为您推荐相似的位移台
产品特点
闭式气浮结构 直驱零齿槽效应
精准回零误差 高速度稳定性
解决气浮轴抱死问题 立式或卧式使用
应用领域
NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差，可立式或卧式使用，出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成，径向双气路结构设计，使径向有出色的载荷力，安装结构上可选择立式或卧式使用，且能组合AB气浮轴，达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动，无气浮抱死问题。
精度性能
NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm，同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。
闭环反馈
圆光栅闭环反馈，运用高性能控制系统，分辨率优于0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 Model | 单位 Units | NOTE-50 | NOTE-100 | NOTE-200 | ||
行程 Travel | ° | 360 | ||||
台面直径 Tabletop Diameter | mm | 80 | 114 | 148 | ||
通孔直径 Aperture Diameter | mm | 10 | 20 | 40 | ||
补偿后定位精度 Accuracy | 高精版 Plus | arc sec | ±0.5 | |||
普通版 Standard | ±1 | |||||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 高精版 Plus | arc sec | ≤0.5 | |||
普通版 Standard | ≤1 | |||||
轴向跳动误差 (1) Axial Error Motion | 高精版 Plus | nm | 10 | |||
普通版 Standard | 250 | |||||
径向跳动误差 (1) Radial Error Motion | 高精版 Plus | nm | 50 | |||
普通版 Standard | 300 | |||||
摆角误差 Tilt Error Motion | 高精版 Plus | μrad | 3 | |||
普通版 Standard | 6 | |||||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | arc sec | ＜0.01 | ||||
定位纹波 In Position Stability | 高精版 Plus | arc sec | 定制 | |||
普通版 Standard | 0.5 | |||||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | rpm | 300,（≥1000 定制） | ||||
最大负载 Max Load | 轴向 Axial Dir | kg | 5 | 20 | 45 | |
径向 Radia Dir | 3 | 12 | 27 | |||
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | ||||
空气消耗量 Air Consumption | SL/min | 13 | ||||
自重 Total Mass | kg | 0.5 | 4.5 | 13 | ||
材料 Material | / | 航空7075铝合金（表面氧化处理） | ||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。
1. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。
2. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标，最大转速取决于负载大小。
4. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
订购信息
型号 | NOTE | -100 | -PLUS | -1 | -3 | -Y |
描述 | 气浮转台 | 转动台面直径114mm | 高精版 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 线缆长度3米 | 有压力保护开关 |
名称 | 型号 | 描述 |
气浮转台 | NOTE | 气浮转台 |
台面 | -50 -100 -200 | 转动台面φ80mm 转动台面φ114mm 转动台面φ148 mm |
精度等级 | -N -PLUS | 普通版 高精版 |
反馈方式 | -1 -T -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米（标配） 长度5米 定制 |
压力保护开关 | -Y -N | 有压力保护开关（标配） 无压力保护开关 |
产品货期: 90天
整机质保期: 12月
培训服务: 安装调试现场免费培训
