25-50253.7± 325± 58184260FS10-12.5260FS10-25260FS10-50260.0+3/-010± 27124265FS10-12.5265FS10-25265FS10-50265.0+3/-010± 27124265FS25-12.5265FS25-25265FS25-50265.0± 325± 58204270FS10-12.5270FS10-25270FS10-50270.0+3/-010± 27124280FS10-12.5280FS10-25280FS10-50280.0+3/-010± 27124280FS25-12.5280FS25-25280FS25-50280.0± 325± 58204289FS10-12.5289FS10-25289FS10-50289.0+3-010± 27154297FS10-12.5297FS10-25297FS10-50296.7+3/-010± 27154300FS10-12.5300FS10-25300FS10-50300.0+3/-010± 27154300FS25-12.5300FS25-25300FS25-50300.0± 325± 58204307FS10-12.5307FS10-25307FS10-50307.1+3/-010± 27154307FS25-12.5307FS25-25307FS25-50307.1± 325± 58204310FS10-12.5310FS10-25310FS10-50310.0+3-010± 27154313FS10-12.5313FS10-25313FS10-50313.0+3/-010± 27154313FS25-12.5313FS25-25313FS25-50313.0± 325± 58204320FS10-12.5320FS10-25320FS10-50320.0+3/-010± 23258326FS03-12.5326FS03-25326FS03-50326.1+0.5/-03± 0.52158326FS10-12.5326FS10-25326FS10-50326.1+2/-010± 23258326FS25-12.5326FS25-25326FS25-50326.1± 325± 53258330FS10-12.5330FS10-25330FS10-50330.0+3/-010± 23258334FS10-12.5334FS10-25334FS10-50334.0+2/-010± 23258337FS03-12.5337FS03-25337FS03-50337.1+0.5/-03± 0.52207337FS10-12.5337FS10-25337FS10-50337.1+2/-010± 23257340FS08-12.5340FS08-25340FS08-50340.0+2/-08± 23357340FS10-12.5340FS10-25340FS10-50340.0+3/-010± 23257选型表（部分产品）表2：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）340FS25-12.5340FS25-25340FS25-50340.0± 325± 53257350FS10-12.5350FS10-25350FS10-50350.0+3/-010± 23257350FS25-12.5350FS25-25350FS25-50350.0± 325± 53257350FS40-12.5350FS40-25350FS40-50350.0± 540± 83257355FS10-12.5355FS10-25355FS10-50355.0+2/-010± 23257360FS10-12.5360FS10-25360FS10-50360.0+3/-010± 23257365FS05-12.5365FS05-25365FS05-50365.0+1/-05± 12207365FS10-12.5365FS10-25365FS10-50365.0+2/-010± 23257365FS25-12.5365FS25-25365FS25-50365.0± 325± 53257370FS10-12.5370FS10-25370FS10-50370.0+3/-010± 23257380FS10-12.5380FS10-25380FS10-50380.0+3/-010± 23257390FS10-12.5390FS10-25390FS10-50390.0+3/-010± 23407400FS10-12.5400FS10-25400FS10-50400.0+3/-010± 23457400FS20-12.5400FS20-25400FS20-50400.0± 220± 43457400FS40-12.5400FS40-25400FS40-50400.0+10/-040± 83457405FS05-12.5405FS05-25405FS05-50404.7+1/-05± 12357405FS10-12.5405FS10-25405FS10-50404.7+2/-010± 23457410FS10-12.5410FS10-25410FS10-50410.0+3/-010± 23457415FS10-12.5415FS10-25415FS10-50415.0+2/-010± 23457420FS10-12.5420FS10-25420FS10-50420.0+3/-010± 23457430FS10-12.5430FS10-25430FS10-50430.0+3/-010± 23457436FS05-12.5436FS05-25436FS05-50435.8+1/-05± 12457436FS10-12.5436FS10-25436FS10-50435.8+2/-010± 23457440FS10-12.5440FS10-25440FS10-50440.0+3/-010± 