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仪器信息网 3i讲堂 飞秒激光与FIB的完美结合——大尺度、高精度加工与成像一站式解决方案
1 2 投诉 分享 1852 2020-06-22
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飞秒激光与FIB的完美结合——大尺度、高精度加工与成像一站式解决方案

所属会议:第六届电子显微学网络会议（iCEM 2020）
聚焦离子束（FIB）是广泛应用的微纳加工手段，但加工效率低限制了其应用的拓展。蔡司于2020年年初发布了飞秒激光-聚焦离子束加工平台Crossbeam Laser，使大尺寸高精度快速加工与原位高分辨成像成为可能，同时通过专利技术有效避免了高通量加工给电镜腔室带来的污染。通过今天的讲座，您将了解：  Crossbeam Laser系统的构成和操作流程  微纳加工和电子、半导体领域应用案例  结合蔡司光学显微镜、X射线显微镜，对应用进行拓展

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