光栅干涉光谱仪

A. JSL系列窄带干涉滤光片JSL系列,窄带干涉滤光片（Narrow Bandpass Interference Filters）选型表型号名称中心波长(nm)半宽FWHM(nm)峰值透射率(%)JSL394-25窄带干涉滤光片3941530JSL400-25窄带干涉滤光片4001530JSL420-25窄带干涉滤光片4201530JSL440-25窄带干涉滤光片4401530JSL460-25窄带干涉滤光片4601530JSL480-25窄带干涉滤光片4801530JSL500-25窄带干涉滤光片5001530JSL520-25窄带干涉滤光片5201530JSL526-25窄带干涉滤光片5261530JSL540-25窄带干涉滤光片5401530JSL560-25窄带干涉滤光片5601530JSL580-25窄带干涉滤光片5801530JSL589-50窄带干涉滤光片5891530JSL600-25窄带干涉滤光片6001530JSL620-25窄带干涉滤光片6201530JSL620-50窄带干涉滤光片6201530JSL640-25窄带干涉滤光片6401530JSL660-25窄带干涉滤光片6601530JSL670-50窄带干涉滤光片6701530JSL680-25窄带干涉滤光片6801530JSL700-25窄带干涉滤光片7001530JSL750-25窄带干涉滤光片7501530B. 美国CVI Melles Griot窄带干涉滤光片 相关参数： 选型表：C.美国Andover滤光片 美国Andover公司提供种类非常丰富的窄带和带通滤光片，被广泛应用于各种领域，如：基本激光谱线研究领域、汞灯特征谱线研究领域、生物医学及光谱分析学领域。Andover的滤光片，具有其专利技术，可防止波长随时间的漂移，每个滤光片都配有一个密封铝框，能有效的防碎，防划伤和防潮。主要参数: 1.直径公差：+0/-0.25mm 2.封装： 氧化黑铝合金外框 3.主要尺寸：&Phi 12.5mm，&Phi 25mm，&Phi 50mm （及&Phi 9mm，&Phi 21mm，&Phi 45mm） 4.波长范围：194nm～1550nm 谱线类型： Andover的滤光片，有多种谱线类型，请参看下表，也请在选型时注意相应的谱线类型(MDM=Metal-Dielectric-Metal)：选型表（部分产品）表1：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）193FS15-12.5193FS15-25193FS15-50193.0± 3.515± 37124200FS10-12.5200FS10-25200FS10-50200.0+3/-010± 27124214FS10-12.5214FS10-25214FS10-50214.0+3/-010± 27124214FS22-12.5214FS22-25214FS22-50214.0± 322± 48204220FS10-12.5220FS10-25220FS10-50220.0+3-010± 27124228FS10-12.5228FS10-25228FS10-50228.0+3-010± 27154228FS25-12.5228FS25-25228FS25-50228.0± 325± 58204232FS10-12.5232FS10-25232FS10-50232.0+3/-010± 27154239FS10-12.5239FS10-25239FS10-50239.0+3-010± 27154239FS25-12.5239FS25-25239FS25-50239.0± 325± 58204248FS10-12.5248FS10-25248FS10-50248.0+3-010± 27124250FS10-12.5250FS10-25250FS10-50250.0+3-010± 27124254FS10-12.5254FS10-25254FS10-50253.7+3-010± 27124254FS25-12.5254FS25-25254FS25-50253.7± 325± 58184260FS10-12.5260FS10-25260FS10-50260.0+3/-010± 27124265FS10-12.5265FS10-25265FS10-50265.0+3/-010± 27124265FS25-12.5265FS25-25265FS25-50265.0± 325± 58204270FS10-12.5270FS10-25270FS10-50270.0+3/-010± 27124280FS10-12.5280FS10-25280FS10-50280.0+3/-010± 27124280FS25-12.5280FS25-25280FS25-50280.0± 325± 58204289FS10-12.5289FS10-25289FS10-50289.0+3-010± 27154297FS10-12.5297FS10-25297FS10-50296.7+3/-010± 27154300FS10-12.5300FS10-25300FS10-50300.0+3/-010± 27154300FS25-12.5300FS25-25300FS25-50300.0± 325± 58204307FS10-12.5307FS10-25307FS10-50307.1+3/-010± 27154307FS25-12.5307FS25-25307FS25-50307.1± 325± 58204310FS10-12.5310FS10-25310FS10-50310.0+3-010± 27154313FS10-12.5313FS10-25313FS10-50313.0+3/-010± 27154313FS25-12.5313FS25-25313FS25-50313.0± 325± 58204320FS10-12.5320FS10-25320FS10-50320.0+3/-010± 23258326FS03-12.5326FS03-25326FS03-50326.1+0.5/-03± 0.52158326FS10-12.5326FS10-25326FS10-50326.1+2/-010± 23258326FS25-12.5326FS25-25326FS25-50326.1± 325± 53258330FS10-12.5330FS10-25330FS10-50330.0+3/-010± 23258334FS10-12.5334FS10-25334FS10-50334.0+2/-010± 23258337FS03-12.5337FS03-25337FS03-50337.1+0.5/-03± 0.52207337FS10-12.5337FS10-25337FS10-50337.1+2/-010± 23257340FS08-12.5340FS08-25340FS08-50340.0+2/-08± 23357340FS10-12.5340FS10-25340FS10-50340.0+3/-010± 23257选型表（部分产品）表2：直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）340FS25-12.5340FS25-25340FS25-50340.0± 325± 53257350FS10-12.5350FS10-25350FS10-50350.0+3/-010± 23257350FS25-12.5350FS25-25350FS25-50350.0± 325± 53257350FS40-12.5350FS40-25350FS40-50350.0± 540± 83257355FS10-12.5355FS10-25355FS10-50355.0+2/-010± 23257360FS10-12.5360FS10-25360FS10-50360.0+3/-010± 23257365FS05-12.5365FS05-25365FS05-50365.0+1/-05± 12207365FS10-12.5365FS10-25365FS10-50365.0+2/-010± 23257365FS25-12.5365FS25-25365FS25-50365.0± 325± 53257370FS10-12.5370FS10-25370FS10-50370.0+3/-010± 23257380FS10-12.5380FS10-25380FS10-50380.0+3/-010± 23257390FS10-12.5390FS10-25390FS10-50390.0+3/-010± 23407400FS10-12.5400FS10-25400FS10-50400.0+3/-010± 23457400FS20-12.5400FS20-25400FS20-50400.0± 220± 43457400FS40-12.5400FS40-25400FS40-50400.0+10/-040± 83457405FS05-12.5405FS05-25405FS05-50404.7+1/-05± 12357405FS10-12.5405FS10-25405FS10-50404.7+2/-010± 23457410FS10-12.5410FS10-25410FS10-50410.0+3/-010± 23457415FS10-12.5415FS10-25415FS10-50415.0+2/-010± 23457420FS10-12.5420FS10-25420FS10-50420.0+3/-010± 23457430FS10-12.5430FS10-25430FS10-50430.0+3/-010± 23457436FS05-12.5436FS05-25436FS05-50435.8+1/-05± 12457436FS10-12.5436FS10-25436FS10-50435.8+2/-010± 23457440FS10-12.5440FS10-25440FS10-50440.0+3/-010± 23457442FS02-12.5442FS02-25442FS02-50441.6+0.2/-01± 0.22358.5442FS03-12.5442FS03-25442FS03-50441.6+0.5/-03± .52408.5442FS10-12.5442FS10-25442FS10-50441.6+2/-010± 23457450FS10-12.5450FS10-25450FS10-50450.0+3/-010± 23457450FS20-12.5450FS20-25450FS20-50450.0± 220± 43557450FS40-12.5450FS40-25450FS40-50450.0+10/-040± 83557456FS10-12.5456FS10-25456FS10-50455.5+2/-010± 23507458FS02-12.5458FS02-25458FS02-50457.9+0.2/-01± 0.22408.5458FS03-12.5458FS03-25458FS03-50457.9+0.5/-03± 0.52458.5458FS10-12.5458FS10-25458FS10-50457.9+2/-010± 23507460FS10-12.5460FS10-25460FS10-50460.0+3/-010± 23507470FS10-12.5470FS10-25470FS10-50470.0+3/-010± 23507480FS10-12.5480FS10-25480FS10-50480.0+3/-010± 23507486FS10-12.5486FS10-25486FS10-50486.1+2/-010± 23507488FS02-12.5488FS02-25488FS02-50488.0+0.2/-01± 0.22458.5选型表（部分产品）表3直径&Phi 12.5mm直径&Phi 25mm直径&Phi 50mm中心波长（nm）半波宽（nm）谱线类型最小透过率（%）厚度（mm）488FS03-12.5488FS03-25488FS03-50488.0+0.5/-03± .52508.5488FS10-12.5488FS10-25488FS10-50488.0+2/-010± 23557490FS10-12.5490FS10-25490FS10-50490.0+3/-010± 23557800FS10-12.5800FS10-25800FS10-50800.0+3/-010± 23507800FS20-12.5800FS20-25800FS20-50800.0± 220± 43507800FS40-12.5800FS40-25800FS40-50800.0+10/-040± 83507810FS10-12.5810FS10-25810FS10-50810.0+3/-010± 23507810FS20-12.5810FS20-25810FS20-50810.0± 220± 43507820FS10-12.5820FS10-25820FS10-50820.0+3/-010± 23507830FS10-12.5830FS10-25830FS10-50830.0+3/-010± 23507830FS20-12.5830FS20-25830FS20-50830.0± 220± 43507840FS10-12.5840FS10-25840FS10-50840.0+3/-010± 23507850FS10-12.5850FS10-25850FS10-50850.0+3/-010± 23507850FS20-12.5850FS20-25850FS20-50850.0 ± 220± 43507850FS40-12.5850FS40-25850FS40-50850.0+10/-040± 83507860FS10-12.5860FS10-25860FS10-50860.0+3/-010± 23507870FS10-12.5870FS10-25870FS10-50870.0+3/-010± 23507880FS10-12.5880FS10-25880FS10-50880.0+3/-010± 23507890FS10-12.5890FS10-25890FS10-50890.0+3/-010± 23507100FS10-12.5100FS10-25100FS10-501000.0+3/-010± 23458.5100FS20-12.5100FS20-25100FS20-501000.0± 220± 43458.5100FS40-12.5100FS40-25100FS40-501000.0+10/-040± 83458.5014FS10-12.5014FS10-25014FS10-501014.0+2/-010± 23458.5046FS10-12.5046FS10-25046FS10-501046.0+2/-010± 23458.5050FS10-12.5050FS10-25050FS10-501050.0+3/-09± 23458.5064FS02-12.5064FS02-25064FS02-501064.0+0.2/-.01± 0.22408.5064FS03-12.5064FS03-25064FS03-501064.0+0.5/-.03± .52458.5064FS10-12.5064FS10-25064FS10-501064.0+2/-010± 23408.5110FS10-12.5110FS10-25110FS10-501100.0+3/-010± 23408.5115FS10-12.5115FS10-25115FS10-501150.0+3/-010± 23408.5120FS10-12.5120FS10-25120FS10-501200.0+3/-010± 22358.5125FS10-12.5125FS10-25125FS10-501250.0+3/-010± 22358.5130FS10-12.5130FS10-25130FS10-501300.0+3/-010± 22358.5130FS20-12.5130FS20-25130FS20-501300.0± 320± 53358.5 备注：以上选型表中是Andover紫外和红外的常规滤光片， 可见光部分及其他种类滤光片，型号非常多，由于篇幅限制，不能全部列出，有需求可以联系我们。

