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仪器搭载了温度传感器，软件界面实时显示外界温度，可监控仪器在不同温度状态下的精度表现。
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指示精度：≤±(0.6+|0.1H|)μm
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粗糙度测量·高分辨率传感器
指示精度：≤±(5nm+2.5%)
| 项目 | 规格 | |
| 测量范围 | X轴 | 0-220mm可选 |
| Z轴 | 0-620mm可选 | |
| Z1轴 | C：0-±30mm可选/R：±620μm | |
| Z1轮廓指示精度 | ≤±（0.6+|0.1H|）μm | |
| Z1粗糙度指示精度 | ≤±（5nm+2.5%） | |
