产地类别： 进口
操作方式： 全自动
测量范围： 400×400×200mm
测量精度： /
光栅尺分辨率： /
测量速度： /
摄像机： /
光源： /
测量系统尺寸： /
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• ULTRA QV404是实现了测量精度 E1xy=(0.25+L/1000)μm的超高精度CNC影像测量机。
• 为了将直线度误差控制至最小，X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。
• 通过FEM(有限要素法)解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化。
• 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。 该编码器的线性膨胀系数为零，将温度变化产生的误差控制到最小限度。
• 满足ISO10360-7:2011(JIS B7440-7.2015)的精度保证。
规格
| 名称 | ULTRA QV404 | ||||
| 测量范围(X×Y×Z) | 400×400×200mm | ||||
| 倍率装置 | 可编程电动转台 1× -2× -6× | ||||
| 影像装置 | 黑白CCD (1/2型) | ||||
| 测量精度(E1) *1 | 1X?Y轴 | (0.25+L/1000) | |||
| Z轴(全行程) | (1.5+2L/1000)μm(范围200mm) | ||||
| Z轴(50mm行程) *2 | (1.0+2L/1000)μm(范围10～60mm) | ||||
| 测量精度(E2) *1XY平面 | 测量精度(E2) *1XY平面 | ||||
| 自动跟踪聚焦 | 安装可选 | ||||
*1：根据本公司检查方法，L为任意两点间的尺寸(mm)。*2：工厂出货检查。
