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●高精度触针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
●X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
●X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨力的轮廓/ 形状测量、表面粗糙度的批量测量。
●Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
●Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
●CS-5000CNC带有α轴，可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
●带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
●可选的外部控制功能(外部I/O)，与PLC实现双向通信(RS-232C)。
SV-C4500CNC 规格
型号 | SV-C4500CNC | ||
测量范围 | 200mm | ||
分辨力 | 0.05um | ||
X1轴 | 长度基准 | 反射型线性编码器 | |
(驭动部) | 轮廓形状 | 直线度 | 2um/200mm |
指示精度(20°C) | ±(0.8+41/200)卩m L:测量长度(mm) | ||
表面粗精度 | 直线度 | 0.5 pm/200mm | |
Z1轴 (检出器) | 轮廓形状 | 测量范围 | 60mm (±30mm水平方向) |
分辨力 | 0.02um | ||
长度基准 | 圆弧形标尺 | ||
指示精度(20。0 | ±(0.8+|2H|/100)um H:水平位置上的测量高度(mm) | ||
表面 粗精度 | 测量范围 | 800um/80um/8um | |
分辨力 | 0.01 um/0.001 um/0.0001 um | ||
Z2轴 (立柱) | 测量范围 | 300mm或500mm (也据所选疯格不同) | |
分辨力 | 0.05pm | ||
*测量仪主体构成品的_部分使用天然石材，石材表面可能会有纹路。
SV-C4500CNC HYBRID TYPE1 规格
型号 | SV-C4500CNC HYBRID TYPE1 | ||
X1轴 街針加' | 测量范围 | 200mm | |
分辨力 | 0.05um | ||
长度基准 | 反射型线性编码器 | ||
蹌形状 | 直线度(20°C) | 2 um/200mm | |
指示精度 | ±(0.8+4L/200)um L：测量长度(mm) | ||
表面粗隨度 | 直线度 | 0.5pm/200mm | |
非接触 | 直线度 | 0.5pm/200mm | |
指示精度 | ±(0.8+4L/200)pm L:测量长度(mm) | ||
Y轴 | 测量范围 | 200mm | |
分辨力 | 0.05um | ||
最大载重质量 | 20kg | ||
Z1轴 | 轮廓形状 | 测量范围 | 60mm(±30mm水平方向) |
分辨力 | 0.02um | ||
长度基准 | 圆弧形标尺 | ||
指示精度(20°C) | ±(0.8+12H |/100)卩 m H:水平位置上的测量高度(mm) | ||
表面粗糙度 | 测量范围 | 800um/80um/8um | |
分辨力 | 0.01 pm/0.001 pm/0.0001 pm | ||
非接触检出器 CPS2525*1 | 测量范围 | 1.2mm | |
分辨力 | 25nm | ||
非接触检出器 CPS0517*1 | 测量范围 | 0.1mm | |
分辨力 | 5nm | ||
Z2轴 | 移动范围 | 500mm | |
分辨力 | 0.05pm | ||
*1: CPS2525和CPS0517为安装选件。
*测量仪主体构成品的一部分使用天然石材，石材表面肯能会有纹路。