多功能光栅光谱仪实验装置，YTR-6308简介YTR-6308多功能光栅光谱仪是一款以光栅作为分光元件的光谱仪，其基本原理是当不同波长的光束以相同的入射角入射到光栅上时，不同波长的光束同一级衍射的主极大位置不同，从而达到分光的目的。其优点是具有较宽的光谱测量范围和较高的分辨率，综合性能突出，是目前使用最为广泛的光谱仪器。该光栅光谱仪专为物理实验教学开采用开放式的结构设计，学生可以直观的观看光谱仪的内部光路和结构。同时采用了光电倍增管和线阵式CCD作为光电传感器，既可以获得高分辨率光谱，也可以快速获得宽光谱。使学生更加充分理解和掌握光谱仪的工作原理。该仪器可以很好的使用在氢氘光谱实验，钠原子光谱等实验。特点对称式C-T光路结构，采用可视化的结构设计，帮助学生理解和掌握光谱仪结构组成和工作原理双光路设计，分别使用高品质光电倍增管和线阵CCD作为光电探测器，使得学生更能深入的理解和掌握探测器的性能和实验仪器优缺点和用途专业的光谱分析实验软件，包含：光谱测量、透过率测量、反射率测量、吸光度测量和色度学测量等多种实验模块（有些实验模块需要另配附件）实验内容热辐射光源光谱测定波长准确性的测定和修正氢原子光谱测定及里德堡常量测量吸收光谱的测量CCD测量的波长定标颜色测透过率测量吸光度测量浓度测量透镜焦距测量实验，YGP-6212简介YGP-6212透镜焦距测量实验学习的知识点有几何光学基本定律、透镜成像、显微镜、望远镜。几何光学是光学的重要分支之一，它的应用十分广泛，尤其是在设计光学仪器的光学系统等方面显得十分方便和实用。透镜作为光学仪器的基本元件，可以组建各种光学系统，在成像系统、图像摄取、遥感等领域中已经得到广泛应用。光学显微镜是一种常见的助视光学仪器，它对推动科技进步，尤其是生物学和医学，起到了重要作用；望远镜是另一种常见的助视光学仪器，它对天文学及物理学的发展起到了重要的推动作用。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中透镜焦距测量实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点器材丰富，可以组建各种光学系统；实验内容满足分层次教学要求；通过配置COMS相机及相应的软件，使实验既有鲜明的数字化特点，又保留了手动读数的特色实验内容a)基础内容用自准直法、位移法测量凸透镜焦距；物像距法测量凹透镜焦距。b)提升内容自准直法测量凹透镜焦距；光学成像系统共轴的粗、细调节；透镜成像的景深、成像位置判断与视差消除。c)进阶内容用薄透镜自组显微镜和望远镜；探究常用显微镜结构和性能参数。d)高阶内容观测凸透镜的球差和色差；观测显微成像系统的像散。光的干涉和衍射实验，YGP-6213简介光的干涉和衍射现象是波动光学的重要内容。光干涉现象曾经是奠定光波动性的基石，在波动光学中有重要的意义。而光衍射现象，则是光束传播中，几何光学无法解释的现象，是光波动性的主要标志之一。研究光的干涉和衍射不仅有助于进一步加深对光的波动性的理解，同时还有助于进一步学习近代光学实验技术，如光谱分析、晶体结构分析、全息照相、光信息处理等。本实验同时用单缝、多缝、圆孔、方孔等进行实验，能够明显地展现出衍射、干涉的特征，并利用光强分布探测器测量光强的相对分布，实时给出光强与位置的关系曲线，以及用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况，实现实验的数字化。特点采用光强分布探测器，无需扫描结构，实时测量光强一位置的分布曲线，响应时间最快可达毫秒级。利用光强分布探测器可以精确测量8级以上衍射条纹，位置测量精度可达0.01mm。利用面阵相机可以研究衍射图像的两维光强分布情况。一体化狭缝组设计，切换方便，易于实验。实验内容a) 基础内容 研究激光通过双缝后形成的干涉图案，测量双缝形成的干涉光强分布，说明干涉条纹的极大值位置与理论预见的一致性。 研究激光经过单缝后形成的衍射图案，测量单缝形成的衍射光强分布，说明衍射条纹的极小位置与理论预见的一致。b) 提升内容 研究激光通过多缝后形成的干涉图案，理解多缝衍射与多光束干涉的原理。c) 进阶内容 观察激光经过圆孔和方孔后的衍射现象，利用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况。d) 高阶内容 利用COMS相机研究激光经过多孔后形成的衍射图案，利用COMS相机研究衍射图像的两维光强的分布情况光的偏振实验，YGP-6214简介光的偏振现象是波动光学的重要内容。利用这种现象研制的各种光学元件和仪器，在探测物质结构、激光与光电子技术领域有着极其重要和广泛的应用。YGP-6214光的偏振实验装置主要包含：光传感器、转动传感器、激光光源、精密调节架、升降调节架、连接杆、托板和观察屏组成。该实验装置利用先进的传感器技术和智能软件，可以实现连续的数据采集和实时绘制实验数据曲线，极大的提升了实验效率，使学生将更多的精力用于实验本身的原理学习、数据分析和结果讨论上，更加能够透彻的学习、理解和掌握实验。特点无线光传感器，USB2.0和蓝牙通讯，3档可调，适用于不同强度光源的测量。无线转动传感器，USB2.0和蓝牙通讯，角分辨率0.18°。安全的激光光源。数字实验室分析软件，编辑性强，通用程度高。实验内容理解和掌握偏振片的基本原理，使用方法。理解和掌握激光器的偏振特性。通过研究和验证马吕斯定律，掌握光的起偏和检偏原理和方法。研究3片偏振片光强与偏振片角度的关系曲线，进一步掌握光的偏振特性。等厚干涉实验（含牛顿环实验），YGP-6215简介YGP-6215等厚干涉实验（含牛顿环实验）学习的知识点有牛顿环、等厚干涉、光程差、曲率半径。牛顿环和空气劈尖的等厚干涉原理在生产实践中具有广泛的应用，它可以用于检测透镜的曲率，测量光波的波长，精确的测量微小长度、厚度和角度，检验物体表面的光洁度、平整度等。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中牛顿环实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点开放的构架，可以让学生看到所用镜片的类型和位置。可以让学生练习搭建各种光学系统。配套有测微目镜与CMOS相机两种读数方式，即实现实验数字化的同时，保留了传统手动读数的方式。多种光源，更多的分立器件，便于师生开展各种探索研究，比如：同时观察透射和反射的牛顿环，波长测量等实验内容a)基础内容测定平凸球面透镜的球面半径。b)提升内容用劈尖干涉测量细丝直径。c)进阶内容测定平凹球面透镜的球面半径。d)高阶内容用透射和反射两种方法观察牛顿环，并测量绿光、紫光、黄光的波长。更多精彩，请关注下方！的P-tP

