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功能/应用范围：
局部腐蚀完整封装的IC，以方便观察和做其他测试（如FIB,EMMI） 。
产品特色：
? 机体
1.封闭式机柜，安全方便
2.铸铝台面、升降台，采用电机驱动升降
3.优质板金一体成形，整体美观耐用
4.具备观察窗保护镜片
? 激光器
1.纯清洁能源，环保无污染
2.整体无耗材，寿命10万小时
3.散热快，耗损低
4.转换效率高，激光阀值低
5.对灰尘、震荡、冲击、湿度、温度具有高容忍度，大幅节约工作时耗电，高稳定性，节约运行成本
?扫描振镜
1.光学级镜面全反扫描振镜
2.原装进口伺服电机，高效率零漂移
3.高速精准、扫描速度快，扫描角度和扫描频率稳定快速可调
4.工作区间为-10到60度C
?工业级工控计算机
?软件
1.业内领先视觉双CCD控制系统
2.精准定位、框选、分离、隔带光刻
3.运行稳定，体积小、易操作
4.实时追踪，显示光刻过程
产品规格
TL-1 Pro
激光功率 | 10W（20W/30W/50W） |
激光重复频率 | 1.0KHz—25KHz |
激光波长 | 1064nm |
扫瞄范围 | 100×100mm（可选） |
最小线宽 | 0.1mm |
扫描速度 | 7000mm/s≤X≤12000mm/s |
最高扫描深度 | 3mm |
重复精度 | ±0.01mm |
最大流线速度 | 70m/min |
最高飞行扫描行数 | 8rows |
电力需求 | 220∨（±10%）/ 50Hz/ 15A |
总功率 | 1.2kW |
冷却方式 | 风扇冷却(AirCooling） |
主机尺寸 | 900×800×1700mm (长x宽x高) |
整机重量 | 150KG |
