仪器种类： 进口等离子清洗器
样品腔材质： 高纯石英
看了null的用户又看了
PIE Scientific 远程等离子体清洗机
用途
用于SEM，FIB，XPS，ALD，EUVL等高真空室的远程等离子体清洗机。
产品描述
由PIE Scientific开发的SmartClean™技术结合了最先进的等离子体放电技术在核研究和半导体行业。 我们的等离子体清洁机可以根据任何规格打败竞争对手。 此外，我们的产品仅提供许多独特的功能。
应用领域
1. FE-SEM，FIB和TEM的原位样品清洗。
2. 半导体设备去除污染，如CD-SEM、EBR、EBI、EUVL。
3. 高真空室清洁，以清除电子显微镜，XPS，AES系统上的碳氢化合物污染物。
4. XPS、SIMS和 AES的样品清洗。
5. 对ALD在有机溶剂清洗后，进行样品清洗。
案例应用