武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！GEMINI是一款新颖的紧凑型干涉仪，入射光所产生的两束复制光之间具有极高的稳定性。其卓越的性能可以被应用于许多科研领域，比如时间/频率分辨荧光探测，相干拉曼光谱，泵浦探针，二维光谱以及单分子的研究。主要特点高光通量，高灵敏度(1cm通光孔径，没有任何光栅或输入/输出孔径狭缝)宽光谱范围：标准版400-2300nm、超宽带版250-3500nm≈1阿秒稳定性（对两束复制光）自定义扫描范围对振动不敏感尺寸紧凑（176 x 44 x 54.5mm）轻便（≈400g）应用领域：干涉测量 激光对产生GEMINI在探测端时间/频率分辨荧光泵浦探针光谱相干拉曼光谱GEMINI在激发端单分子表现特征 和TCSPC探测器组成的时间/频率分辨荧光系统实验配置：GEMINI干涉仪放置于和TCSPC连接的单光子探测器之前，可以在保证时间分辨的同时获得荧光的波长信息。 相干拉曼（受激拉曼散射）和泵浦探针光谱实验配置：GEMINI干涉仪置于探针/斯托克斯光束入射样品后方，可以测量受激拉曼散射和MHz调制频率的泵浦探针光谱。单分子激发-发射图GEMINI干涉仪可以在短时间内以异常高的精确度和灵敏度获得单分子的特征描述 技术规格UV-SWIRVIS-MIDIR光谱范围200-3500nm500-5000nm延时稳定性小于1阿秒运行模式阶跃扫描或连续扫描尺寸10×8×8cm重量750g 武汉东隆科技为意大利米兰NIREOS的中国区独家代理，欢迎您来电垂询！

