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DALI是由Aresis、CENN Nano center 和 LPKF 联合研发的高精度无掩膜纳米光刻机,是一款性能稳定,操作简单,对环境要求低,界面友好,零维护的桌面型高精度激光直写设备。其采用的是AOD声光调制器来控制激光进行高精度光刻,可以实现优于80nm平滑的边缘结构,100-150nm最小结构间距,最高400nm套刻精度,是实验室级微纳加工与器件制作不二选择。DALI凭借优异的性能,目前已广泛应用到微电子、微器件、纳米光学、材料科学、自旋电子学等研究领域。
先进的AOD技术,定位分辨率优于0.1nm
A. 可以获得任意平滑、锐利的结构边缘
B. 可高分辨调整特征结构间的距离
C. 可以实现亚微米级精细结构的构建
主要特点:
# 最小特征结构小于1μm
# 针对I-line光刻胶进行优化(SU-8,AZ,……)
# 超快与超高精度定位,光斑定位分辨率<1nm
# 可构建高深宽比结构(可达10:1)
# 12nm-1μm光斑间距调节以获得超高平滑度
# 100-150nm最小结构间距
# 最高400nm套刻精度
# 适用于从CAD设计到各种结构的快捷构建
# 具备非平表面直写能力
产品优势
1. 超稳定,长寿命375nm激光器
相对于其它各种光源,在精密光学仪器应用中,激光光源在光束质量,稳定性,耐用性等方面具有无与伦比的优越性。DaLI无掩膜纳米光刻机采用最优的激光光源,以保证超一流的性能和用户体验。
2. 广泛的适应性
DaLI无掩膜纳米光刻机广泛适用于各种I-line光刻胶,AZ系列正胶,SU-8系列负胶等,在各种厚胶与薄胶应用中有着出色的表现。
3. 非平表面直写功能
4. 整机恒温系统,保证最佳的性能
DaLI无掩膜纳米光刻机采用了超越光刻技术极限的亚纳米级AOD激光操控技术,光斑定位精度可达0.1nm。为充分发挥AOD技术的优势,我们建立了整机恒温系统,控温精度可达±0.1℃,将设备所有部件和温差形变和热漂移降到最低,从而实现真正的高精度光刻。
5. 准确的图形结构
6. 工作范围与曝光拼接
大光斑直写工具单个工作区域 为 900μm X 900μm;
小光斑直写工具单个工作区域为 300μm X 300μm
工作区域100mm X 100mm 工作区域间的平滑过渡机制(软拼接与硬拼接);DaLI的软拼接可以将曝光扫描线延伸到临近区域,并梯度降低激光强度(红线)。在临近区域,激光强度梯度增加(蓝线),从而获得干净均一的拼接图案
7. 用户友好的操作软件
DaLI控制软件通过USB接口与设备快速通讯,可以对设计图中的区块和每一个微结构的曝光参数进行设置,对图形设计的预览和快速栅格化,对样品的观察、准直、调平等。该软件具备图形设计和展示功能,可选用多种绘图工具,支持对 dxf, gerber, bm 等格式文件的导入与修改。
8. 更好的深宽比
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训;额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后5天内
电话支持响应时间: 4小时内
是否提供维保合同: 是
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