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全自动双面紫外皮秒激光晶圆划线机
设备简介:晶圆划线设备是晶元制程中不可缺少的一道工序,取代原有的工序(匀胶、曝光、显影)。
设备亮点:
可兼容4寸、 5寸、6寸等多种不同规格产品加工
双工位同时加工,效率提升3倍
采用双皮秒激光器兼容产品正反面及多面同时加工,有效保证加工效果
配套晶圆机械手自动上下料,有效减少人工成本
配套高精度视觉定位及检测,有效保证加工精度和检测结果
自动分拣及回收NG产品,根本解决人工分拣低效的问题
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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