扫描电子显微镜

FEI Quanta 系列包括六款可变压力和环境扫描电子显微镜 (ESEM)。所有这些产品均可满足工业工艺控制实验室、材料科学实验室和生命科学实验室的多种样本和成像要求。

Quanta 系列扫描电子显微镜属于多功能、高性能仪器，并具有高真空、低真空和 ESEM 三种模式，能够处理的样本类型之多堪称 SEM 系统之最。所有 Quanta SEM 系统均可配备分析系统，比如能量色散谱仪、X 射线波长色散谱仪以及电子背散射衍射系统。此外，场发射电子枪 (FEG) 系统含有一个用于明场和暗场样本成像的 S/TEM 检测器。SEM 系统中的另一个可变配置是电动工作台的尺寸（分 50mm、100mm 和 150mm 三种）以及电动 Z 轴行程的大小（分别为 25mm、60mm 和 65mm）。Quanta 650 和 650 FEG 都设计了大标本室，能够分析和浏览大型标本

随着 Quanta 50 系列的推出，现在的 Quanta SEM 系列更为灵活。对于材料科学来说，这些全新仪器可满足对众多类型材料进行研究以及表征结构和成分的需求。FEI Quanta™ 50 系列十分灵活，功能多样，能够应对当今众多研究领域的挑战。观测任意样本并获得所有数据 - 表面和成分图像可与配件结合起来，确定材料属性和元素成分。