23457442FS02-12.5442FS02-25442FS02-50441.6+0.2/-01± 0.22358.5442FS03-12.5442FS03-25442FS03-50441.6+0.5/-03± .52408.5442FS10-12.5442FS10-25442FS10-50441.6+2/-010± 23457450FS10-12.5450FS10-25450FS10-50450.0+3/-010± 23457450FS20-12.5450FS20-25450FS20-50450.0± 220± 43557450FS40-12.5450FS40-25450FS40-50450.0+10/-040± 83557456FS10-12.5456FS10-25456FS10-50455.5+2/-010± 23507458FS02-12.5458FS02-25458FS02-50457.9+0.2/-01± 0.22408.5458FS03-12.5458FS03-25458FS03-50457.9+0.5/-03± 0.52458.5458FS10-12.5458FS10-25458FS10-50457.9+2/-010± 23507460FS10-12.5460FS10-25460FS10-50460.0+3/-010± 23507470FS10-12.5470FS10-25470FS10-50470.0+3/-010± 23507480FS10-12.5480FS10-25480FS10-50480.0+3/-010± 23507486FS10-12.5486FS10-25486FS10-50486.1+2/-010± 23507488FS02-12.5488FS02-25488FS02-50488.0+0.2/-01± 0.22458.5选型表（部分产品）表3直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）488FS03-12.5488FS03-25488FS03-50488.0+0.5/-03± .52508.5488FS10-12.5488FS10-25488FS10-50488.0+2/-010± 23557490FS10-12.5490FS10-25490FS10-50490.0+3/-010± 23557800FS10-12.5800FS10-25800FS10-50800.0+3/-010± 23507800FS20-12.5800FS20-25800FS20-50800.0± 220± 43507800FS40-12.5800FS40-25800FS40-50800.0+10/-040± 83507810FS10-12.5810FS10-25810FS10-50810.0+3/-010± 23507810FS20-12.5810FS20-25810FS20-50810.0± 220± 43507820FS10-12.5820FS10-25820FS10-50820.0+3/-010± 23507830FS10-12.5830FS10-25830FS10-50830.0+3/-010± 23507830FS20-12.5830FS20-25830FS20-50830.0± 220± 43507840FS10-12.5840FS10-25840FS10-50840.0+3/-010± 23507850FS10-12.5850FS10-25850FS10-50850.0+3/-010± 23507850FS20-12.5850FS20-25850FS20-50850.0 ± 220± 43507850FS40-12.5850FS40-25850FS40-50850.0+10/-040± 83507860FS10-12.5860FS10-25860FS10-50860.0+3/-010± 23507870FS10-12.5870FS10-25870FS10-50870.0+3/-010± 23507880FS10-12.5880FS10-25880FS10-50880.0+3/-010± 23507890FS10-12.5890FS10-25890FS10-50890.0+3/-010± 23507100FS10-12.5100FS10-25100FS10-501000.0+3/-010± 23458.5100FS20-12.5100FS20-25100FS20-501000.0± 220± 43458.5100FS40-12.5100FS40-25100FS40-501000.0+10/-040± 83458.5014FS10-12.5014FS10-25014FS10-501014.0+2/-010± 23458.5046FS10-12.5046FS10-25046FS10-501046.0+2/-010± 23458.5050FS10-12.5050FS10-25050FS10-501050.0+3/-09± 23458.5064FS02-12.5064FS02-25064FS02-501064.0+0.2/-.01± 0.22408.5064FS03-12.5064FS03-25064FS03-501064.0+0.5/-.03± .52458.5064FS10-12.5064FS10-25064FS10-501064.0+2/-010± 23408.5110FS10-12.5110FS10-25110FS10-501100.0+3/-010± 23408.5115FS10-12.5115FS10-25115FS10-501150.0+3/-010± 23408.5120FS10-12.5120FS10-25120FS10-501200.0+3/-010± 22358.5125FS10-12.5125FS10-25125FS10-501250.0+3/-010± 22358.5130FS10-12.5130FS10-25130FS10-501300.0+3/-010± 22358.5130FS20-12.5130FS20-25130FS20-501300.0± 320± 53358.5 备注：以上选型表中是Andover紫外和红外的常规滤光片， 可见光部分及其他种类滤光片，型号非常多，由于篇幅限制，不能全部列出，有需求可以联系我们。
