英国HHV真空镀膜机TF500,TF600
英国HHV真空镀膜机TF500,TF600

¥80万 - 100万

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TF500,TF600

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欧洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
产品详情

英国HHV真空镀膜机TF500,TF600-适合先进研发和试生产的全功能系统

 

82. TF500 TF600.png

 

 

HHV TF500及TF600系统设计具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件,以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源,也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室(Load Lock)和样品操纵装置可供选择,以提高真空镀膜效率。
 

系统配置不锈钢真空腔室,高真空泵安装在腔室后方。工艺附件布局采用特殊设计,向每个客户提供满意适配化的方案。工艺附件包括热阻及电子束蒸发源、直流及射频溅射源、用于工件刻蚀或辅助沉积的离子源。系统可以同时配置热阻、电子束及磁控溅射源。溅射系统可以配置成向上或向下溅射的结构。工件台选项包括加热、冷却、偏压和预进样操作等。
 

系统控制选项包括稳定的PLC真空控制系统配合手动操作的工艺附件的简单模式,或者计算机集成控制的自动模式。

 


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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