美国ZYGO 激光干涉仪Verifire HDX

ZYGO新型Verifire HDX激光干涉仪是为超高精度的光学元件和系统设计和制造的，可以获得元件表面的中频特征信息。系统包含现有Verifire HD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器，并增加了重要的增强功能，如刷新行业水平的分辨率和成像能力，仪器传递函数（ITF）、出众的中频特征分析和大坡度表面测试，同时也兼具了ZYGO DynaPhase®系列动态采集技术，可以去除震动引起的问题并且能够在近乎任何环境中准确计量。

特殊设计优化的分辨率和性能

Verifire HDX激光干涉仪系统具有全新的光学设计，经过严格设计，可为其所配的3.4kx 3.4k（1160万像素）传感器提供突破像素限制的性能，呈现增强的图像，可以显示出较低分辨率干涉仪难以辨识的表面特征。这种超高的空间分辨率不会以牺牲速度为代价，该系统在全分辨率下以帧率96 Hz运行，比其它高分辨率干涉仪速度快10倍，那些由于采样速度较慢在采样的时候会引入震动误差从而测试能力受限。

功率谱密度（PSD）和衍射分析工具完善了Verifire HDX激光干涉仪系统的中频特征分析能力，并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表面特性。

光学面形测试下的中频特征分析

高质量的参考光学元件和配件

UltraFlat™和UltraSphere™超高精度透射平面和球面，面形可以达到λ/40 PVr或更高，并且严格控制PSD特征进行制造，以*优化中频特征。推荐将这些高精度参考光学元件与Verifire HDX激光干涉仪一起配合使用，以完整实现和提升系统的性能。无论它们是被用于垂直构型还是水平构型，UltraFlat透射平板面形精度不变，从而在测试设置中提供更大的灵活性。

超高精度平面和球面透射元件

Mx™ 软件

ZYGO自主设计研发的Mx™分析软件提供强大的操作功能和完整的数据分析功能，包括Zernike，斜率，PSD / MTF / PSF，棱镜角度，角锥以及更多。该软件集仪器控制，数据采集和分析软件包与一体，集成了制造过程控制，运行自动化和报告关键中频特征等工具包。软件操作界面简单，直观。它还包括了基于Python的脚本和远程控制接口，以实现更大的灵活性并集成到复杂的测试设置中。

Mx软件，泽尼克分析结果

ITF仪器传递函数-它是什么，为什么它是重要的

很多年来，大家一直关注于光学元件表面的形状误差，但随着对光学系统性能需求的增加，控制中频特征（MSF）也变得同样重要。对于一些极高性能应用，需要严格控制MSF特性以减少光散射并提高光学效率。

在校正形状误差方面非常有效的小工具确定性抛光技术也会将不期望得到的中频特征赋予光学表面。根据表面特性的频率和斜率，传统的干涉仪系统-非常适合测量表面形状-由于分辨率有限，无法测量和量化较高频率的表面特性。分辨率的缺失意味着更高的频率细节被过滤（见右图），并且在测量结果中可能根本不显示。

这是仪器传输函数（ITF）的所在。激光干涉仪系统由于其自身的设计（光学设计，相机，波长）会衰减和过滤部分表面信息，决定了该系统的ITF （测量光学表面的空间频谱的能力）。Verifire HDX激光干涉仪系统具有高分辨率3.4k x 3.4k传感器和优化的光学设计，具有比任何商业上可获得的干涉仪系统更高的ITF，使其成为可靠测量和量化光学表面中频特性的宝贵工具。这为光学设计师们提供了一种新能力，可以自信地指定光学表面到更高精度，并定义ITF测试要求来达到系统性能目标。

用特殊设计的台阶板测量到的相位数据，台阶板上刻有密集的40nm台阶，按不同频率沿着径向发散变化。