Park Systems原子力显微镜 XE-15

仪器简介:

    Park XE-15具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计，为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器，消除了弯曲效应误差，提供了无与伦比的线性度。真正的非接触扫描模式，扩大了适合样品种类，同时极大地延长了探针寿命，降低了使用成本。

技术参数：

扫描器

XY扫描器

柔性制导闭环控制单模块扫描器

扫描范围100μm*100μm（可选50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm扫描）

Z扫描器

柔性制导强力扫描器

扫描范围12μm（可选25μm）

共振频率：>5kHz

表面成像噪声：0.03nm

样品台

样品台种类：16位点样品台/150mm直径真空吸附台（可选200mm直径真空吸附台）

样品尺寸： 150mm*150mm*20mm

样品重量：最大500g

样品台移动范围：150mm*150mm（可选200mm*200mm）

主要特点：

一、创新的多位点样品台设计，提供工作效率

●一次操作最多可以扫描16个样品

●样品安放简单，扫描迅速

●极大提高了数据的精确性和重复性

二、支持超大样品，满足业界发展需要

●最大支持200 mm晶圆，满足用户目前和今后的需要

●满足半导体相关用户实际需要的专门设计

三、丰富的功能模式选择

●完善支持各种SPM功能

●支持多种选配测量模式

●支持各种可选配件，扩展性能优越