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

光纤法布里-珀罗干涉仪光纤法布里-珀罗干涉仪系列产品基于具有平滑、均匀间隔传输峰的固定干涉仪设计。FFP 的设计简洁优雅的关键在于其无透镜全光纤结构。没有准直光学器件或透镜，消除了其他法布里-珀罗元件技术的缺陷，包括未对准、环境敏感性和外来模式。FFP 波器遵循 Airy 函数。工程师可以将其设计到 OEM 系统中，因为他们知道它将提供非常接近理论数学模型的结果。FFP-I由一个无透镜的平面FabryPerot干涉仪和一个位于两个高反射多层反射镜之间的单模光纤波导组成。FFP-I是直接用光纤制造的，所以不需要对齐或模式匹配。自由光谱范围(FSR)可以完全按照客户的规格制造，TEC包可用于热稳定性和中心带通频率的小调整。FFP-TF 和 FFP-TF2 是多功能可调谐滤波器，由全光纤 Fabry-Perot 超腔组成，采用坚固、快速调谐的 Tecordia 合格封装。Luna Innovations 的光纤法布里-珀罗 (FFP) 可调谐滤波器在坚固的封装中实现了高精细度并保持低损耗。FFP-TF2 设计提供改进的标准具校准，以实现稳定的长期、高可靠性和符合 Telcordia 标准的性能。几种标准的低成本配置可随时用于快速交付。定制的高性能多频段配置也可用于特殊应用。 光纤法布里-珀罗干涉仪的主要特征：频谱切片源国际电联过滤器校准波长参考激光稳定波分复用仿真全光纤平台高分辨率和低损耗设计超腔精巧抗振动和抗冲击光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-I参数： 光纤法布里-珀罗干涉仪FFP-TF2参数： picoWave是Micron Optics的多波长基准，可实现picometer精度的实时波长校准。结合均匀的频率间距FFP-I，光纤布拉格的波长标记光栅，内置热稳定性TEC, picoWave是理想的校准波长参考。FFP-I和FBG可以配置在串联或并联。 光纤法布里-珀罗干涉仪的应用：光学性能监控光谱分析可调谐光噪声滤波超DWDM的可调信道下降可调的来源光学传感关于昊量光电：昊量光电 您的光电超市！上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外创新性的光电技术与可靠产品！与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务，助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念！您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询，我们将竭诚为您服务。

GEMINI-2D 干涉仪NIREOS的GEMINI-2D将您的瞬态吸收光谱仪转变为最先进的二维电子光谱仪。GEMINI-2D是一款结构紧凑、超稳定的干涉仪，可产生两束极其稳定、相位锁定、平行的飞秒激光脉冲。特点：吸收线形状的泵浦-探针（准直）几何构型。高光通量：1厘米透明孔径，不用任何光栅或输入/输出狭缝。支持各种超快放大器和光参量放大器（OPA 或 NOPA)作为输入，波长范围覆盖紫外到近红外。扫描范围和光谱分辨率自由选择，用户可以先进行快速测量，初步了解光谱特点，然后延长数据采集时间，提高信噪比和光谱分辨率。坚固耐用，工厂装配和校准后可轻松集成到任何现有的泵浦探测设备中。得益于独特的common-path几何结构设计专利，它对振动不敏感，工作非常稳定。它能够保证脉冲延迟的可控性和重复性，精度优于1阿秒。结构紧凑：尺寸仅为18 cm x 18 cm。应用：二维电子光谱（2DES）参数：版本SL光谱范围400 nm – 2300 nm (标准版)400 nm – 2300 nm (标准版)250nm – 3500nm (极宽版)250nm – 3500nm (极宽版)对称版最长时延@λ=600nm-400 fs - +400 fs-1050 fs - +1050 fs非对称版最长时延@λ=600nm-100 fs - +700 fs-100 fs - +2 ps延时稳定性≤1阿秒≤1阿秒工作模式步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）步进扫描（用户可通过软件选择每次延迟的停留时间）尺寸长宽高：180mm x 180mm x 90mm长宽高：180mm x 180mm x 90mm重量2 kg2 kg二维电子光谱（2DES）是一种超快激光光谱技术，可以探测样品的电子、能量和空间分布 在选定的探测波长和固定的时间T2下，振荡瞬态信号是两个泵浦脉冲之间相对延迟T1的函数。Oscillating transient signal as a function of the relative delay T1 between the two pump pulses at a selected probe wavelengh and at a fixed population time T2.根据每个探针波长的T1函数进行傅里叶变换，就可以获得与探测波长和激发波长函数相关的二维谱图。A Forurier Transform ad a funcion of T1 for each probe wavelength allows one to retrieve the 2D maps ad a function of detection and exitation wavelengths.在三个不同布居时间T2(15 fs、45 fs和4000 fs)下，对Rhodospirillum Rubrum 样品的光收集（LH1）复合体测量得到的二维电子能谱测量的二维图。Bidimensional maps of 2D Electronic Spectroscopy measurements obtained on a Light Harvesting (LH1) complexo f a sample of Rhodospirillum Rubrum for three diferente populations time T2 (15 fs, 45 fs, 4000 fs).

VIL系列纳米图形系统（激光干涉光刻机）具有快速可重构光束传输、主动图形稳定和精确样品定位等强大功能。该系统可以通过使用标准2cm×2cm正方形或用户定义形状的图案场进行重复曝光，在8英寸大面积上产生各种纳米结构，例如1D光栅线和2D柱/孔图案，周期从240 nm到1500 nm。1、 可实现同一晶圆上不同纳米结构的分区光刻；2、 制作各种一维、二维纳米图案；3、 最小线宽低于50nm；4、 与其他同类设备的功能对比图如下： 电子束直写激光直写紫外光刻机激光干涉光刻机设备示例 代表厂商德国的Raith和Vistec, 日本的JEOL和Elionix海德堡和RaithEulithaInterLitho代表性产品型号RaithEBPG Plus海德堡DWL 66+EulithaPhableR 100VIL1000 主要用途高分辨率掩模版制造和纳米结构的制备对分辨率要求不高的掩模版制造和纳米结构制备分辨率适中的纳米结构制备大面积、低成本、高通量制备高分辨率周期性纳米结构，用于微纳光学、生物芯片等新兴应用 刻写的最小物理线宽10nm~300nm60nm40nm价格和维护成本高中中较低自动化程度全自动全自动部分手动全自动设备效率低低高高需要掩模否否是否特征尺寸调制难度难，样品需要重新刻写难，样品需要重新刻写难，需要重新刻写模板容易，几分钟可实现

仪器简介：双光束干涉仪是通过分束镜得到两束光程和强度都接近而且夹角易于调节的光束，在光束的重叠区将产生干涉条纹，用于物理/光学专业教学的演示仪器。技术参数：氦氖激光器：1.5mW 平台底板：500mm× 350mm开设实验： 1、马赫-泽德干涉实验并观察干涉仪的稳定性，了解全息光栅的制作方法 2、萨格奈特干涉实验并观察干涉仪的灵敏度 3、迈克尔逊干涉实验，估计激光器的相干长度，观察非定域干涉条纹及条纹反衬度随光程差的变化主要特点：采用铝质底板，利用便携式实验箱，摆放方便，节省空间。学生可自己动手调节光路，使学生了解各种干涉仪的原理和应用。

Zygo激光干涉仪红外干涉仪适用于高精度红外成像应用的测量方法光学成像的应用广泛，种类繁多。在系统的设计波长下进行测试对开发、最终对准和鉴定至关重要。用于航空航天和国防的夜视、红外和热成像系统、光刻子系统、遥感望远镜和外来材料鉴定对波长有不同的要求，而它们都受益于在红外干涉仪系统在设计波长下的测试。ZYGO长期以来被公认为是世界上干涉测试仪器的先行者，已经设计和制造了许多特殊装备的干涉仪系统，包括NIR、SWIR、MWIR和LWIR波长的系统。ZYGO还设计和制造了一系列用于这些波长的参考光学器件（透射球面镜和透射平面镜）。主要特点工作波长范围广：NIR：1.053μm&1.064μmSWIR：1.55μmMWIR：3.39μmLWIR10.6μm基于工作波长的QFAS十字快速对准视图简化了红外测试系统和组件的设置。ZYGO独有的QPSI™ 采集技术，可在振动较常见的环境中实现可靠的测量，NIR、SWIR和MWIR型号均配有这种技术。可选的DynaPhase™ 瞬时数据采集技术，对振动不敏感，可在最恶劣的环境中进行测量。