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    厂商： 北京卓立汉光仪器有限公司
    品牌： 卓立汉光/ZOLIX
    型号： 各种型号
    价格： 面议
  • 多功能光栅光谱仪实验/ 透镜焦距测量实验/ 光的干涉和衍射实验/ 光的偏振实验/ 等厚干涉实验 400-860-5168转6044
    多功能光栅光谱仪实验装置，YTR-6308简介YTR-6308多功能光栅光谱仪是一款以光栅作为分光元件的光谱仪，其基本原理是当不同波长的光束以相同的入射角入射到光栅上时，不同波长的光束同一级衍射的主极大位置不同，从而达到分光的目的。其优点是具有较宽的光谱测量范围和较高的分辨率，综合性能突出，是目前使用最为广泛的光谱仪器。该光栅光谱仪专为物理实验教学开采用开放式的结构设计，学生可以直观的观看光谱仪的内部光路和结构。同时采用了光电倍增管和线阵式CCD作为光电传感器，既可以获得高分辨率光谱，也可以快速获得宽光谱。使学生更加充分理解和掌握光谱仪的工作原理。该仪器可以很好的使用在氢氘光谱实验，钠原子光谱等实验。特点对称式C-T光路结构，采用可视化的结构设计，帮助学生理解和掌握光谱仪结构组成和工作原理双光路设计，分别使用高品质光电倍增管和线阵CCD作为光电探测器，使得学生更能深入的理解和掌握探测器的性能和实验仪器优缺点和用途专业的光谱分析实验软件，包含：光谱测量、透过率测量、反射率测量、吸光度测量和色度学测量等多种实验模块（有些实验模块需要另配附件）实验内容热辐射光源光谱测定波长准确性的测定和修正氢原子光谱测定及里德堡常量测量吸收光谱的测量CCD测量的波长定标颜色测透过率测量吸光度测量浓度测量透镜焦距测量实验，YGP-6212简介YGP-6212透镜焦距测量实验学习的知识点有几何光学基本定律、透镜成像、显微镜、望远镜。几何光学是光学的重要分支之一，它的应用十分广泛，尤其是在设计光学仪器的光学系统等方面显得十分方便和实用。透镜作为光学仪器的基本元件，可以组建各种光学系统，在成像系统、图像摄取、遥感等领域中已经得到广泛应用。光学显微镜是一种常见的助视光学仪器，它对推动科技进步，尤其是生物学和医学，起到了重要作用；望远镜是另一种常见的助视光学仪器，它对天文学及物理学的发展起到了重要的推动作用。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中透镜焦距测量实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点器材丰富，可以组建各种光学系统；实验内容满足分层次教学要求；通过配置COMS相机及相应的软件，使实验既有鲜明的数字化特点，又保留了手动读数的特色实验内容a)基础内容用自准直法、位移法测量凸透镜焦距；物像距法测量凹透镜焦距。b)提升内容自准直法测量凹透镜焦距；光学成像系统共轴的粗、细调节；透镜成像的景深、成像位置判断与视差消除。c)进阶内容用薄透镜自组显微镜和望远镜；探究常用显微镜结构和性能参数。d)高阶内容观测凸透镜的球差和色差；观测显微成像系统的像散。光的干涉和衍射实验，YGP-6213简介光的干涉和衍射现象是波动光学的重要内容。光干涉现象曾经是奠定光波动性的基石，在波动光学中有重要的意义。而光衍射现象，则是光束传播中，几何光学无法解释的现象，是光波动性的主要标志之一。研究光的干涉和衍射不仅有助于进一步加深对光的波动性的理解，同时还有助于进一步学习近代光学实验技术，如光谱分析、晶体结构分析、全息照相、光信息处理等。本实验同时用单缝、多缝、圆孔、方孔等进行实验，能够明显地展现出衍射、干涉的特征，并利用光强分布探测器测量光强的相对分布，实时给出光强与位置的关系曲线，以及用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况，实现实验的数字化。特点采用光强分布探测器，无需扫描结构，实时测量光强一位置的分布曲线，响应时间最快可达毫秒级。利用光强分布探测器可以精确测量8级以上衍射条纹，位置测量精度可达0.01mm。利用面阵相机可以研究衍射图像的两维光强分布情况。一体化狭缝组设计，切换方便，易于实验。实验内容a) 基础内容 研究激光通过双缝后形成的干涉图案，测量双缝形成的干涉光强分布，说明干涉条纹的极大值位置与理论预见的一致性。 研究激光经过单缝后形成的衍射图案，测量单缝形成的衍射光强分布，说明衍射条纹的极小位置与理论预见的一致。b) 提升内容 研究激光通过多缝后形成的干涉图案，理解多缝衍射与多光束干涉的原理。c) 进阶内容 观察激光经过圆孔和方孔后的衍射现象，利用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况。d) 高阶内容 利用COMS相机研究激光经过多孔后形成的衍射图案，利用COMS相机研究衍射图像的两维光强的分布情况光的偏振实验，YGP-6214简介光的偏振现象是波动光学的重要内容。利用这种现象研制的各种光学元件和仪器，在探测物质结构、激光与光电子技术领域有着极其重要和广泛的应用。YGP-6214光的偏振实验装置主要包含：光传感器、转动传感器、激光光源、精密调节架、升降调节架、连接杆、托板和观察屏组成。该实验装置利用先进的传感器技术和智能软件，可以实现连续的数据采集和实时绘制实验数据曲线，极大的提升了实验效率，使学生将更多的精力用于实验本身的原理学习、数据分析和结果讨论上，更加能够透彻的学习、理解和掌握实验。特点无线光传感器，USB2.0和蓝牙通讯，3档可调，适用于不同强度光源的测量。无线转动传感器，USB2.0和蓝牙通讯，角分辨率0.18°。安全的激光光源。数字实验室分析软件，编辑性强，通用程度高。