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Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几纳米到1200微米的2D和3D台阶高度。 D-600还可以在研发和生产环境中支持粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量。 D-600包括一个电动200毫米样品卡盘和先进的光学系统以及加强视频控制。
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量,以及翘曲度和应力的2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。 可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。 通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。
台阶高度:几纳米至1200μm
低触力:0.03至15mg
视频:500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸:最小占地面积的台式探针式轮廓仪
软件:用户友好的软件界面
台阶高度:2D台阶高度和3D台阶高度
纹理:2D粗糙度和波纹度
形式:2D翘曲和形状
应力:2D薄膜应力
大学,研究实验室和研究所
半导体和复合半导体
SIMS:二次离子质谱
LED:发光二极管
太阳能
MEMS:微电子机械系统
汽车
医疗设备
还有更多:请与我们联系并探讨您的要求
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 首次培训免费
免费仪器保养: 收费服务
保内维修承诺: 首次免费上门安装
报修承诺: 24小时反馈
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