仪器简介：ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内，一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接，在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按不同标准进行机床精度的评定和比较。技术参数：1.线性测量分辨率: 0.001&mu m2.线性测量范围： 40m（或任选80m）3.线性测量精度: ± 0.7ppm4.最高测量速度： 60m/min5.长期稳频精度： ± 0.05ppm主要特点：ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

激光干涉仪通用长度测量工具sj6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。动态测量应用基于时间的动态测量机器运动控制性能评价：1.运动控制器PID控制参数测试与设置2.高速运动后机器的稳定性测试与评价3.高性能运动控制器的微小步幅的测试振动监视1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工振动频率分析1.被测对象的振动频率分析2.FFT快速傅立叶变换分析基于距离的动态测量基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。提供脉冲触发方式采集CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。产品特点1、激光干涉仪通用长度测量工具sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；2、以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；3、使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；4、配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；5、分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。在机床领域中的应用激光干涉仪通用长度测量工具sj6000是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。传统单频激光干涉仪采用单频技术，容易受到外界环境干扰，微小的空气湍流都会引起直流电平变化从而影响测量结果，这是单频干涉仪的一个根本弱点。在测试环境恶劣或测量距离较长时，这一缺点十分突出，而双频激光干涉测量仪正好克服了这一缺点。双频干涉仪使用双频激光，其干涉信号是一个频率约为1.5-8 M H z的交流信号，当可动棱镜移动时，双频干涉仪的干涉信号只是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。这个交流信号频率的改变取决于可动棱镜位置的变化，不受直流光平和电平变化的影响，因此抗干扰能力强，适合在各种环境条件下开展检测作业。 双频激光干涉测量仪采用外差技术，对环境干扰不敏感，先天具有抗干扰性好，工作稳定的特点，适合在车间生产环境中使用。镭测科技推出的LH3000双频激光干涉仪，基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000双频激光干涉仪通过与不同的光学组件结合，可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测，是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 系统组成： LH3000双频激光头及附件 LC-2000环境补偿单元 Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件产品优势： 采用双频激光，测量精度高 紧凑设计，适合外出服务携带 抗干扰能力强，大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿，不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz，测速高达2m/s。（欲了解更多单频与双频干涉仪的性能特点和差异，请阅览本网站解决方案栏目中的：双频激光干涉仪）

镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪 满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻机用激光干涉测量系统为基础， 在保留高稳定性、高精度、高采样速率卓越性能的同时， 将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里， 一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验； 典型频差7±0.5 MHz，测速高达2m/s。 系统组成： LH2000激光测头及附件 环境补偿单元 LaserLC测量软件 线性位移测量镜组（选配：角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等） 光学调整附件 三脚架及其他测量附件镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪参数激光头尺寸330mm×110mm×95mm激光头重量3.3kg激光光束直径6mm激光功率 0.5mw真空波长632.99nm频差可定制 典型值7±0.5 MHz工作温度范围+10℃~+30℃储存温度范围+15℃~+45℃激光稳频精度±0.02ppm线性测量范围40m线性测量精度±0.1ppm(真空中)±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器)分辨率1nm测量速度2m/s工作电源220V/50Hz北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪LH2000双频激光干涉仪，镭测科技LH2000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪，更多激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息欢迎您访问北京镭测科技有限公司官方网站。

中图仪器SJ6000机床校准激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。测量原理SJ6000机床校准激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过SJ6000机床校准激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

高分辨率激光干涉仪所属类别： ? 光学/激光测量设备 ? 波前分析仪 所属品牌：法国Phasics公司 产品简介高分辨率激光干涉仪便携式、高分辨率、高动态范围激光干涉仪！ 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪(High-resolution Interferometer)是一款便携式、高灵敏度、高精度的波前分析仪。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪基于波前分析的四波剪切干涉技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点），3D显示等优点。 关键词：干涉仪、激光干涉仪、球面干涉仪、激光平面干涉仪、干涉光刻、传函仪、白光干涉仪、Zygo、波前分析仪、波前传感器、迈克尔逊干涉仪、便携式干涉仪、光学传函仪法国Phasics公司超分辨激光干涉仪基于便携式、高灵敏度、高精度波前分析仪。该激光干涉仪采用四波剪切干涉专利技术，与传统干涉仪相比较具有结构紧凑，使用方便，无需标准件，优秀的检测稳定性，直接测量任意的波前、高分辨率（300x400采样点）、激光波长覆盖400-1100nm、消色差、高动态范围（500um）等优点。 法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪可用于激光波前检测、激光强度检测、等离子体密度检测、透镜检测、高功率激光自适应、光刻机检测、精密光学元器件检测、光学系统装调、镜头模组检测、传递函数（MTF）检测等。法国Phasics公司超分辨剪切干涉仪并可实时检测为客户提供最优化的数据支持。 产品特点：1、直接测量、无需标准件 图一、检测光路 2、高灵敏度（是普通白光干涉仪的8.4倍）、对振动不敏感 图二 与传统的干涉仪检测结果对比3、三维立体显示 图三、波前三维检测视图4、实时显示泽尼克系数 图四、多阶泽尼克显示界面5、传递函数（MTF）检测 图五、传递函数检测界面 干涉仪应用领域： ? 激光光束性能、波前畸变、M^2、强度等的检测 ? 红外透镜检测? 激光、天文、显微、眼科等复杂自适应光学系统波前像差检测? 光刻机物镜检测? 大口径高精度光学元器件检测? 透镜、镜头模组检测? 传递函数测量? 等离子体密度检测? 高功率激光自适应 产品系列： 相关产品 超高速液晶空间光调制器 PHASICS波前分析仪/波前传感器/波前相差仪/波前探测器

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

干涉器西格玛光机干涉器利用平行镜面的多重反射，可以得到与激光同等程度带宽的带通滤光片，可用于天文观察或干涉计测等。 特点：l 可以根据用途制造4种干涉器。l 只有一个反射面的情况下为全反射，在第二个反射面完全平行时反射面之间的光线密度会变高，从第二面泄露的光线光量会一直上升到射入第一面的光线光量水平。另一方面，第一面泄露的光与第一面的反射光相抵消，第一面的反射光量会减小。因此，可以得到特定波长的高透过率。 注意：l 如果入射角度不是正确的0°，透过波长可能会产生偏差，甚至可能不会透过光线。l 对干涉器的锐度或透过率的特性有特殊要求时，请事先联系。l 根据情况不同，制造干涉器有时需要很多时间。请向我们确认。

API XD激光干涉仪可以一次装夹测量六个参数包括定位精度、重复定位精度、直线度及角度。用于数控机床和三座标测量机的标定及校准。1D激光主要可以测量定位误差和重复定位精度3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角在选择无线遥控传感器的情况下，最长的测量距离可到45米（80米可选）。可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。. XD美国激光干涉仪 设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。5D/6D激光干涉仪是API的产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到最小。