实验内容理解和掌握偏振片的基本原理，使用方法。理解和掌握激光器的偏振特性。通过研究和验证马吕斯定律，掌握光的起偏和检偏原理和方法。研究3片偏振片光强与偏振片角度的关系曲线，进一步掌握光的偏振特性。等厚干涉实验（含牛顿环实验），YGP-6215简介YGP-6215等厚干涉实验（含牛顿环实验）学习的知识点有牛顿环、等厚干涉、光程差、曲率半径。牛顿环和空气劈尖的等厚干涉原理在生产实践中具有广泛的应用，它可以用于检测透镜的曲率，测量光波的波长，精确的测量微小长度、厚度和角度，检验物体表面的光洁度、平整度等。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中牛顿环实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点开放的构架，可以让学生看到所用镜片的类型和位置。可以让学生练习搭建各种光学系统。配套有测微目镜与CMOS相机两种读数方式，即实现实验数字化的同时，保留了传统手动读数的方式。多种光源，更多的分立器件，便于师生开展各种探索研究，比如：同时观察透射和反射的牛顿环，波长测量等实验内容a)基础内容测定平凸球面透镜的球面半径。b)提升内容用劈尖干涉测量细丝直径。c)进阶内容测定平凹球面透镜的球面半径。d)高阶内容用透射和反射两种方法观察牛顿环，并测量绿光、紫光、黄光的波长。更多精彩，请关注下方！的P-tP
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    厂商： 忆玺智能科技(杭州)有限公司
    品牌： 忆玺智科/YIXIST
    型号： YTR-6308/YGP-6212/YGP-6213/YGP-6214/YGP-6215
    价格： 面议
  • 全光谱干涉仪 400-860-5168转3912
    武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪，入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域，比如时间/频率分辨荧光探测，相干拉曼光谱，泵浦探针，二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量，高灵敏度(1cm通光孔径，没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围：标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性（对两束复制光）自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑（176 x 44 x 54.5mm）轻便（≈400g）应用领域：干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置：GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前，可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼（受激拉曼散射）和泵浦探针光谱实验配置：GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方，可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！
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    厂商： 武汉东隆科技有限公司
    品牌： 未知
    型号： GEMINI
    价格： 面议
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  • 清华大学李星辉团队合作在超精密光栅干涉测量领域取得新进展
    近日，清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统，基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计，搭建三自由度位移测量系统，设计并优化外差信号相位检测算法，最终实现了亚纳米的测量分辨率和重复定位精度。这项工作将有效推动多自由度光栅精密定位技术的发展。多自由度精密定位技术在纳米计量、显微成像、精密机床、半导体制造等领域具有重要地位。以半导体制造为例，光刻机是半导体行业的“掌上明珠”，在先进制程的光刻机中，晶圆台需要亚纳米位移测量精度的六自由度超精密定位技术。当前光刻机常用激光干涉仪和光栅干涉仪对晶圆台进行多自由度超精密定位，然而激光干涉仪由于暴露在环境中的光路长、难以实现单测量点多自由度测量等限制，会引入环境噪声和阿贝误差，而以光栅栅距为测量基准的光栅干涉仪正成为光刻机晶圆台超精密定位的主流方法。（a）光刻机晶圆台中“四读数头—四光栅”的六自由度测量系统；（b）外差式三自由度光栅干涉仪基本原理针对光刻机等先进装备中的超精密定位需求，团队提出了一种新型的基于外差干涉原理的三自由度光栅干涉仪，可以实现亚纳米的测量分辨率和重复测量精度，并通过 “四读数头—四光栅”的晶圆台测量系统可以实现六自由度位移/角位移测量。该外差光栅干涉仪使用一束双频激光，通过二维反射型光栅的四束衍射光产生外差干涉，实现光栅在X/Y方向上的位移测量，通过光栅反射光与固定反射镜反射光产生外差干涉，实现光栅在Z方向上的位移测量，从而完成光栅ΔX、ΔY、ΔZ三自由位移测量。该方案创新地采用了二维反射型光栅，利于光路系统读数头的集成化和小型化，在未来应用中，可以将读数头和光栅分别安装于固定部件和运动部件上，来检测运动部件的位移，其相对于基于透射型光栅的测量方法具有更广的适用性。此外，研究团队提出并采用了自主设计的双频激光系统，相比于传统的基于塞曼效应的商用双频激光器，具备更大更稳定的频差，以及更强的激光功率，可以实现更高的光源稳定性和信噪比以及更大的外差频率，有利于提升系统的整体精度和测量速度。