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技术参数: | 生长方法:Spin coating + Annealing Ga2O3-?参数:textured along (201); 膜厚~ 400 nmAl2O3 薄膜参数:<0001> 10x10x0.5mm 单抛
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产品尺寸: | 10x10x0.5mm |
标准包装: | 1000级超净室100级超净袋真空包装 |
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