产地类别： 进口
操作方式： 全自动
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• QV ACCEL系列采用了门移动构造，因为工作台不动所以实现了固定工件夹具的简单化。为此，不仅缩短了夹具的制作工时，而且更加适合易碎工件及轻薄工件的测量。
• 产品种类中新增了应对高密度，小型化IC组件、大型印刷电路板、金属膜、液晶显示屏的测量。
• 所有型号的产品都具有表面、边缘和图案自动对焦的功能，增加了测量灵活性以用于多种用途。 出厂时可增加激光自动对焦功能。
| 名称 | QV ACCEL808 | QV ACCEL1010 | ||
| 光学系统 | PRO | PRO | ||
| 测量范围(X×Y×Z) | 800×800×150mm | 1000×1000×150mm | ||
| 倍率装置 | 可编程电动转台1× -2× -6× | |||
| 分辨力 | 0.1μm | |||
| 影像装置 | 黑白CCD | 黑白CCD | ||
| 照明装置 | 反射照明 | 白色LED | ||
| 透射照明 | ||||
| 程控环形照明 | ||||
| 测量精度 *1 | E1 X?Y轴 | (1.5+3L/1000)μm | ||
| Z轴(画像) | (1.5+4L/1000)μm | |||
| E2 XY平面 | (2.5+4L/1000)μm | |||
| 重复精度 *1 | 短寸法 | X?Y轴 | 3σ=0.2μm | |
| 长寸法 | 3σ=0.7μm | |||
| 长度基准 | 线性编码器 | |||
| 自动跟踪聚焦 | 安装可选 | |||
| 工作台玻璃尺寸 | 883×958mm | 1186×1186mm | ||
| 台面最大承重 *2 | 210kg | 30KG | ||
| 尺寸 (W×D×H) | 1475×1860×1578mm | 1912×2141×1603mm | ||
| 重量(包括机器设置台) | 约2050kg | 约2950kg | ||
*1：根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸(mm) *2：不包含极端的载重、集中载重。