最终实验结果显示，该系统具备0.5 nm的分辨率，0.6 nm的重复定位精度和2.5×10-5的测量线性度。该研究提出的外差式三自由度光栅干涉测量方法有利于多自由度超精密定位技术的发展，同时对先进装备和精密仪器的发展具有指导意义，尤其是需要多轴超精密定位的纳米科学和技术。 （a）自主设计的双频激光系统；（b）外差式三自由度光栅干涉仪测量系统 （a）三轴分辨率测试结果；（b）三轴在10 nm和40 nm处的重复定位精度测试结果相关成果以“三自由度亚纳米测量反射型外差光栅干涉仪”（A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement）为题，在线发表在仪器仪表领域期刊《IEEE仪器与测量汇刊》（IEEE Transactions on Instrumentation & Measurement）上。论文第一作者为清华大学深圳国际研究生院2020级硕士生朱俊豪，清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授为通讯作者，国防科技大学为共同通讯作者单位。该研究工作得到了广东省基础与应用基础研究基金、国家自然科学基金、清华大学科研启动基金、湖南省自然科学基金、中国博士后科学基金等项目的支持。论文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/9913946/
    时间： 2023-02-23
    作者： 牛亚伟
  • 激光外差干涉技术在光刻机中的应用
    激光外差干涉技术在光刻机中的应用 张志平*，杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，上海 201203摘要 超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一，而基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。目前应用于光刻机的超精密位移测量系统主要有双频激光干涉仪和平面光栅测量系统两种，二者均以激光外差干涉技术为基础。本文将分别对这两种测量系统的原理、优缺点以及在光刻机中的典型应用进行阐述。关键词 光刻机；外差干涉；双频激光干涉仪；平面光栅1 引言集成电路产业是国家经济发展的战略性、基础性产业之一，而光刻机则被誉为集成电路产业皇冠上的明珠［1］。作为光刻机三大指标之一的套刻精度，是指芯片当中上下相邻两层电路图形的位置偏差。套刻精度必须小于特征图形的1/3，比如14 nm节点光刻机的套刻精度要求小于5.7 nm。影响套刻精度的重要因素是工件台的定位精度，而工件台定位精度确定的前提则是超精密位移测量反馈，因此超精密位移测量系统是光刻机不可或缺的关键分系统之一［2-4］。随着集成电路特征尺寸的不断减小，对位置测量精度的需求也不断提高；同时，为了满足光刻机产率不断提升的需要，掩模台扫描速度也在不断提高，甚至达到 3 m/s 以上；此外，为了满足大尺寸平板显示领域的需求，光刻机工件台的尺寸和行程越 来越大，最大已达到 1. 8 m×1. 5 m；最后，为了获得工件台和掩模台良好的同步性能，光刻机还要求位置测量系统具备多轴同步测量的功能，采样同步不确定性优于纳秒级别［5-8］。 综上，光刻机要求位置测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程、数米每秒测量速度、闭环反馈以及多轴同步等特性。目前，在精密测量领域能同时满足上述测量要求的，只有外差干涉测量技术。 本文分别介绍外差干涉测量技术原理及其两 种具体结构——双频激光干涉仪和平面光栅测量系统，以及外差干涉技术在光刻机中的典型应用。 2 外差干涉原理 2. 1 拍频现象 外差干涉又称为双频干涉或者交流干涉，是利用“拍频”现象，在单频干涉的基础上发展而来的一 种干涉测量技术。 假设两列波的方程为 x1 = A cos ω1 t ， （1） x2 = A cos ω2 t 。 （2） 叠加后可表示为（3）拍频定义为单位时间内合振动振幅强弱变化 的次数，即 v =| (ω2 - ω1)/2π |=| v 2 - v 1 | 。 （4） 波 x1、x2 以及合成后的波 x 如图 1 所示，其中包 络线的频率即为拍频，也称为外差频率。如果其中一个正弦波的相位发生变化，拍频信号的相位会发生完全相同的变化，即外差拍频信号将完整保留原始信号的相位信息。 图 1. 拍频示意图Fig. 1. Beat frequency diagram对于激光而言，因为频率很高（通常为 1014 Hz 量级），目前的光电探测器无法响应，但可以探测到两束频率相近的激光产生的拍频（几兆到几十兆赫兹）。因此拍频被应用到激光领域，发展成激光外差干涉技术。2. 2 外差干涉技术 由拍频原理可知 ，所谓外差就是将要接收的信号调制在一个已知频率信号上，在接收端再将该调制信号进行解调。由于高频率的激光信号相位变化难以精确测量，但利用外差干涉技术可以用低频拍频信号把高频信号的 相位变化解调出来，将大大降低后续精确鉴相的难度。因此，外差技术最显著的特点就是信号以交流的方式进行传输和处理。 与单频干涉技术相比，外差干涉技术的突出优点是：1）由于被测对象的相位信息是加载在稳定的差频（通常几兆到几十兆赫兹）上，因此光电探测时避过了低频噪声区，提高了光电信号的信噪比。例如在外界干扰下，测量光束光强衰减 50% 时，单频干涉仪很难正常工作，而外差干涉仪在光强衰减 90% 时仍能正常工作 ，因此更适用于工业现场 。 2）外差干涉可以根据差频信号的增减直接判别运动方向，而单频干涉技术则需要复杂的鉴相系统来 判别运动方向。单频干涉技术与外差干涉技术对比如表 1 所示。表 1. 单频干涉技术与外差干涉技术对比Table 1. Comparison between homodyne interferometry and heterodyne interferometry3双频激光干涉仪 3. 