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产品特点
l Ÿ XY轴为平面式气浮结构，减小系统误差影响
l Ÿ 横梁轴为陶瓷材质气浮导轨，超高性能精度
l Ÿ 龙门式双驱结构，承载能力强
l Ÿ Z轴纳米级定位抖动
应用领域
QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台用于飞秒激光加工。
产品简介
XY轴采用平面式气浮结构，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程1000mm，直线度±1.5μm，平面度±1μm。XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，XY轴负载可达100kg。
Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程100mm，定位纹波优于20nm，Z轴垂直安装到大理石龙门横梁上。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
轴系 Axis | 测试项目 Test Items | 单位 Units | 指标 Specification |
X 轴 （龙门轴） | 行程 Travel | mm | 1000 |
补偿后定位精度 Accuracy | μm | ±1 | |
双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability | μm | ±0.5 | |
直线度 Straightness | μm | ±1.5 | |
平面度 Flatness | μm | ±1 | |
偏摆 Yaw | arc sec | ±3.5 | |
俯仰 Pitch | arc sec | ±3.5 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
Y 轴 （横梁轴） | 行程 Travel | mm | 1000 |
补偿后定位精度 Accuracy | μm | ±1 | |
双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability | μm | ±0.5 | |
直线度 Straightness | μm | ±1.5 | |
平面度 Flatness | μm | ±1 | |
偏摆 Yaw | arc sec | ±3 | |
俯仰 Pitch | arc sec | ±3 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
Z 轴 | 行程 Travel | mm | 100 |
补偿后定位精度 Accuracy | μm | ±1 | |
双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability | μm | ±0.5 | |
直线度 Straightness | μm | ±1.5 | |
平面度 Flatness | μm | ±2 | |
工作速度 Operating Speed | mm/s | 100 | |
XY | 负载 Load | kg | 100 |
Z | 负载 Load | kg | 15 |
X-Y | 垂直度Orthogonality | arc sec | 3 |
产品货期: 90天
整机质保期: 12月
培训服务: 安装调试现场免费培训