SJ6000国产机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000国产机床激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）SJ6000国产机床激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。激光干涉仪测量机床直角如机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等），SJ6000激光干涉仪垂直度测量是通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度，即在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。典型情况下对于1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是好选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿数控机床机械误差补偿包含记忆式相对位置补偿（jue对值）与记忆式螺距误差补偿（增量值）两种，三菱和法那科系统就是增量值补偿的代表之一。当采用激光干涉仪进行增量值补偿时，会遇到数据怎么对应补偿点位置的问题。增量值补偿时有几个重要参数：参考点：参考点也就是基准点。zui负端：设定zui靠近负端的补偿数据编号。zui正端：设定zui靠近正端的补偿数据编号。补偿倍率：写入机床系统补偿量的生效倍率。补偿间隔：机床补偿校准时的补偿间距。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

机械耦合传感器习惯上被用来测量振动。尽管如此，一般、持续的朝着小型化的趋势，正提出对测量系统全新的要求，该系统需通过宽的频率范围且以纳米分辨率来测量物体的移动。激光干涉振动计用于对宏观和微观物体的非接触，无反应测量，频率在0-2MHz,分辨率在纳米范围内。这些系统很适合于需要分析难以达到的物体振动的应用程序。LSV激光干涉振动计系列激光干涉振动计的设计是建立在迈克耳孙干涉仪的基础之上的，在它里面，一束相干光纤分离成两个部分的光束：参考光束和测量光束。参考光束有固定的长度。测量光束集中在测量的表面，它的长度由于测量物体的移动而改变。测量光束从被测量物体上反射出以后，两个返回的局部光束相互干涉。它们的相位差与测量物体的位移是相称的，且测量也是可变的。这个测量可以追溯到国际长度标准，因为激光频率充当直线标度。优化的光学粗糙表面激光干涉仪振动计是为测量光学粗糙表面优化了的干涉仪。他们区别于其它长度测量干涉仪的最重要的特征，是它们在测量方位上有一个集中在测量光束上的镜头。从光学粗糙表面上的反射生成一个散斑图。传感头是设计用来确保一个好的信号噪声比，即使当这样一个散斑图产生的时候。测量光束的聚焦把测量范围限制到几个mm，作为表面反射率的一个功能。尽管如此，在振动测试中这通常不是个问题，因为测定的振动幅度通常更小。正常的位移测量也可以在有效的测量范围内进行。氦氖激光器被用来当做长度和振动测量的光源，因为它们的特性例如相干性和频率的稳定性，对于度量衡是至关重要的。串联LSV振动计的测量头，通过光纤电缆耦合保持头相当小地或者免于热辐射。传感头中的考面镜可以调节，以便简化校准和提高性能。LSV系列的新特征是用一个变焦目标来聚焦测量光束，而不是以前传统的定焦镜。这使得测量头和测量点之间的距离领域自由选择在20cm到2m.这可让测量设置中有相当大的灵活性，因此测试仪器可以用于一系列不同的应用。电子估算单元的设计用来处理从测量头接收到的干涉仪信号的氦氖激光器和电子设备被封装在10英寸的估算单元里。信号处理，考面镜和可变输入放大器通过多微机系统和非常快的可编程序逻辑电路来控制。估算单元有一个模块结构，所以测量系统可以通过添加各种各样的信号处理卡灵活适应一个应用程序。两个系列LSV传感头的评估可以封装在一个19英寸的设备中。数据捕捉可以和外部事项同时进行，这通过极短的延迟时间下利用触发脉冲输入完成。这也使得目标的相位响应在一个已知的激发下测量。估算单元可以装备有不同的接口卡以适应预期的目标高速估算卡提供一个USB和一个RS232接口连接到电脑上。还有一个触发输入，外部激发源同步振动测量 。这个估算卡可以用来控制振动计的各种功能，还可以控制最大采样频率1MHz和最大数据块长32768值。用该卡进行交流的应用程序接口对用户来说是可行的。A DLL,一个矩阵实验室图书馆和相应的模块支持整合成独立申请。并行接口卡使得解调的干涉仪信号作为一个数字的平行32位字来利用。 分辨率（字的最低有效位）相当大约0.078nm。平行32位数值在一个很短的潜伏期内有效的，并且可以在扫描速度达4MHz下读出来。这个促进完全可能带宽2MHz的利用。这个情况下，振动分析系统经常提供传感器的模拟输入。模拟接口因此有一个模拟输出，用来整合成这些系统。这使得传统的振动传感器很容易被激光干涉振动计所替代。串联 LSV振动计的动态范围比传统传感器的测量范围要大的多，就像合理支出下模拟分辨率的可实现。映射在模拟输出上的测量范围因而可以在七个阶段选择，以适应不同的应用领域。这个通常用前面板上的旋钮完成，但是范围也可以通过PC界面合适的软件来转换。重置模拟信号的追加输入进一步简化使用，总的来说，模拟接口卡以最大输出率10MHz来提供16位分辨率。尽管各种各样的于激光干涉振动计有效的接口可以结合到几乎每个测量系统中，经验证明大多数应用包含PC软件的单独操作。INFAS-Vibro软件通过USB或RS232接口或与高速并行接口振动计连用的DIO卡。软件使得振动信号呈现出来，保存且处理。记录原始信号使得测量无限制地离线分析。ASCII格式化数据的可配置出口使得初始和预加工能进一步加工处理。为融合进独立的应用中，INFAS Vibro可以由一个简单的TCP-IP协议来控制。无接触机械振动的量测和分析串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流最大2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。Worldwide Technology(S.H) Co.,Ltd.WAD (H.K) Co.,LtdTel: Fax: Email:

应用领域 工业计量检测，光学加工车间检测，各种工业生产及加工现场检测包括：通讯、航空航天、汽车制造和消费电子等。 动态环境下，测量各种光滑表面面形，包括光学平面玻璃、窗口玻璃、金属平面、陶瓷平面，凸凹球面等。帮助光学车间和其它工业加工现场，控制和提高各种元件的光滑表面精度和表面质量。 产品综述 通用组合水平式检测干涉仪（数字化动态分析系列）是一种使用动态分析方法的斐索型激光干涉仪。该干涉仪具备良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。这使得该干涉仪在传统相移技术无法进行测试的环境中，仍能提供精密可靠的计量检测，这种具有可模块化组合和低成本等特点的无损检检测干涉仪是工业加工现场检测需求的新方向。 性能参数◆材质均匀性◆超精密平面/球面面形测量◆光学系统装调和校准◆光学组件透射波前测量◆光学均匀性测量◆平行度测量◆角锥角度测量 ◎◎我们会倾听您的需求，支持特殊需求定制我们的客户群体：苏州计量院,上海计量院,福建计量院,上海光机所,石家庄13所,上海现代先进超精密制造中心有限公司UPEC,长春理工,上海理工等。