1 双频激光干涉仪原理 双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展起来的，其原理如图 2 所 示。双频激光器发出两列偏振态正交的具有不同频率的线偏振光，经过偏振分光器后光束被分离。 图 2. 双频激光干涉仪原理图Fig. 2. Schematic diagram of dual frequency laser interferometer设两束激光的波动方程为 E1 = E R1 cos ( 2πf1 t ) E2 = E R2 cos ( 2πf2 t ) ， （5） 式中：ER1和 ER2为振幅；f1和 f2为频率。 偏振态平行于纸面的频率为 f1 的光束透过干涉仪后，被目标镜反射回干涉仪。当被测目标镜移动时，产生多普勒效应，返回光束的频率变为 f1 ± Δf， Δf 为多普勒偏移量，它包含被测目标镜的位移信息。经过干涉镜后，与频率为 f2 的参考光束会合，会合后光束发生拍频，其光强 IM函数为 （6） 式（6）包含一个直流量和一个交流量，经光电探测器转换为电信号，再进行放大整形后，去除直流量，将交 流量转换为一组频率为 f1 ± Δf- f2的脉冲信号。从双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的脉冲信 号，作为后续电路处理的基准信号。测试板卡采用减法器通过对两列信号的相减，得到由于被测目标 镜的位移引起的多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为 （7） 式中：λ 为激光的波长；N 为干涉的条纹数。因此， 只要测得条纹数，就可以计算出被测物体的位移。 3. 2 系统误差分析 双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差以及环境误差，如表 2 所示。 三种误差中，仪器误差可控制在 2 nm 以内；几何误 差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测量区域的环境参数（温度、压 力、湿度等）有关，与量程几乎成正比，因此大量程测量时，需要对环境参数进行控制。 表 2. 双频激光干涉仪系统误差分解Table 2. System error of dual frequency laser interferometer4 平面光栅测量系统 双频激光干涉仪在大量程测量时，精度容易受 温度、压力、湿度等环境因素影响，研究者们同样基于外差干涉原理研发了平面光栅测量系统，可克服双频激光干涉仪的这一缺点。 4. 1 基于外差干涉的光栅测量原理 众所周知 ，常规的光栅测量是基于叠栅条纹的，具有信号对比度差、精度不高的缺点。基于外差干涉的光栅测量原理如图 3 所示，双频激光器发出频率 f1 和 f2 的线偏振光，垂直入射到被测光栅表面，分别进行+1 级和−1 级衍射，衍射光经过角锥反射镜后再次入射至被测光栅表面进行二次衍射， 然后会合并沿垂直于光栅表面的方向返回。由于被测光栅与光栅干涉仪发生了相对运动，因此，返回的激光频率变成了 f1 ± Δf和 f2 ∓ Δf，其中 Δf为多 普勒频移量，它包含被测目标镜的位移信息。 图 3. 基于外差干涉的光栅测量原理Fig. 3. Principle of grating measurement based on heterodyne interference会合后的光束 f1 ± Δf 和 f2 ∓ Δf 发生拍频，其频率为 ( f1 ± Δf ) - ( f2 ∓ Δf ) = ( f1 - f2 ) ± 2Δf。（8） 式（8）的信号与双频激光器中输出频率为 f1 - f2 的 参考信号相减，得到多普勒频移 Δf。被测目标镜的位移 L 与 Δf的关系可表示为（9） 式中 ：p 为光栅的栅距 ；N 为干涉的条纹数 。 因此，只要测得条纹数 ，就可以计算出被测物体的位移。 上述原理推导是基于一维光栅刻线的，只能测量一维运动。为了获得二维测量，只需将光栅的刻线由一维变成二维（即平面）即可。 4. 2 两种测量系统优缺点对比 由此可知，基于外差干涉的光栅测量原理与双频激光干涉仪几乎完全相同，主要的差别是被测对象由反射镜换成了衍射光栅。两种测量系统的优缺点如表 3 所示。表 3. 双频激光干涉仪与光栅测量系统对比Table 3. Dual frequency laser interferometer versus gratingmeasurement system5外差干涉测量在光刻机中的应用 发展至今，面向 28 nm 及以下技术节点的步进扫描投影式光刻机已成为集成电路制造的主流光刻机。作为光刻机的核心子系统之一的超精密工件台和掩模台，直接影响着光刻机的关键尺寸、套刻精度、产率等指标。而工件台和掩模台要求具有高速、高加速度、大行程、超精密、六自由度（x、y 大 行程平动，z 微小平动，θx、θy、θz微小转动）等运动特点，而实现这些运动特点的前提是超精密位移测量反馈。因此，基于外差干涉技术的超精密位移测量子系统已经成为光刻机不可或缺的组成部分。 4. 光刻机中的多轴双频激光干涉仪［10］Fig. 4. Multi-axis dual frequency laser interferometer in lithography machine[10]图 4 为典型的基于多轴双频激光干涉仪的光刻机工件台系统测量方案［10］，在掩模台和硅片台的侧面布置多个多轴激光干涉仪，对应地在掩模台和硅 片台上安装长反射镜；通过多个激光干涉仪的读数解算出掩模台和硅片台的六自由度位移。 然而，随着测量精度、测量行程、测量速度等运动指标的不断提高，双频激光干涉仪由于测量精度易受环境影响、长反射镜增加运动台质量致使动态性能差等问题难以满足日益提升的测量需求。因 此，同样基于外差干涉技术的平面光栅测量系统成为了另一种选择［8］。 