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玻璃基底上ZrO2薄膜中膜厚度、光学常数、组成检测方案(椭偏仪)
HORIBA UVISEL Plus研究级经典型椭偏仪
ZnO薄膜中Al含量、膜厚度检测方案(椭偏仪)
Film Sense FS-RT300 多波长椭偏仪
南通宏腾微电子技术有限公司
UVISEL Plus
优尼康科技有限公司
智能型多功能椭偏仪
深圳市矢量科学仪器有限公司
Film Sense 多波长椭偏仪 FS-1™
上海品测精密仪器有限公司