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仪器简介:
NX-20具有卓越的形貌表征能力,完善的设计使其保证了扫描的高精确度和数据的高重复性。高度自动化的软硬件,极大地避免了人为操作的失误和误差,提高了工作效率测量,降低了劳动强度。该仪器具备高速的伺服响应能力,超高的扫描器线性度,极低的闭环检测器噪声水平,和最小的系统热漂移量。作为一款界面友好,操作简便的仪器,NX-20会成为纳米研究领域及相关产业界的得力助手。
技术参数:
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)
平面偏移度:<2nm(全量程扫描)
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围15μm(可选30μm)
定位检测噪声:0.03nm(带宽:1kHz)
共振频率:>9kHz
表面成像噪声:0.03nm
样品台
样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)
样品尺寸: 150mm*150mm*20mm
样品重量:最大500g
样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)
主要特点:
一、高精确性和高重复性
● 探针几乎没有损耗,保证了图像的高分辨率
● 非接触模式下最快的扫描速度
● 独特的双路闭环解耦合XY平板式扫描器
● 业内最小的系统漂移和迟滞
二、低噪声检测器精确测量样品形貌
●采用业界领先的低噪声检测器测量样品形貌
● 消除了蠕变效应导致的边缘超调误差
● 高速扫描过程中的精确形貌检测记录
●业界领先的极小正反测量偏离量,小于0.15%
三、Non-Contact™(真正非接触) 模式极大降低了使用成本
●相对于传统扫描模式,将探针寿命提高了10倍以上
●极低的探针损耗极大地延长了探针高分辨扫描寿命
●对样品几乎没有磨损
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