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仪器信息网 3i讲堂 FIB 3.0技术在显微学领域的应用
1 1 投诉 分享 503 2021-06-30
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FIB 3.0技术在显微学领域的应用

所属会议:第七届 电子显微学网络会议（iCEM 2021）
聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）具有强大的加工和成像功能，广泛应用于微纳加工领域。蔡司于2020年初发布了飞秒激光-聚焦离子束加工平台FIB3.0，在聚焦离子束的基础上增加了飞秒激光用于加工，打破了FIB在加工效率和加工尺寸方面的限制，使得大尺寸高精度快速加工成为可能。同时，结合蔡司光学显微镜、X射线显微镜等，可实现FIB3.0在更多领域的拓展和联用。

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