蔡司 Gemini SEM场发射扫描电子显微镜

二十多年来，基于日渐完善的Gemini技术，GeminiSEM具有完整高效的检测系统、极高的分辨率以及简便的操作方式。Gemini物镜设计将静电场与磁场结合，可在最大限度地提升光学性能的同时将场发射对样品的损伤降至最低。此设计确保了极佳的成像质量，即使是较具挑战性的磁性材料也同样可以达到良好的成像效果。通过二次电子和背散射电子的检测也使得高效率的信号探测成为可能。探测器安装在光轴上，可以减少调整时间，并可最大限度地降低成像时间。Gemini电子束加速器技术确保了小的探针尺寸和高的信噪比，以达到超低的加速电压。

【技术参数】

分辨率： 0.8nm @15 kV   1.4 nm @1kV

放大倍数：12-2,000,000×

加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）

探针电流： 3pA-20nA（100nA可选）

低真空范围： 10-500Pa （GeminiSEM300 VP可用）

样品室： 330 mm（φ），270 mm（h）

样品台：5轴优中心全自动    

X=130mm

Y=130mm

Z=50 mm

T=-3o-70o

R=360o 连续

系统控制：基于Windows 7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

【产品应用】       

扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分 析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶 粒取向测量。