SURAGUS 2020方阻测试仪

SURAGUS 2020方阻测试仪

SURAGUS EddyCus TF lab 2020 薄膜电阻和薄膜厚度测试仪 薄膜电阻测试仪

TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的仪器。

特点

非接触与实时测量

精确的单点测量

依据多层系统的表征要求 

由一个易于操作的软件所引导的手工电阻分布图

参数

薄膜电阻（欧姆/平方）

金属层厚度（nm、μm）

金属基板厚度（μm）

各向异性

缺陷检测

完整性评定

应用

建筑玻璃（LowE）

触摸屏和平板显示器

OLED和LED应用

智能玻璃的应用

透明防静电铝箔

光伏

半导体

除冰和加热应用

电池和燃料电池

包装材料

材料

金属薄膜和栅格

导电氧化物

纳米线膜

石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨

打印薄膜

导电聚合物（PEDOT:PSS）

其他导电薄膜及材料

规格参数

薄膜电阻测量技术：非接触式涡流传感器

基板：例如：薄膜、玻璃、晶圆，等等

基板面积：8 inch/ 204 x 204 mm （三面是开放的）

最大样品厚度/传感器间隙：1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm（由最厚的样本确定）

薄膜电阻的范围：

低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度

标准     0.01 - 1,000 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度

高        10 - 100,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度

金属膜的厚度测量：（例如：铜）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)

装置尺寸（宽/厚/深）： 290 x 140 x 445 mm / 11.4 x 17.5 x 5.5 inch 

重量： 10 kg

可用特色：薄膜电阻测量/金属厚度测试仪