光刻机工件台平面光栅测量技术首先由世界光刻机制造巨头 ASML 公司取得突破。该公司于 2008 年 推 出 的 Twinscan NXT：1950i 浸 没 式 光 刻机，采用了平面光栅测量技术对 2 个工件台的六自 由度位置进行精密测量。如图 5 所示，该方案在主基板的下方布置 8 块大面积高精度平面光 栅（约 400 mm×400 mm），在两个工件台上分别布置 4 个 平面光栅读数头（光栅干涉仪），当工件台相对于平 面光栅运动时，平面光栅读数头即可测出工件台的 运动位移［2，5，9］。图 5. ASML 光刻机的平面光栅测量方案［2，5，9］Fig. 5. Plane grating measurement scheme of ASML lithography machine[2,5,9]相比多轴双频激光干涉仪测量方案，平面光栅测量方案具有以下优点：1）测量光路短（通常小于 20 mm），因此测量重复精度和稳定性对环境变化不 敏感；2）工件台上无需长反射镜，因此质量更轻、动态性能更好。 然而，平面光栅测量方案也有其缺点：1）大面积高精度光栅制造难度太大；2）由式（9）可知，位移 测量结果以栅距 p 为基准，然而受栅距均匀性限制， 测量绝对精度不高。为了获得较好的精度和线性度，往往需要利用双频激光干涉仪进行标定。 面临极端测量需求的挑战 ，Nikon 公 司 在 NSR620D 光刻机中采用了平面光栅和双频激光干涉仪混合测量的技术方案［9］，如图 6 所示。该方案 将平面光栅安装在工件台上表面，而将光栅读数头安装在主基板下表面，同时增加了双频激光干涉仪，结合了平面光栅测量系统和双频激光干涉仪的 优点。在读头与读头切换时采用双频激光干涉仪进行在线校准。 图 6. Nikon光刻机混合测量方案［9］Fig. 6. Hybrid measurement scheme of Nikon lithography machine [9]6激光外差干涉系统的发展趋势 无论是双频激光干涉仪还是平面光栅测量系统，要想获得纳米级测量精度，既需要提高测量系统本身的精度，更需要从使用的角度努力，即“三分 靠做，七分靠用”。 就激光外差干涉测量系统本身而言，误差源主要来自于光学非线性误差。在外差干涉测量系统 中，由于光源及光路传输过程各光学器件性能不理想或装调有偏差，会带来两个频率的光混叠现象， 即原本作为测量信号频率 f1（或 f2）的光中混杂了频 率 f2（或 f1）的光，或原本作为参考信号频率 f2（或 f1） 的光中混杂了频率 f1（或 f2）的光。在信号处理中该混叠的频率信号会产生周期性的光学非线性误差。尽管目前主流的双频激光干涉仪厂家已经将非线性误差控制在 2 nm 以内［10- 12］，但应用于 28 nm 以下光刻机时仍然需要进一步控制该误差。国内外众多学者从非线性误差来源、检测和补偿等角度出发，进行了大量研究并取得了丰硕成果［13- 17］。这些成果有望对非线性误差的动态补偿提供理论支持。 从应用角度，研究热点主要集中在应用拓展、 安装误差及其测校算法、环境参数控制及其补偿方法研究等方面。在应用拓展方面，激光外差干涉技术除了应用于测长之外，还在小角度测量、直线度、平面度、反馈测量等方面取得了应用［18- 20］。在安装误差和环境误差补偿算法方面，主要聚焦于多自由度解耦算法、大气扰动补偿等研究方向［4，21- 27］。 7 总结 阐述了光刻机对位移测量系统大量程、亚纳米 分辨率、纳米精度、高测速及多轴同步的苛刻要求。 概述了激光外差干涉技术原理，指出目前为止，激光外差干涉技术是唯一能满足光刻机上述要求的超精密位移测量技术。并综述了两种基于激光外差干涉技术的测量系统：双频激光干涉仪和平面光栅测量系统。总结了这两种位移测量系统在光刻机中的典型应用，以及激光外差干涉技术的当前研究热点和发展趋势。全文详见：激光外差干涉技术在光刻机中的应用.pdf
    时间： 2022-06-13
    作者： 牛亚伟
  • 浅谈激光干涉技术及应用现状
    激光干涉技术主要应用光波的空间相干特性。具体而言，对于两束光波或电磁波等横波，当波长相等、且相位差为2π整数倍时，合成波的振幅叠加增强至最大；当相位差为π奇数倍时，合成波的振幅抵消减小至最小。早在十九世纪下半叶，科学家们就已发明了多种原理干涉结构装置用于科学研究，其中最著名的是迈克尔逊-莫雷干涉试验，该实验采用钠光源平均谱线近似单色光进行干涉测量，从而否定了“以太”的假说。图1 迈克尔逊-莫雷干涉试验激光干涉仪的构成真正促进干涉技术巨大进步的契机是1960年激光器的发明。激光由于具有极窄的谱线，因而具有非常优秀的空间相干性。目前激光干涉仪主要的用途包括精准的尺寸和移动距离测量，测量准确度最高可以达到纳米甚至亚纳米量级。在构成上激光干涉仪最常使用的波长为632.8 nm，对于经典的迈克尔逊干涉测量原理，由激光器中出射的单色激光经过50:50半透半反的分束镜后分为2束光束，其中一束经过固定的光程后被反射镜反射，称为参考光束；另外一束光束由于存在被测对象，被反射镜反射后光程发生改变(距离或折射率变化引起)，称为测量光束。当两束光被反射后在分束镜第二次合成并随后照射探测器上被接收后，将产生干涉条纹的移动。由之前的光波的叠加性可知，假设测量光路距离变化为316.4 nm，当只存在一去程一回程的情况下，此时干涉条纹相位变化2π。目前商用激光干涉仪普遍采用两去程两回程，同时采用1024倍电子细分卡，因此分辨率可达0.16 nm。图2 激光干涉仪原理构造激光干涉仪的应用现状1. 在工业领域应用随着理论研究的深入和技术的不断进步，激光干涉测量技术目前精彩纷呈，在多个领域中都得到了非常广泛的应用。 包括单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、激光平面干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、皮米激光干涉仪、多波长干涉测距等。 单频和双频激光干涉仪。测量具有非接触和无损检测的特点，能够在线测量长度、角度和转速等参数，因此已成为各国精密数控机床在线定位精度测量的最主要标准之一。