产品种类: 非接触式轮廓仪/粗糙度仪
产地类别: 进口
工作原理: 白光干涉仪
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产品介绍
Zeta-20是三维光学轮廓仪/光学轮廓显微镜。得益于卓越的三维成像和测量基于ZDot™专利技术,Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。多种光学测试模组使得Zeta-20适用性强,同时此设备可获得真彩图像。Zeta-20使用了模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。
Zeta-20集合了六种光学测量模组。反射光谱膜厚分析使得它可以测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。干涉反衬成像技术可以实现纳米级粗糙度表面成像及分析。白光差分干涉有着埃级的惊人垂直方向分辨率。拥有专利的ZDot三维成像技术标配技术,此模式下样品反射率对测量影响小,小于0.5%到大于85%反射率的样品均可同时测量,可轻易获得台阶高度。多种功能下Zeta-20同时适用于研发机构或者工业生产中。
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
上海交通大学 | 2021-10-01 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: I人技术服务
免费仪器保养: 暂无
保内维修承诺: 免费维修服务
报修承诺: 24小时内响应
KLA轮廓仪ZETA 20的工作原理介绍
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