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产品名称： | Si上镀Ge薄膜（进口?Ge?epi-film?on?N-type?Silicon?Wafer,?0.5?um?thickness?） |
技术参数： | Si基片参数：N型掺P； dia 4inch x 0.5mm-0.55mm Si晶向：<100> with flats 2 SEMI-STD on Axis 0 degree offSi 电阻率：1-10ohm.cmParticles:< 50 @ >0.20 um Ge薄膜参数：0.5 um +/- 3%；<100>;N型；P型掺杂浓度：(1-5)E19 /ccCurrent RMS spec：表面粗糙度 < 2 nm
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产品尺寸： | dia4 inch or 10x10mm
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标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒 |
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