在精密加工过程中，位置精度是机床的重要指标，激光干涉仪通过在线位置测量、实时数据处理实现机床误差修正。另外在集成电路制造中，激光干涉仪也是光刻机在线位移测量的核心部件。图3 激光干涉仪在精密机床中的应用激光平面干涉仪。激光干涉仪不仅可以用于测量长度、角度以及位移，也可以测量物体的表面形貌。测量基本原理为激光菲索(Fizeau)干涉，激光经过扩束后先后经过参考平面和待测平面，两个平面的反射光发生干涉后产生干涉条纹，通过成像系统接收。分析条纹形状即可判断是否存在缺陷。图4 激光平面干涉仪皮米激光干涉仪。现在随着微纳测量分辨率要求的进一步提高，出现了商品化的皮米激光干涉仪。皮米激光干涉仪采用包覆光纤作为激光传输介质，有效减小了空气折射率扰动对测量的影响；同时在干涉方式上干涉仪采用法布里-珀罗(F-P)干涉仪原理，是一种多倍程干涉，进一步提高了分辨率。 图5 皮米激光干涉仪多波长干涉绝对测距。采用单波长干涉测距虽然分辨率可达到纳米级，但是单波长干涉测距是相对测量，且测量时光路不能中断，而多波长干涉能很好解决这个问题。因为在干涉测距中波长就像一把量尺，但如果测量距离大于这把量尺，则需要多次拼接测量。多波长干涉能形成很长的等效波长，使量尺范围大于被测距离，实现绝对距离测量。图6 多波长干涉绝对测距光相控阵雷达。随着自动驾驶技术的高速发展，现在激光干涉技术也应用在光相控阵(OPA)激光雷达(LiDAR)中。激光雷达会产生一系列密集超短激光脉冲扫描周围物体，通过脉冲返回时长差判断距离和轮廓。光相控阵雷达利用光栅干涉原理，可以通过改变不同狭缝中入射光线的相位差来改变光栅后中央条纹(主瓣)位置，从而控制激光雷达光束的指向和转向。 图7 激光干涉技术在光相控阵雷达中的应用2. 在科学研究方面应用激光干涉引力波天文台(LIGO)。LIGO用于验证广义相对论预言的引力场扰动产生的时空扭曲。它本质上是一个超大型迈克尔逊干涉仪，由2条4千米长的互相垂直的臂构成，同时光线还会在臂内折返300次。当引力波会产生空间弯曲，干涉结果也会轻微变化。2017年美国科学家借助LIGO观测到双中子星合并引力波事件并获得了诺贝尔物理学奖。图8 激光干涉引力波天文台(LIGO)激光全息干涉测量技术。利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量。图9 激光全息干涉测量技术作者：中国计量科学研究院副研究员 李琪
    时间： 2022-06-28
    作者： 牛亚伟
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  • Altechna 干涉滤光片
    干涉滤光片安装直径25.4 mm (+0/-0.2 mm)通光孔径 18 mm表面质量60-40 S-D闭塞带宽容差±20 %Altechna有限公司在250 nm到5000 nm的光谱范围内提供高质量的标准和定制的干涉滤光片。我们还可以提供专为生物医学仪器设计的生物医学带通滤波器，包括化学分析仪和酶标仪。这些带通滤波器包括标准或自定义匹配滤波器。我们可以提供的荧光滤光片包括诸如陡坡，深度阻挡（达到OD 6），最小光谱串扰，高透射率和环境耐久性等特征。1）通常，干涉滤光片被用作天体物理学，临床化学，材料分析，质量控制和生成中的波长选择器Altechna计量实验室应用以下产品检验：目视检查 - 根据MIL 13830和ISO 10110标准进行表面质量评估尺寸 - 测量几何尺寸，如直径，厚度等透射率（分光光度计，激光）*平坦度（干涉仪）波前畸变（干涉仪）平行度（测角仪，干涉仪）*（...）使用的设备带通滤光片带宽（FWHM），nm中心波长，nm峰透射，％产品编号UV20254201-IF-0254UV16280151-IF-0280UV10352351-IF-0352VIS10405351-IF-0405VIS10510451-IF-0510VIS10515501-IF-0515VIS10532551-IF-0532VIS10633551-IF-0633VIS10650501-IF-0650VIS10670551-IF-0670NIR10795501-IF-0795NIR10830701-IF-0830NIR10850701-IF-0850NIR10880701-IF-0880NIR10940701-IF-0940NIR101064701-IF-1064NIR101550501-IF-1550UV15248121-IF-0248UV10313351-IF-0313UV12350351-IF-0350UV12394451-IF-0394VIS10410351-IF-0410VIS20426501-IF-0426VIS8436351-IF-0436VIS10442501-IF-0442VIS10486601-IF-0486VIS10488451-IF-0488VIS10520501-IF-0520VIS10522501-IF-0522VIS10525501-IF-0525VIS10542501-IF-0542VIS10546501-IF-0546VIS10578501-IF-0578VIS10595501-IF-0595VIS10630551-IF-0630VIS10660501-IF-0660VIS10680451-IF-0680NIR10702451-IF-0702NIR10710451-IF-0710NIR10780701-IF-0780NIR10789451-IF-0789NIR10805701-IF-0805NIR10808701-IF-0808NIR20904701-IF-0904NIR10980551-IF-0980定制你可以根据您的需求定制这个产品。如果您没有找到适合您的应用，请与我们联系，以便定制解决方案。
    供应商： 江阴韵翔光电技术有限公司
    品牌： 韵翔
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