SUSS光刻机用曝光灯
SUSS光刻机用曝光灯

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欧司朗

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HBO350W/S,HBO1000W/D, HBO5000W/S

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欧洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

SUSS苏斯/休斯,EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列


SUSS苏斯EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯

灯管型号     寿命(H)   适用SUSS苏斯光刻机型

HBO 200W/DC   1000H      MJB3, MJB4

HBO 350W/S    600H       MA4, MA6, MA/BA6,MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D  1000H       MA150,MA200,MA4,MA6, MA/BA6,MA8

HBO 5000W/S  1000H       MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯EVG, OAI等光刻机

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售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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SUSS光刻机用曝光灯信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于SUSS光刻机用曝光灯报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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