仪器简介：Renishaw的新型XL-80激光干涉仪能够满足和超越实际工业规范水平，提供4 m/s最大的测量速度和50 kHz记录速率。即使在最高的数据记录速率下，系统准确性可达到±0.5ppm（线性模式）和1纳米的分辨率，这些改进意味着工程师仍能使用可溯源性激光干涉的独特优势，帮助解决现代化机器设计问题。 系统精度比原有的对应产品ML10激光系统有所提升，在整个日常温度、气压和湿度不同工作环境下，均可达到±0.5 ppm的精度。环境读数使用XC-80智能传感系统进行读取，每7秒更新一次激光读数补偿值。还有一点很重要，与Renishaw的ML10系统一样，所有测量值均采用稳定化的氦氖激光源的波长为单位，保证能够溯源至国际公认的长度标准。此新系统可以与现有的ML10系统光学镜组完全兼容，使目前全球成千上万的ML10用户能够升级到新系统，并同时保留其在光学镜组、程序和人员培训上的原有投资。 我们还提供已更新的Renishaw软件版本（LaserXL™ 及QuickViewXL™ ），能够以用户熟悉的、易于使用的格式提供数据。Laser XL™ 能够执行循序渐进式的测量，以方便对大多数机床按标准进行检验，QuickViewXL™ 软件能够在屏幕上实时地显示激光读数。您只要看一眼Renishaw的新型XL-80激光装置和XC-80补偿器，就会注意到它们比原有的ML10和EC10小了许多。现在，二者总重仅3公斤多一点（包括连接电缆、电源和传感器），比原来减轻了70%。当然，随着激光头和补偿器尺寸减小，其他系统组件，例如三脚架和云台也相应地减小以便相配，因此整个系统（除了三脚架）的装运箱减小了许多。现在，最小的“脚轮箱”只有原来箱子的一半大一点点，却可以携带整个线性和角度测量系统，并有放置Renishaw QC10球杆仪组件的位置。这个高度便携的“检查和修正”系统总重不到15公斤，同类产品无以匹敌。为了与系统的其他组件的便携性相匹配，我们设计了新型三脚架和装运箱，仅重6.2公斤。激光头和云台体积很小，能够方便地固定在标准磁性座上，可以在不方便使用三脚架固定的应用条件下使用。XL-80激光测量系统的光束高度和光学镜组尺寸与ML10系统一样，因此也可以直接放在花岗岩工作台（不使用三脚架云台）上，进行坐标测量机的校准。Renishaw已将激光的预热时间缩短至大约仅6分钟。预热速度较同类系统快，因此用户等待时间减少了，用于测量工作的几率增加了，这对于机器校准服务商和那些需要在一个地点执行多项测量的用户而言非常重要。现在，信号增益的开启和关闭是一项标准功能，使其具有80米线性测量距离的能力。若短距离应用时，则可以提高信号强度。配上多信号连接器以提供模拟信号输出以及激光直接到PC USB连接（不需要单独的接口），现在，XL-80激光头的配置包括了过去ML10机型的激光头上原为任选的所有功能。XL-80系统具有长达3年标准的全面保修，并可以以优惠的价格选购延长保修时间为5年。对于使用ML10的老用户和使用其他厂商制造的同类系统的新客户，我们均提供一些特别优惠政策。因此，您更有理由去联络Renishaw公司在全球各地的分公司和地区经销代理，让我们为您介绍选购XL-80作为升级或作为新系统所带来的好处。技术参数：系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围) 激光稳频精度:±0.05ppm分辨率:0.001 um最大测量速度:4.0m/sec最高采样频率:50KHz测量范围:0 - 80 metres预热时间更短:~6分钟主要特点：传承于畅销全球的ML10 Gold激光干涉仪,诞生于英国计量产品世家的又一惊世杰作,XL80激光干涉仪为业界提供了性能更为先进,应用更为广泛,更加轻巧便携的计量检测利器: 检测速度从每小时几个微米到每分钟240米(仍以分辨率0.001 um记数) 采样频率从静态到每秒50000个数据点(仍以分辨率0.001 um记数) 测量范围从数纳米的微观尺寸到80米的大尺寸测量

直接激光干涉图形（DLIP）加工器一．直接激光干涉图形加工技术 在传统加工中，很少有技术能够大面积产生微纳米结构。相比于激光干涉光刻技术（LIL）的复杂步骤以及约束条件，DLIP激光加工 器可以利用脉冲激光简便地、高速地在大范围区域形成周期性几何形状从而直接烧蚀材料表面。 二．直接激光干涉图形加工器技术应用方向 在航空航天方面，为了防止飞行过程中空气动力表面结冰，目前一般会使用大量的化学产品进行加热，仅德国一年在这一领域的投入就高达10亿欧元。 同时，利用DLIP加工器对机翼材料进行的干涉图形加工，也已被证实可以大量减少冰的形成和诱导冰的脱落，使热功率降低60%-80%。 这项技术目前已被运用于飞机除冰、生物医药、高新电子产品等不同工业领域，为疏水表面、微沟槽、网格结构等不同周期性表面结构的生产提供助力。 该项技术的应用前景包括但不限于 1.改善连接器件的电子传导能力、热传导能力 2.改善材料表面疏水结构，提高自清洁能力 3.改善医疗植入物与植入表面的粘附结合度 4.制造各类表面抗菌纹理 5.增加材料表面抗反射性能 6.各类涂料工程项目 三．直接激光干涉图形加工器产品概述 DLIP加工器可以根据使用的激光束数量和它们的几何排列，利用两个或多个激光束交叉处的干涉现象在材料表面产生不同的周期性几何形状。例如，双光束设置会产生线状干涉图案，而三光束则会产生点状干涉图案。同时，DLIP加工器可以利用配套软件自动控制两束激光之间的拦截角度，从而产生不同的空间周期。 本产品适用于脉冲宽度低至1ps的超快激光 加工，并且与众多厂商的超短脉冲激光器 进行了兼容性测试，具有非常高的兼容性。四．直接激光干涉图形加工器产品特点 1.不与材料直接接触，非接触式加工模式 2.对于材料表面以及几何形状有着高适用性 3.加工过程中具有高加工速度(理想情况可达 3 m² /min) 4.加工过程中精确的激光沉积能量控制 5.非化学反应加工模式，无需额外净室空间 6.一体式紧凑设计，便于安装五．直接激光干涉图形加工器基本参数 固定型加工器 扫描型加工器 更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学 、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线，在可见和红外波段有多条，其中最强的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三条谱线。我们可以采取一些方法去抑制其中的两种，而使我们所需要的一种波长的激光得到输出。632.8nm（红光）因输出为可见波段的激光，实际应用较为广泛。 由于HeNe激光束具有单色性和方向性好,输出功率和波长能够控制得很稳定，并且结构简单、造价低廉等优点，因而广泛应用于精密计量、检测、准直、信息处理，以及医疗、光学实验等多个方面。 HeNe激光器是玻璃管状结构，玻璃是气密性非常优良的材料。HeNe激光器是一种小功率激光器，放电管长十几厘米的激光器输出功率为毫瓦上下，放电管长1~2m 的激光器输出功率可达几十至百毫瓦。HeNe激光器是放电激励的气体激光器的典型代表，它的工作过程、制造工艺和设计器件的方法对其他气体激光器都有参考意义。 单频激光干涉仪使用单频激光器、双纵模热稳频技术进行稳频。由于两纵模的频率间隔约为1GHz，超出了信号处理器的细分运算能力，故其中一个纵模的激光会由偏振片舍弃，测量过程中实际只使用通过偏振片的单纵模激光。最终采用零差干涉原理（调幅）进行测量。镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管参数： 真空波长/nm632.99出光功率/mW0.8最大功率漂移（8h）5%尺寸Φ*L/mm26*150出光模式TEM00腰斑直径2ω0/mm0.33发散角θ/mrad2.4起辉电压/V4000工作电压/V1000工作电流/mA3.5~4工作寿命/h20000 北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管，镭测科技Leice激光干涉仪单频激光管产地为北京，属于国产激光器，激光器的参数、价格、型号、原理等信息欢迎该问北京镭测科技有限公司官方网站，镭测科技客服电话400-860-5168转5968，售前、售后均可联系。

