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SUSS苏斯/休斯,EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列
SUSS苏斯,EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯
灯管型号 寿命(H) 适用SUSS苏斯光刻机型
HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4
HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA/BA6,MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA/BA6,MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯,EVG, OAI等光刻机:
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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