串联LSV激光干涉振动计可以用在机械振动需要无接触地分析和测量的所有领域。它与其他振动测量方法相比的主要优势是它的非接触和无反应操作方式， 以时间范围内小于1纳米的距离分辨能力的大测量范围，通过FFT增加到频率范围小于80微微米。当然，频率范围从0Hz到电流最大2MHz.振动光谱，自然频率和振动模式也可以确定。多坐标测量和微差测量可以再多系统援助下进行。串联LSV振动计的特别说明在真空运行时可能的，但是技术上很复杂。尽管如此，经常可以看到目标通过真空室的一个窗户测量，在真空室内通过外置测量头来测量。这使得真空下测量目标变得简单。 激光干涉振动计是对于要求精度，物体非接触测量的所有应用都非常宝贵的工具。非接触操作模式在无需传感器机械影响下，提供不同位置快速分析物体的方法。该系统具有高精度和高分辨率，非常广泛的频率范围等特性。由缩放目标扩大的可变测量范围，评估电子设备的不同接口和综合软件支持，使串联LSV振动计成为生产，质保，研究和发展中一个重要的测量仪器。

1.产品简介激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。2.产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。二.工作原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。三.产品功能特点◆精度高SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。◆功能广●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；●可实现龙门机床双轴同步测量；●可实现对机床回转轴的测量与校准；●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；●具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；●支持手动或自动进行环境补偿。◆软件强●友好的人机界面；●丰富的应用功能模块；●向导式的操作流程；●简洁化的记录管理；●支持中文、英文和俄文界面；●支持企业专属模板定制。

ZYGO新型VerifireHDX激光干涉仪是为超高精度的光学元件和系统设计和制造的，可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有VerifireHD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器，并增加了重要的增强功能，如刷新行业水平的分辨率和成像能力，仪器传递函数（ITF）、出众的中频特征分析和大坡度表面测试，同时也兼具了ZYGODynaPhase® 系列动态采集技术，可以去除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中准确计量。特殊设计优化的分辨率和性能VerifireHDX激光干涉仪系统具有全新的光学设计，经过严格设计，可为其所配的3.4kx3.4k（1160万像素）传感器提供突破像素限制的性能，呈现增强的图像，可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价，该系统在全分辨率下以帧率96Hz运行，比其它高分辨率干涉仪速度快10倍，那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试能力受限。功率谱密度（PSD）和衍射分析工具完善了VerifireHDX激光干涉仪系统的中频特征分析能力，并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。光学面形测试下的中频特征分析高质量的参考光学元件和配件UltraFlat™ 和UltraSphere™ 超高精度透射平面和球面，面形可以达到λ/40PVr或更高，并且严格控制PSD特征进行制造，以*优化中频特征。推荐将这些高精度参考光学元件与VerifireHDX激光干涉仪一起配合使用，以完整实现和提升系统的性能。无论它们是被用于垂直构型还是水平构型，UltraFlat透射平板面形精度不变，从而在测试设置中提供更大的灵活性。超高精度平面和球面透射元件Mx™ 软件ZYGO自主设计研发的Mx™ 分析软件提供强大的操作功能和完整的数据分析功能，包括Zernike，斜率，PSD/MTF/PSF，棱镜角度，角锥以及更多。该软件集仪器控制，数据采集和分析软件包与一体，集成了制造过程控制，运行自动化和报告关键中频特征等工具包。软件操作界面简单，直观。它还包括了基于Python的脚本和远程控制接口，以实现更大的灵活性并集成到复杂的测试设置中。Mx软件，泽尼克分析结果ITF仪器传递函数-它是什么，为什么它是重要的很多年来，大家一直关注于光学元件表面的形状误差，但随着对光学系统性能需求的增加，控制中频特征（MSF）也变得同样重要。对于一些极高性能应用，需要严格控制MSF特性以减少光散射并提高光学效率。在校正形状误差方面非常有效的小工具确定性抛光技术也会将不期望得到的中频特征赋予光学表面。根据表面特性的频率和斜率，传统的干涉仪系统-非常适合测量表面形状-由于分辨率有限，无法测量和量化较高频率的表面特性。分辨率的缺失意味着更高的频率细节被过滤（见右图），并且在测量结果中可能根本不显示。这是仪器传输函数（ITF）的所在。激光干涉仪系统由于其自身的设计（光学设计，相机，波长）会衰减和过滤部分表面信息，决定了该系统的ITF（测量光学表面的空间频谱的能力）。VerifireHDX激光干涉仪系统具有高分辨率3.4kx3.4k传感器和优化的光学设计，具有比任何商业上可获得的干涉仪系统更高的ITF，使其成为可靠测量和量化光学表面中频特性的宝贵工具。这为光学设计师们提供了一种新能力，可以自信地指定光学表面到更高精度，并定义ITF测试要求来达到系统性能目标。用特殊设计的台阶板测量到的相位数据，台阶板上刻有密集的40nm台阶，按不同频率沿着径向发散变化。

SJ6000国产激光干涉仪品牌集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000国产激光干涉仪品牌结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在测量机床领域，它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。产品应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿SJ6000国产激光干涉仪品牌非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000中图高精度单频激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。工作原理激光干涉仪利用激光光束的干涉原理来测量物体的形状和表面的高度差异。其原理是基于两束相干光在空间交叉的地方发生干涉，形成干涉条纹，通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。测量原理激光干涉仪的测量原理主要包括相位测量和位移测量。相位测量是通过测量干涉条纹的相位差来计算被测量物体的形状、位置等参数；位移测量是通过测量干涉条纹的位移来确定物体的位移量。这两种测量原理在不同应用场景下有着各自的优势和适用性。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。高精度性能特点SJ6000中图高精度单频激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。SJ6000中图高精度单频激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。在机床领域的应用激光干涉仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ6000线性度测量机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000线性度测量机床激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置及使用方法线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路，如下图：▲水平轴的线性测量示意图▲垂直轴的线性测量示意图SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。线性测量应用SJ6000线性度测量机床激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。SJ6000激光干涉仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。